引 言

　　為了測(cè)量炸藥在水中的爆炸壓力，因測(cè)量介質(zhì)與常規(guī)測(cè)量的不同，測(cè)量環(huán)境比較惡劣，所以，對(duì)傳感器就要有一些特殊的要求：首先，傳感器要有較高的頻率響應(yīng)，水下爆炸的壓力是一個(gè)高速變化的過(guò)程；其次傳感器要有較強(qiáng)的抗干擾能力，以便減小測(cè)量誤差，提高測(cè)試精度；再者，傳感器要有足夠的強(qiáng)度、良好的密封性能和較強(qiáng)的防腐蝕能力。因此，以電氣石為敏感元件的傳感器則被應(yīng)用于水中爆炸壓力的測(cè)量。由于在水中爆炸壓力的測(cè)量中，傳感器的基本性能指標(biāo)為：測(cè)量范圍上限為250MPa；測(cè)量精度≤2％FS；上升前沿≤2.5μs。根據(jù)系統(tǒng)性能指標(biāo)要求，確定了用于水中爆炸壓力測(cè)量傳感器的結(jié)構(gòu)，同時(shí)，克服了選材和工藝方面的技術(shù)難題。

　　1 傳感器的選材及其結(jié)構(gòu)

　　1.1 敏感元件材料的選擇

　　敏感元件是傳感器的關(guān)鍵元件，因?yàn)樗鼪Q定著傳感器的原理和特性。因此，是傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)首先要考慮的問(wèn)題。根據(jù)測(cè)試對(duì)象，對(duì)炸藥在水中爆炸產(chǎn)生的壓力進(jìn)行測(cè)量，故采用壓電式壓力傳感器。所以，敏感元件選用壓電晶體，壓電晶體種類(lèi)較多，如，石英、電氣石、鈮酸鋰、鋯鈦酸鉛、鈦酸鋇等，根據(jù)幾種常用的壓電晶體性能，由于電氣石晶體具有體壓電效應(yīng)的特點(diǎn)，而且，國(guó)內(nèi)外在對(duì)炸藥在水中爆炸產(chǎn)生的壓力進(jìn)行測(cè)試時(shí)，均采用電氣石晶體作為壓電式壓力傳感器的敏感元件，所以，敏感元件材料選擇電氣石晶體。

　　1.2 傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理

　　水中爆炸壓力傳感器的結(jié)構(gòu)如圖1所示。

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　　該傳感器以具有壓電效應(yīng)的電氣石為敏感元件，內(nèi)部填充硅油，采用高絕緣密封膠進(jìn)行密封。工作時(shí)，將傳感器放入水下離爆炸源一定的距離，當(dāng)炸藥爆炸后產(chǎn)生的壓力通過(guò)水，以沖擊波的形式向各個(gè)方向傳播，電氣石晶體將感受到的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成的電信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)能量的轉(zhuǎn)換。

　　2 傳感器的性能檢測(cè)

　　2.1 傳感器的靜態(tài)標(biāo)定

　　（1）標(biāo)定設(shè)備：傳感器的校準(zhǔn)設(shè)備為JS-2500（250MPa）活塞壓力計(jì)；準(zhǔn)確度等級(jí)為0.02。

　　（2）標(biāo)定方法：采用加載法，每個(gè)傳感器預(yù)壓3遍后開(kāi)始校準(zhǔn)，校準(zhǔn)3次取平均值，按最小二乘直線法計(jì)算得出傳感器的靜態(tài)靈敏度、非線性靜態(tài)標(biāo)定結(jié)果見(jiàn)表1。

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　　由表1標(biāo)定的結(jié)果得出：MCRI傳感器的非性為1.36％。靈敏度為26.12pC/MPa。

　　2.2 動(dòng)態(tài)標(biāo)定

　　（1）標(biāo)定設(shè)備：美國(guó)PCB公司913B02型水動(dòng)力脈沖標(biāo)定裝置（含內(nèi)裝電荷放大器的136A型標(biāo)準(zhǔn)傳感器）。

　　（2）標(biāo)定方法：采用比較校準(zhǔn)落球標(biāo)定法，將傳感器按照靜態(tài)靈敏度配置模塊式電荷放大器，然后，與標(biāo)準(zhǔn)傳感器同時(shí)安裝在標(biāo)定接頭上，將鋼球從不同的高度自由下落，撞擊高壓液壓裝置中的活塞，產(chǎn)生的半正弦波壓力（也是一種脈沖壓力）經(jīng)過(guò)液壓油傳遞給傳感器，以參考傳感器為基準(zhǔn)。將被校傳感器的曲線與標(biāo)準(zhǔn)傳感器的曲線進(jìn)行幅值和波形一致性的校準(zhǔn)，求得傳感器的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)非線和靈敏度。傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定結(jié)果見(jiàn)表2。

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　　由表2的結(jié)果可以得出：傳感器的非線性為0.17％；平均靈敏度為123.76mV/MPa。

　　由靜態(tài)和動(dòng)態(tài)標(biāo)定得到的傳感器的非線性值不一樣，這是因?yàn)楫?dāng)傳感器的絕緣電阻不是很高時(shí)，在靜態(tài)標(biāo)定中，由于加載時(shí)間較長(zhǎng)，傳感器會(huì)產(chǎn)生一定的零漂，從而影響傳感器的線性指標(biāo)；另外，動(dòng)態(tài)標(biāo)定使用的設(shè)備，由于密封的問(wèn)題，標(biāo)定只能到達(dá)29MPa的壓力，遠(yuǎn)低于量程上限，所以，動(dòng)態(tài)標(biāo)定的非線性比靜態(tài)標(biāo)定的非線性指標(biāo)高。