SiC碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料,是制作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一。
在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中,碳化硅襯底制造是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘最高、價(jià)值量最大的環(huán)節(jié),是未來(lái)碳化硅大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)的核心環(huán)節(jié)。
碳化硅襯底的生產(chǎn)流程包括長(zhǎng)晶、切片、研磨和拋光四個(gè)環(huán)節(jié)。
為讓大家更加了碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈,今天給大家盤(pán)點(diǎn)一下國(guó)內(nèi)碳化硅襯底生產(chǎn)企業(yè),據(jù)初步統(tǒng)計(jì),國(guó)內(nèi)共20余家碳化硅襯底企業(yè),主要分布在浙江、廣東、山西等地。
如后是各企業(yè)的簡(jiǎn)單介紹,以下排名不分先后,如有遺漏,歡迎加群補(bǔ)充。
公司成立于 2010 年,主營(yíng)業(yè)務(wù)是寬禁帶半導(dǎo)體(第三代半導(dǎo)體)碳化硅襯底材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,產(chǎn)品可應(yīng)用于微波電子、電力電子等領(lǐng)域。
碳化硅半導(dǎo)體材料項(xiàng)目計(jì)劃于 2026 年實(shí)現(xiàn)全面達(dá)產(chǎn),對(duì)應(yīng) 6 英寸導(dǎo)電型 SiC 襯底產(chǎn)能為 30 萬(wàn)片/年。公司已經(jīng)實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型襯底、6英寸半絕緣型襯底、4英寸半絕緣襯底等產(chǎn)品的批量供應(yīng)。
據(jù)2022年年報(bào)披露公司2022年碳化硅襯底年產(chǎn)量為71,147片。2022年,公司通過(guò)前期持續(xù)自主擴(kuò)徑,已制備高品質(zhì)8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底。
在 8 英寸產(chǎn)品布局上,公司具備量產(chǎn) 8 英寸產(chǎn)品能力,報(bào)告期內(nèi)已開(kāi)展客戶(hù)送樣驗(yàn)證,并實(shí)現(xiàn)了小批量銷(xiāo)售,預(yù)期產(chǎn)銷(xiāo)規(guī)模將持續(xù)擴(kuò)大。
2022-07-25 公司與某客戶(hù)簽訂了長(zhǎng)期銷(xiāo)售合同,約定2023年至2025年,公司及公司全資子公司上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司,向其銷(xiāo)售6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底產(chǎn)品,按照合同約定的年度基準(zhǔn)單價(jià)預(yù)測(cè)(美元兌人民幣匯率以6.7折算),三年合計(jì)銷(xiāo)售金額預(yù)計(jì)將達(dá)到人民幣13.93億元(含稅)。
2023-05-03 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司(688234.SH)與德國(guó)半導(dǎo)體制造商英飛凌科技股份公司簽訂了一項(xiàng)新的襯底和晶棒供應(yīng)協(xié)議。根據(jù)該協(xié)議,天岳先進(jìn)將為英飛凌供應(yīng)用于制造碳化硅半導(dǎo)體的高質(zhì)量并且有競(jìng)爭(zhēng)力的150毫米碳化硅襯底和晶棒,第一階段將側(cè)重于150毫米碳化硅材料,但天岳先進(jìn)也將助力英飛凌向200毫米直徑碳化硅晶圓過(guò)渡。
2. 北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司是國(guó)內(nèi)首家專(zhuān)業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。公司為全球SiC晶片的主要生產(chǎn)商之一。
2023年8月8日上午,公司全資子公司江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“江蘇天科合達(dá)”)碳化硅晶片二期擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目開(kāi)工活動(dòng)在徐州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)成功舉辦。江蘇天科合達(dá)二期項(xiàng)目將新增16萬(wàn)片產(chǎn)能,并計(jì)劃明年6月份建設(shè)完成,同年8月份竣工投產(chǎn),屆時(shí)江蘇天科合達(dá)總產(chǎn)能將達(dá)到23萬(wàn)片。
