1.引言

　　微機電系統(tǒng)(MEMS)和納機電系統(tǒng)(NEMS)是微米/納米技術(shù)的重要組成部分，逐漸形成一個新的技術(shù)領(lǐng)域。MEMS已經(jīng)在產(chǎn)業(yè)化道路上發(fā)展，NEMS還處于基礎(chǔ)研究階段。本文分析了微/納機電系統(tǒng)的發(fā)展特點，簡要地介紹了典型的MEMS和NEMS器件和系統(tǒng)后，討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個問題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。

　　從微小化和集成化的角度，MEMS(或稱微系統(tǒng))指可批量制作的、集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通訊和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。而NEMS(或稱納系統(tǒng))是90年代末提出來的一個新概念，是繼MEMS后在系統(tǒng)特征尺寸和效應(yīng)上具有納米技術(shù)特點的一類超小型機電一體的系統(tǒng)，一般指特征尺寸在亞納米～數(shù)百納米、以納米級結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的新效應(yīng)(量子效應(yīng)、界面效應(yīng)和納米尺度效應(yīng))為工作特征的器件和系統(tǒng)。

　　MEMS在某種程度上可以看作是集成電路(IC)的擴展。如果IC(微處理器和信號電路)可以比喻作人的大腦和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，那么MEMS就為這大腦提供了獲取信號的微傳感器和執(zhí)行命令的微執(zhí)行器，如在電路上加入諸如薄膜、梁、彈簧和齒輪等MEMS機械元件，就能夠?qū)Νh(huán)境具有感知、思考、決策和反應(yīng)控制能力。基于新效應(yīng)的NEMS器件具有更高的靈敏度、更低的功耗、更小的體積。因此，如果將MEMS、NENS和IC高密度地集成在一塊很小的體積中，組成的智能微/納機電系統(tǒng)，將提高系統(tǒng)信息處理能力和集成度，降低功耗和體積。例如美國正在研究用MEMS或NEMS諧振器代替RF信號處理器片外的電感和電容，使其尺寸減小100倍(從80 cm2減小到0.8 cm2以下)，功耗減小100倍(從300 mW減小到0.8 3 mW以下)，RF性能(效率和帶寬)提高10倍。未來的UHF(超高頻)通訊/ GPS接收機會如手表大小。

　　2. MEMS和NEMS的發(fā)展特點

　　MEMS和NEMS是一種多學科交叉的技術(shù)，幾乎所有的自然及工程領(lǐng)域都可應(yīng)用和發(fā)展自己的MEMS，如Optical-MEMS、RF-MEMS、Bio-MEMS、Power-MEMS等等。根據(jù)MEMS和NEMS的現(xiàn)狀和發(fā)展，可以大致看出以下一些特點：

　　(1)制造技術(shù)是微/納機電系統(tǒng)發(fā)展的基礎(chǔ)

　　經(jīng)過十幾年的發(fā)展，已經(jīng)開發(fā)出多種微制造技術(shù)：

　　a. 以硅表面加工和體加工為主的硅微加工技術(shù);b. 利用X射線深層光刻、電鑄的LIGA工藝;c. 傳統(tǒng)的超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展、微細電火花加工EDM、超聲波加工等等特種微細加工技術(shù);此外，還包括各種加工技術(shù)的結(jié)合。

　　隨著微加工能力的提高，現(xiàn)在微機械加工的特征尺度正在向納米延伸。硅微加工系統(tǒng)也可達到納米級。80年代初出現(xiàn)的納米科技研究的重要手段——掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)，不僅可用于直接觀察原子、分子以及納米粒子的相互作用與特性，表征納米器件，并且作為一種納制造技術(shù)手段，可移動原子、分子，構(gòu)造納米結(jié)構(gòu)，在納米尺度研究其相互作用。

　　(2)微系統(tǒng)的機理研究是其創(chuàng)新發(fā)展的基礎(chǔ)。

　　隨著尺度向微米級和納米級縮小，物體的有些宏觀特性將發(fā)生改變，并會出現(xiàn)一些新的性質(zhì)。如在MEMS中，經(jīng)典物理學定律基本適用。但在狹小空間內(nèi)，不同性質(zhì)的物質(zhì)(固、液、熱、生、化)互相耦合，宏觀世界中某些次要的影響因素可能變得重要，在某些條件下，也會出現(xiàn)介觀效應(yīng)。在NEMS中，納米級結(jié)構(gòu)將產(chǎn)生新效應(yīng)，如量子效應(yīng)、界面效應(yīng)和納米尺度效應(yīng)等。對這些新性質(zhì)、新效應(yīng)的深入研究是MEMS和NEMS技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵。

