電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，它由主體和測頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測量裝置（例如測量臺架等），能夠完成各種精密測量。

　　電感測微儀主要的技術(shù)指標(biāo)

　　1、測量范圍：0~±30μm檔及0~±500μm檔；

　　2、示值誤差：0~土30μm檔為0.1μm，0~±500μm檔為1μm；

　　3、分辨率：0~±30μm檔為0.01μm，0~±500m檔為0.1μm.

　　4、極性：當(dāng)測量值為負(fù)時(shí)，自動顯示“-”；為正時(shí)，無極性符號。

　　電感測微儀硬件特點(diǎn)

　　1、在運(yùn)算放大器的選擇上，本儀器均采用低漂移、低噪聲的運(yùn)算放大器OP07.由OP07組成了集成化的交、直流放大器電路，雙T網(wǎng)絡(luò)正弦波發(fā)生器，集成的相敏檢波電路和濾波器等，省去了傳統(tǒng)電感測微儀使用的二極管、三極管和變壓器等，使得由二極管和三極管造成的非線性特性以及飽和壓降和反向電流得以改善；省去變壓器，調(diào)試制作比較方便，重量也較輕，可靠性增強(qiáng)。

　　2、本儀器選用了逐次比較式12位A/D轉(zhuǎn)換器AD574，它的非線性誤差小于±1/2LBS或±1LBS，一次轉(zhuǎn)換時(shí)間約為25μs，因其片內(nèi)配有三態(tài)輸出緩沖器，可直接與各種典型的8位和16位微處理器相連，滿足了測量精度和實(shí)時(shí)顯示的要求，應(yīng)用非常方便。

　　3、本儀器采用了顯示器及鍵盤接口芯片8279，單個芯片就能完成鍵盤輸入和LED顯示控制兩種功能，顯示方式為動態(tài)顯示，6位LED顯示器可以實(shí)現(xiàn)顯示測量結(jié)果。整機(jī)設(shè)有5個功能鍵，能夠?qū)崿F(xiàn)如下功能：顯示被測工件的峰值，并把峰值存入數(shù)據(jù)存儲器，留待處理；可以進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，顯示一百個工件分組后各組的平均值和極值，直方圖的頻數(shù)，總平均值和極值；可以進(jìn)行絕對測量和相對測量的轉(zhuǎn)換；可以設(shè)定被測工件的上、下偏差，當(dāng)被測工件的峰值超出設(shè)定值時(shí)，就要報(bào)警顯示；可以實(shí)現(xiàn)±500μm和±30μm檔的轉(zhuǎn)換。

　　電感測微儀的應(yīng)用

　　例如，檢查工件的厚度、內(nèi)徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及國防、科研、計(jì)量部門的精密長度測量。國內(nèi)常用的電感測微儀有指針式和數(shù)字式兩種，存在的問題較多，如高精度測量范圍小，零位調(diào)節(jié)不方便、功能單一和通用性差等。它通過編制軟件實(shí)現(xiàn)儀表的高精度、智能化、多功能化，經(jīng)過反復(fù)的實(shí)驗(yàn)與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩(wěn)定。