英飛凌科技股份公司(FSE代碼:IFX / OTCQX代碼:IFNNY)正推動(dòng)其碳化硅(SiC)供應(yīng)商體系多元化,并與中國(guó)碳化硅供應(yīng)商北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“天科合達(dá)”)簽訂了一份長(zhǎng)期協(xié)議,以確保獲得更多而且具有競(jìng)爭(zhēng)力的碳化硅材料供應(yīng)。天科合達(dá)將為英飛凌供應(yīng)用于制造碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量并且有競(jìng)爭(zhēng)力的150毫米碳化硅晶圓和晶錠,其供應(yīng)量預(yù)計(jì)將占到英飛凌長(zhǎng)期需求量的兩位數(shù)份額。
根據(jù)該協(xié)議,第一階段將側(cè)重于150毫米碳化硅材料的供應(yīng),但天科合達(dá)也將提供200毫米直徑碳化硅材料,助力英飛凌向200毫米直徑晶圓的過(guò)渡。
2022年11月15日,天科合達(dá)發(fā)布8英寸導(dǎo)電碳化硅襯底晶片。8英寸導(dǎo)電碳化硅襯底晶片由北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司生產(chǎn),主要應(yīng)用新能源汽車(chē)、光伏等領(lǐng)域。天科合達(dá)8英寸導(dǎo)電型碳化硅產(chǎn)品的多項(xiàng)指標(biāo)均處于行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平,已經(jīng)達(dá)到了量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),8英寸的小規(guī)模量產(chǎn)定在2023年。
3.? 山西爍科晶體有限公司
山西爍科晶體有限公司成立于2018年,位于山西省太原市山西綜改示范區(qū),是國(guó)內(nèi)從事第三代半導(dǎo)體材料碳化硅生產(chǎn)和研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè)。
4英寸高純半絕緣SiC襯底已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,月產(chǎn)能可達(dá)8000片,且在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)50%。2022年在高純半絕緣襯底穩(wěn)定生產(chǎn)的前提下,大幅度提升了6英寸N型襯底的產(chǎn)能,截至到去年年底已經(jīng)達(dá)到6000片/月。
2021年8月,山西爍科晶體有限公司成功研制出8英寸碳化硅晶體,解決大尺寸單晶制備的重要難題。
2022年1月,公司再次取得重大突破,實(shí)現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn),向8英寸國(guó)產(chǎn)N型碳化硅拋光片的批量化生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步。
4.? 三安光電股份有限公司(600703)
公司主要從事化合物半導(dǎo)體材料與器件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售,以氮化鎵、砷化鎵、碳化硅、磷化銦、氮化鋁、藍(lán)寶石等化合物半導(dǎo)體新材料所涉及的外延片、芯片為核心主業(yè)。
據(jù)2022年年報(bào)披露公司碳化硅產(chǎn)能已達(dá) 12,000 片/月,硅基氮化鎵產(chǎn)能 2,000 片/月,湖南三安二期工程將于2023 年貫通,達(dá)產(chǎn)后配套年產(chǎn)能將達(dá)到 36 萬(wàn)片,襯底已通過(guò)幾家國(guó)際大客戶(hù)驗(yàn)證,其中一家實(shí)現(xiàn)批量出貨,且 2023 年、2024 年供應(yīng)已基本鎖定。
湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目主要從事碳化硅、硅基氮化鎵等第三代化合物半導(dǎo)體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,包括長(zhǎng)晶—襯底制作—外延生長(zhǎng)—芯片制備—封裝產(chǎn)業(yè)鏈。
9月6-8日,湖南三安攜碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品亮相SEMICON Taiwan 2023國(guó)際半導(dǎo)體展。湖南三安針對(duì)新能源行業(yè)的發(fā)展痛點(diǎn),于展會(huì)上推出650V-1700V寬電壓范圍的SiC MOSFET,同時(shí),三安還發(fā)布了適用于電力電子的8英寸碳化硅襯底。
6月7日,中國(guó)化合物半導(dǎo)體龍頭公司三安光電與全球排名前列的半導(dǎo)體龍頭公司意法半導(dǎo)體聯(lián)合宣布:雙方已簽署協(xié)議,擬在中國(guó)重慶共同建立一個(gè)新的8英寸碳化硅器件合資制造工廠。同時(shí),三安光電將在當(dāng)?shù)鬲?dú)資建立一個(gè)8英寸碳化硅襯底工廠作為配套。
該合資項(xiàng)目公司將由三安光電控股,暫定名為“三安意法半導(dǎo)體(重慶)有限公司”,其中由三安光電全資子公司湖南三安持股51%,意法半導(dǎo)體(中國(guó))投資有限公司持股49%。項(xiàng)目預(yù)計(jì)投資總額達(dá)32億美元,待監(jiān)管部門(mén)批準(zhǔn)后即開(kāi)工建設(shè),計(jì)劃于2025年第四季度開(kāi)始生產(chǎn),預(yù)計(jì)將于2028年全面落成,將采用意法半導(dǎo)體的碳化硅專(zhuān)利制造工藝技術(shù),達(dá)產(chǎn)后可生產(chǎn)8吋碳化硅晶圓10,000片/周。三安光電獨(dú)資在重慶設(shè)立的8英寸碳化硅襯底工廠計(jì)劃投資約70億元,將利用自有的碳化硅襯底工藝單獨(dú)建立和運(yùn)營(yíng),以滿(mǎn)足合資工廠的襯底需求,并與其簽訂長(zhǎng)期供應(yīng)協(xié)議。
5.? 杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司
杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司,2020年7月成立于浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心,專(zhuān)注于第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,是一家集半導(dǎo)體碳化硅單晶生長(zhǎng)、晶片加工和設(shè)備開(kāi)發(fā)為一體的高新技術(shù)企業(yè)。
2023年5月18日,浙大杭州科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院-杭州乾晶半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室成功研制8英寸導(dǎo)電型碳化硅。
采用多段式電阻加熱的物理氣相傳輸(PVT)法生長(zhǎng)了厚度達(dá)27毫米的8英寸n型碳化硅單晶錠,并加工獲得了8英寸碳化硅襯底片,成功躋身于8英寸碳化硅俱樂(lè)部。
2023年4月12日上午8點(diǎn)38分,乾晶半導(dǎo)體“功率器件用6/8英寸碳化硅拋光襯底研發(fā)、中試項(xiàng)目”于衢州市東港八路建設(shè)地塊隆重舉行。
乾晶半導(dǎo)體碳化硅拋光襯底研發(fā)/中試項(xiàng)目,總占地面積22畝,總建筑面積約19000平方米,總投資約3億元,計(jì)劃建成碳化硅6/8英寸單晶生長(zhǎng)和襯底加工的中試基地,是衢州市重點(diǎn)招商引資的“乾晶半導(dǎo)體(衢州)有限公司年產(chǎn)60萬(wàn)片碳化硅襯底材料項(xiàng)目”的第一期。
6.? 露笑半導(dǎo)體材料有限公司(002617)
合肥露笑半導(dǎo)體材料有限公司成立于2020年,公司目前注冊(cè)資金5.75億元,是一家專(zhuān)注第三代功率半導(dǎo)體材料碳化硅晶體生長(zhǎng)、襯底片、外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高科技企業(yè)。
2021年11月7日,露笑科技發(fā)布公告稱(chēng),合肥露笑半導(dǎo)體一期已完成主要設(shè)備的安裝調(diào)試,進(jìn)入 正式投產(chǎn)階段。后續(xù)公司會(huì)根據(jù)市場(chǎng)訂單情況及一期投產(chǎn)情況完成產(chǎn)能的進(jìn)一步擴(kuò)張。
項(xiàng)目總投資100億元,占地面積88畝,主要建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體(碳化硅)的設(shè)備制造、長(zhǎng)晶生產(chǎn)、襯底加工、外延制作等產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)基地。
項(xiàng)目分三期建設(shè),一期預(yù)計(jì)投資21億元,建成達(dá)產(chǎn)后,可形成年產(chǎn)24萬(wàn)片導(dǎo)電型碳化硅襯底片和5萬(wàn)片外延片的生產(chǎn)能力;二期預(yù)計(jì)投資39億元,建成達(dá)產(chǎn)后,將形成年產(chǎn)10萬(wàn)片6英寸外延片和年產(chǎn)10萬(wàn)片8英寸襯底片生產(chǎn)能力;三期預(yù)計(jì)投資40億元,達(dá)產(chǎn)后將形成年產(chǎn)10萬(wàn)片8英寸外延片和年產(chǎn)15萬(wàn)片8英寸襯底片生產(chǎn)能力。
2023年8月24日 半年報(bào)公告披露2020年度非公開(kāi)發(fā)行股票的募投項(xiàng)目“新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”、“碳化硅研發(fā)中心項(xiàng)目”予以終止,并將剩余募集資金用于永久補(bǔ)充流動(dòng)資金。
7. 浙江東尼電子股份有限公司(603595)
東尼通過(guò)多年的技術(shù)沉淀和前期的市場(chǎng)調(diào)研,引進(jìn)了領(lǐng)軍型創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),專(zhuān)注于碳化硅半導(dǎo)體材料研究。其中項(xiàng)目負(fù)責(zé)人擁有豐富的碳化硅單晶襯底材料制備經(jīng)驗(yàn),團(tuán)隊(duì)成員包括彼得辛格博士、肯尼斯博士等。
東尼采用的前沿技術(shù)突破了碳化硅單晶材料的大直徑生長(zhǎng)、多型控制、應(yīng)力和位錯(cuò)缺陷降低等關(guān)鍵問(wèn)題,解決了碳化硅晶體生長(zhǎng)缺陷數(shù)量的控制和晶體品質(zhì)的瓶頸問(wèn)題,從而得到高質(zhì)量、大尺寸的碳化硅單晶材料。
2022年報(bào)顯示,2022年,東尼電子半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收1676.56萬(wàn)元,營(yíng)業(yè)成本2042.13萬(wàn)元,毛利率為-21.81%。公司2022年生產(chǎn)碳化硅襯底6750片,銷(xiāo)售碳化硅襯底4190片。
2023年1月9日,公司子公司東尼半導(dǎo)體與下游客戶(hù)T簽訂《采購(gòu)合同》,約定東尼半導(dǎo)體2023年向該客戶(hù)交付6英寸碳化硅襯底13.50萬(wàn)片,含稅銷(xiāo)售金額合計(jì)人民幣6.75億元;2024年、2025年分別向該客戶(hù)交付6英寸碳化硅襯底30萬(wàn)片和50萬(wàn)片。24年定價(jià)4750/片,25年定價(jià)4510/片,長(zhǎng)約訂單為三年43.55億。
2022年11月11日,東尼電子(603595.SH)在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示,9月,公司子公司東尼半導(dǎo)體與下游客戶(hù)簽訂《采購(gòu)合同》,約定東尼半導(dǎo)體向該客戶(hù)交付6寸碳化硅襯底2萬(wàn)片,含稅銷(xiāo)售金額合計(jì)人民幣1億元。目前公司正處于量產(chǎn)交貨階段,根據(jù)現(xiàn)有機(jī)臺(tái)產(chǎn)能情況,綜合良率在60%左右。
8.? 廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司成立于2018年9月,是一家從事碳化硅單晶材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售三位一體的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。
2021年9月18日總部基地項(xiàng)目封頂。總部基地項(xiàng)目總投資9億元,用地面積36.8畝,規(guī)劃建筑面積91372.47㎡,項(xiàng)目建成穩(wěn)定運(yùn)營(yíng)后可年產(chǎn)碳化硅各類(lèi)襯底片15萬(wàn)片。
公司以山東大學(xué)近年來(lái)研發(fā)的最新碳化硅單晶生長(zhǎng)和襯底加工技術(shù)成果為基礎(chǔ),同山東大學(xué)開(kāi)展全方位產(chǎn)學(xué)研合作。
2022年聯(lián)合山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室經(jīng)過(guò)多年的理論和技術(shù)攻關(guān),實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶和襯底的制備。
9.? 浙江晶越半導(dǎo)體有限公司
現(xiàn)階段公司主要聚焦于6-8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。
2021-07-02 浙江紹興市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布公告稱(chēng),受理了晶越半導(dǎo)體的碳化硅項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件。據(jù)介紹,該項(xiàng)目一期擬投資約1.35億元,年1.2萬(wàn)片6英寸SiC晶片,2021年將良率達(dá)產(chǎn)。
2020年6月20日,當(dāng)?shù)厥薪?jīng)開(kāi)區(qū)與溢起投資合伙企業(yè)、高冰博士(團(tuán)隊(duì))在上海正式簽署“晶越碳化硅晶圓項(xiàng)目”三方投資協(xié)議書(shū)。據(jù)悉,該項(xiàng)目簽約共分三期,總投資達(dá)100億元,一期投產(chǎn)后將具備月產(chǎn)1500片碳化硅晶圓的能力。
10.? 山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司
山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司(原名:山東國(guó)宏中能科技發(fā)展有限公司)山東國(guó)宏中能科技發(fā)展有限公司目前主要生產(chǎn)4英寸、6英寸4-H N型導(dǎo)電碳化硅襯底片和4-H半絕緣碳化硅襯底片。
在工藝技術(shù)上依托中科鋼研、國(guó)宏中宇“第三代半導(dǎo)體材料制備關(guān)建共性技術(shù)北京市工程實(shí)驗(yàn)室”的強(qiáng)大科研能力,已形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵核心技術(shù)體系。
山東國(guó)宏中能年產(chǎn)11萬(wàn)片碳化硅襯底片項(xiàng)目總投資6.5億元,總建筑面積3萬(wàn)平方米。該項(xiàng)目于2020年2月入選山東省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目庫(kù)第一批優(yōu)選項(xiàng)目名單,是市、區(qū)兩級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目。通過(guò)在材料制備技術(shù)體系、核心裝備研制上的持續(xù)科研投入,同時(shí)緊密結(jié)合研發(fā)成果的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)轉(zhuǎn)化,目前本項(xiàng)目已經(jīng)具備投產(chǎn)條件。
11.? 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
公司是一家專(zhuān)注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設(shè)計(jì)、科研成果轉(zhuǎn)化的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),研發(fā)覆蓋半導(dǎo)體裝備研制、長(zhǎng)晶工藝、襯底加工等多個(gè)領(lǐng)域。
已形成自主研發(fā)的6-8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)關(guān)鍵技術(shù)及2-4英寸氮化鋁晶體生長(zhǎng)關(guān)鍵技術(shù),6英寸碳化硅晶體厚度成功突破40mm。
科友半導(dǎo)體現(xiàn)已正式步入產(chǎn)業(yè)化道路,現(xiàn)有長(zhǎng)晶爐生產(chǎn)線1條,年產(chǎn)長(zhǎng)晶爐200臺(tái),高純石墨加工設(shè)備、高純度碳化硅原料制備設(shè)備各一套;6-8寸碳化硅晶體生產(chǎn)線1條,年產(chǎn)6-8寸碳化硅襯底10萬(wàn)片。
科友半導(dǎo)體突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),在晶體尺寸、厚度、缺陷控制、生長(zhǎng)速率、制備成本、及裝備穩(wěn)定性等方面取得可喜成績(jī)。
2023年4月,科友半導(dǎo)體8英寸SiC中試線正式貫通并進(jìn)入中試線生產(chǎn),打破了國(guó)際在寬禁帶半導(dǎo)體關(guān)鍵材料的限制和封鎖。
目前,科友半導(dǎo)體突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),8英寸SiC中試線平均長(zhǎng)晶良率已突破50%,晶體厚度15mm以上。
12.? 中國(guó)電子科技集團(tuán)
2020年中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)實(shí)現(xiàn)4英寸晶片的大批量產(chǎn),6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經(jīng)開(kāi)始工程化驗(yàn)證,為客戶(hù)提供小批量的產(chǎn)品試用,預(yù)計(jì)年底達(dá)到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用與國(guó)際水平相當(dāng)。
2020年3月,中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)正式投產(chǎn),第一批設(shè)備正式啟動(dòng)。基地一期項(xiàng)目可容納600臺(tái)碳化硅單晶生長(zhǎng)爐,項(xiàng)目建成后將具備年產(chǎn)10萬(wàn)片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬(wàn)片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力,是目前國(guó)內(nèi)最大的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地。
13.? 安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司
安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司由上海申和投資有限公司、中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所、銅陵市國(guó)有資本運(yùn)營(yíng)控股集團(tuán)有限公司等投資建設(shè),主要從事碳化硅錠、碳化硅片碳化硅材料及相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售。
2022年4月29在銅陵經(jīng)開(kāi)區(qū)安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料公司的碳化硅晶體生產(chǎn)車(chē)間,來(lái)自中科院的專(zhuān)家技術(shù)團(tuán)隊(duì)正在對(duì)設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試。微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體項(xiàng)目預(yù)計(jì)今年6月份即可正式生產(chǎn)。
2021年11月27日,安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司舉行年產(chǎn)15萬(wàn)片碳化硅晶圓片項(xiàng)目建設(shè)工程竣工儀式。
2020年,碳化硅單晶襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目順利開(kāi)工,項(xiàng)目投資13.50億人民幣,建設(shè)工期4年,項(xiàng)目從2020年10月起至2024年10月止,計(jì)劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試,2021年12月底完成中試并開(kāi)始試銷(xiāo),投產(chǎn)后前3年生產(chǎn)負(fù)荷分別為33%、67%、100%。達(dá)成后預(yù)計(jì)年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬(wàn)片、6英寸12萬(wàn)片。
14.? 河北天達(dá)晶陽(yáng)半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
天達(dá)晶陽(yáng)以北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司以中國(guó)科學(xué)院物理研究所、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司為技術(shù)依托,采用的技術(shù)綜合實(shí)力在碳化硅單晶襯底行業(yè)排名國(guó)內(nèi)第一、世界第四,達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先和國(guó)際先進(jìn)水平。
2022年4月再投資7.31億元,建設(shè)(擁有)400臺(tái)套完整(設(shè)備)的碳化硅晶體生產(chǎn)線。屆時(shí),4-8英寸碳化硅晶片的年產(chǎn)能將達(dá)到12萬(wàn)片。
2021年4月3日消息,清河經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)官方微信公眾號(hào)發(fā)布消息稱(chēng),目前,天達(dá)晶陽(yáng)碳化硅單晶體項(xiàng)目正在進(jìn)行無(wú)塵車(chē)間改造,一期54臺(tái)碳化硅單晶生長(zhǎng)爐已全部到場(chǎng),30臺(tái)已安裝到位,預(yù)計(jì)4月底進(jìn)行調(diào)試。
15.? 中電化合物半導(dǎo)體有限公司
中電化合物公司是由華大半導(dǎo)體投資的一家做碳化硅SiC晶體、襯底、外延片和GaN外延片產(chǎn)品的材料制造企業(yè),持股比例超過(guò)48.93%。
2023年6月,中電化合物宣布與韓國(guó)Power Master公司簽署了長(zhǎng)期供應(yīng)SiC材料的協(xié)議,包括8吋。
2022年10月22日,中電化合物總投資10.5億元建設(shè)的寬禁帶半導(dǎo)體材料項(xiàng)目,并計(jì)劃在2021-2025年投入8億元資金。
中電化合物將分二期建設(shè)該項(xiàng)目:一期計(jì)劃投資2.2億元,租用杭州灣數(shù)字產(chǎn)業(yè)園1萬(wàn)平方米廠房,二期征用土地70畝,形成年產(chǎn)8萬(wàn)片4-6寸碳化硅襯底及外延片、碳化硅基氮化鎵N外延片生產(chǎn)能力。
16.? 山西天成半導(dǎo)體材料有限公司
山西天成半導(dǎo)體有限公司成立于2021年,經(jīng)營(yíng)范圍包括半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造,電子專(zhuān)用材料研發(fā),新興能源技術(shù)研發(fā)等。
2022年4月21日,山西天成半導(dǎo)體材料有限公司僅用半年時(shí)間將4英寸的碳化硅襯底,升級(jí)至6英寸碳化硅襯底,并即將投產(chǎn)。二期項(xiàng)目,包括廠房擴(kuò)建、設(shè)備擴(kuò)充以及構(gòu)建一條全自動(dòng)線切割打磨拋光清洗加工線。項(xiàng)目完成后將為公司貢獻(xiàn)年產(chǎn)導(dǎo)電型和半絕緣型碳化硅襯底2萬(wàn)片的生產(chǎn)能力。
目前二期廠房10000平米已接近驗(yàn)收,規(guī)劃年產(chǎn)10萬(wàn)片正分階段進(jìn)行中,預(yù)計(jì)2023年1月二期一單元建成,預(yù)計(jì)產(chǎn)能達(dá)到月產(chǎn)1000片,并已有客戶(hù)提前預(yù)定。
17.? 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司
超芯星成立于2019年4月,總部位于江蘇南京,是國(guó)內(nèi)第一家專(zhuān)注于大尺寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化的公司,目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)6英寸碳化硅襯底的量產(chǎn)出貨。超芯星創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)源自國(guó)際頂尖HTCVD法的Norstel公司,曾主導(dǎo)了1、2、3、4、6英寸碳化硅襯底的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
超芯星是國(guó)內(nèi)極少數(shù)具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的碳化硅襯底供應(yīng)商,目前公司6英寸碳化硅襯底已經(jīng)順利進(jìn)入美國(guó)一流器件廠商,這也是國(guó)內(nèi)碳化硅襯底公司在國(guó)際市場(chǎng)上的首次突破。為滿(mǎn)足全球市場(chǎng)的旺盛需求,公司正在有序交貨和積極擴(kuò)產(chǎn),預(yù)計(jì)6-8英寸碳化硅襯底產(chǎn)能未來(lái)將提升至150萬(wàn)片/年。
18.? 河北同光半導(dǎo)體股份有限公司
河北同光半導(dǎo)體成立于2012年,公司致力于SiC單晶襯底的研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售,是國(guó)內(nèi)率先量產(chǎn)SiC單晶襯底的制造商之一,也是國(guó)際上少數(shù)同時(shí)掌握高純半絕緣襯底和導(dǎo)電型襯底制備技術(shù)的企業(yè)。
河北同光半導(dǎo)體歷經(jīng)2年多的研發(fā),8英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體樣品已經(jīng)出爐,工作人員正在攻關(guān)加工成碳化硅單晶襯底。預(yù)計(jì)這款新產(chǎn)品2023年底可實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn),將被客戶(hù)制為功率芯片。
2022年河北同光的碳化硅襯底產(chǎn)能約為10萬(wàn)片/年,并規(guī)劃建設(shè)2000臺(tái)碳化硅晶體生長(zhǎng)爐生長(zhǎng)基地和年產(chǎn)60萬(wàn)片碳化硅單晶襯底加工基地,預(yù)計(jì)2025年末達(dá)產(chǎn)。
19.? 合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司
合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司是一家致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅功能材料研發(fā)與生產(chǎn)的技術(shù)企業(yè)。一期廠區(qū)位于合肥市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園A1棟具備含碳化硅單晶生長(zhǎng)、晶體加工、材料表征為一體的生產(chǎn)線。
2022 年 9 月 9 日,合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)3萬(wàn)片6英寸碳化硅單晶襯底項(xiàng)目投產(chǎn)儀式在合肥市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園隆重舉行。據(jù)悉,世紀(jì)金芯產(chǎn)品目前已實(shí)現(xiàn)對(duì)下游客戶(hù)批量交付。
20.? 深圳市國(guó)碳半導(dǎo)體科技有限公司
深圳市國(guó)碳半導(dǎo)體科技有限公司成立于2020年,技術(shù)研發(fā)工作始于1990年,是一家致力于碳化硅襯底晶體生長(zhǎng)、加工及關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售的創(chuàng)新型企業(yè)。
目前項(xiàng)目6-8英寸碳化硅襯底研發(fā)已落地深圳市中清欣達(dá)膜技術(shù)研究院,公司計(jì)劃投資10億元,在深圳新建年產(chǎn)24萬(wàn)片6寸碳化硅襯底生產(chǎn)線項(xiàng)目。
2022年10月16日國(guó)碳半導(dǎo)體車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅襯底項(xiàng)目正式投產(chǎn)。
21.? 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司
浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司成立于2012年,是一家快速成長(zhǎng)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。公司采用國(guó)際領(lǐng)先的光學(xué)、半導(dǎo)體制備工藝技術(shù),利用先進(jìn)的新型半導(dǎo)體材料加工設(shè)備,主要致力于GaN基LED芯片(圖形化)襯底及第三代半導(dǎo)體材料的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
2020年7月23日,金華博藍(lán)特電子材料有限公司第三代半導(dǎo)體碳化硅及用于Mini/Micro-LED顯示技術(shù)的大尺寸藍(lán)寶石襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開(kāi)工奠基儀式隆重舉行。
2019年12月2日,浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司與金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)就年產(chǎn)15萬(wàn)片第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底及年產(chǎn)200萬(wàn)片用于Mini/Micro-LED顯示技術(shù)的大尺寸藍(lán)寶石襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化合作項(xiàng)目舉行簽約儀式。
22.? 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
晶盛機(jī)電圍繞硅、藍(lán)寶石、碳化硅三大主要半導(dǎo)體材料開(kāi)發(fā)一系列關(guān)鍵設(shè)備,并延伸至化合物襯底材料領(lǐng)域,為半導(dǎo)體、光伏行業(yè)提供全球極具競(jìng)爭(zhēng)力的高端裝備和高品質(zhì)服務(wù)。
晶盛機(jī)電瞄準(zhǔn)碳化硅、藍(lán)寶石、金剛石等新材料領(lǐng)域,深化上下游產(chǎn)業(yè)鏈合作,向上游裝備制造和下游晶體材料深加工延伸,解決國(guó)家核心材料自主供給,保障國(guó)家戰(zhàn)略安全。晶盛機(jī)電掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù),具備自主可控的大尺寸碳化硅晶體生長(zhǎng)和加工技術(shù)。
23.? 寧波合盛新材料有限公司
寧波合盛新材料有限公司成立于2018年,為主板上市公司合盛硅業(yè)(股票代碼:SH.603260)旗下的全資子公司,是一家從事新材料及其產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。
公司致力于通過(guò)材料的更新?lián)Q代推動(dòng)國(guó)家綠色能源發(fā)展、助力節(jié)能減排,為用戶(hù)創(chuàng)造輕便美好的生活,其中材料的開(kāi)發(fā)主要基于硅元素在下游應(yīng)用的拓展及延伸,產(chǎn)品包括第三代半導(dǎo)體碳化硅晶片、高強(qiáng)度硅鋁復(fù)合材料及其輕量化構(gòu)件等,廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)、太陽(yáng)能光伏、物流運(yùn)輸?shù)刃袠I(yè)。
24.? 深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司
深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司成立于2020年12月15日,是一家專(zhuān)業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。
重投天科的成立是深圳市政府黨組(擴(kuò)大)會(huì)議審定通過(guò)的項(xiàng)目建設(shè)方案,是由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、深圳市和合創(chuàng)芯微半導(dǎo)體合伙企業(yè)(有限合伙)以及產(chǎn)業(yè)資本出資構(gòu)成的項(xiàng)目實(shí)施主體。
25.? 北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司
北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司于2020年6月成立,是集碳化硅(SiC)襯底研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售于一體,北京市及順義區(qū)重點(diǎn)關(guān)注的創(chuàng)新型高新技術(shù)企業(yè)。
2020年7月6日,液相法生長(zhǎng)碳化硅半導(dǎo)體襯底項(xiàng)目落戶(hù)中關(guān)村順義園。據(jù)“三代半風(fēng)向”了解,該項(xiàng)目是中科院物理所科技成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目,由晶格領(lǐng)域?qū)嵤┻\(yùn)營(yíng),分三期落地實(shí)施,計(jì)劃總投資7.5億元。一期投資5000萬(wàn)元,在中關(guān)村順義園租賃廠房1050平方米,建設(shè)4—6英寸液相法碳化硅晶體中試生產(chǎn)線。2021年4月8日,第一批設(shè)備全部進(jìn)場(chǎng),并開(kāi)始試生產(chǎn)。
26.? 臺(tái)灣盛新材料科技股份有限公司
盛新材料成立于2020年,是中國(guó)臺(tái)灣為數(shù)不多可同時(shí)生產(chǎn)6英寸導(dǎo)電型和半絕緣型SiC襯底的廠商,其在高品質(zhì)長(zhǎng)晶領(lǐng)域,有著技術(shù)優(yōu)勢(shì)。從成立不久后就成功生長(zhǎng)出了直徑4英寸SiC晶體,隨后又向6英寸開(kāi)始進(jìn)發(fā)。
根據(jù)此前的相關(guān)報(bào)道,盛新材料去年的6英寸SiC襯底大概月產(chǎn)能在400片左右,后又將SiC長(zhǎng)晶爐的數(shù)量增加至65臺(tái),其中5臺(tái)來(lái)自美國(guó),10臺(tái)來(lái)自日本,其余50臺(tái)來(lái)自與股東廣運(yùn)集團(tuán)(Kenmec)的合作自制,65臺(tái)長(zhǎng)晶爐能夠達(dá)到1200~1600片的月產(chǎn)能。
編輯:黃飛
?
評(píng)論
查看更多