　　(3)需求是發(fā)展的動力。

　　MEMS和NEMS具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、新功能、可批量生產(chǎn)等傳統(tǒng)器件不具備的優(yōu)點，如果研制的器件和系統(tǒng)具有這些優(yōu)點就會有良好的應(yīng)用前景。而強勁的需求牽引則是MEMS和NEMS研究得到迅速發(fā)展的原動力。

　　MEMS和NEMS并不僅是一類新的產(chǎn)品，還構(gòu)筑出一個微技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用平臺。在此平臺上，MEMS和NEMS與不同的技術(shù)結(jié)合，并對其發(fā)展產(chǎn)生巨大的推動作用。由于尺度微小和多學科交叉，MEMS和NEMS也形成了一類新的方法學。

　　3. MEMS和NEMS的器件和系統(tǒng)舉例

　　微傳感器件：微傳感器種類很多，所測量的參數(shù)包括：加速度、壓力、力、觸覺、流量、磁場、溫度、氣體成分、濕度、pH值、離子濃度和生物濃度等等。典型的微機械傳感器件包括壓力傳感器、加速度計和陀螺等。

　　微流體器件：微流體器件是另一類重要的MEMS器件。在噴墨打印、芯片冷卻、微型推進系統(tǒng)、藥物霧化供給和生物芯片等系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用。典型器件如微泵和微閥微噴等。

　　微光學器件：美國TI公司利用硅表面微加工工藝開發(fā)了數(shù)字微鏡(DMD—Digital Micromirror Device)。其顯示效果超過液晶投影顯示，可用于高清晰度電視等領(lǐng)域;在Optical MEMS中，光開關(guān)和光通訊具有廣泛的發(fā)展前景。圖6為微光開關(guān)陣列。

　　信息和生物MEMS是MEMS的兩個重要發(fā)展方向，具有廣闊的應(yīng)用前景和市場。如：RF MEMS開關(guān)、RF MEMS濾波器、RF MEMS振蕩器、電容、電感、傳輸線，以及微型生物傳感器、微流體芯片等等。

　　基于MEMS技術(shù)的微能源器件：隨著手機、筆記本電腦、PDA、微型攝像機等微型電子產(chǎn)品的普及，迫切要求能源的微型化。微型燃料電池是其中之一。利用MEMS微流體技術(shù)可大幅度提高燃料電池燃料的供給效率，利用MEMS制造技術(shù)可縮小燃料電池的體積，實現(xiàn)大批量、低成本制作。

　　微執(zhí)行器和致動器：微執(zhí)行器是當今MEMS發(fā)展的一個重要方面，常用的有微電機、微噴、微開關(guān)、微揚聲器、微諧振器等。微致動的原理有：靜電、壓電、電磁、熱、形狀記憶等多種形式。

　　上述有些MEMS器件已實現(xiàn)了商品化生產(chǎn)，如壓力傳感器、加速度計、數(shù)字微鏡、微噴和生物芯片等，顯示出良好的市場應(yīng)用潛力。另外，將MEMS器件作為嵌入式系統(tǒng)的組件，如在微型飛行器中使用了基于MEMS的慣性、光學、通訊和能源等器件。

　　NEMS的研究仍處于起步階段，據(jù)估計NEMS在高靈敏度、小體積、低功耗等方面具有顯著的優(yōu)勢，如靈敏度可提高106，功耗可減小102。

　　納生物器件：如圖7，美國康乃爾大學的Montemagno博士領(lǐng)導(dǎo)的一個研究小組研制出一種生物分子電機。該電機由一個三磷酸腺苷酶分子(ATP)、一個金屬鎳制成的槳片(直徑150nm，長750nm)和一個金屬鎳柱體(直徑80nm，高200nm)組成，平均速度可達每秒鐘4.8轉(zhuǎn)，運行時間長達40分鐘至2.5小時。生物分子電機為進一步研制有機或無機的智能納系統(tǒng)創(chuàng)造了條件。再如美國喬治亞理工學院王中林教授等人利用多壁納米碳管研制出納諧振器，通過其共振頻率的變化可稱出30fg(1fg=10-15g)的碳微粒的質(zhì)量。這種諧振器可做為分子秤檢測分子或細菌的質(zhì)量。

　　納傳感器件：美國的S.Vatannia等人對共振隧穿效應(yīng)進行了研究，在普通的隧道間隙間加入一個共振隧穿位移轉(zhuǎn)換器，在不減小靈敏度和隧道電流的情況下，可提高隧道間隙大約100埃，這不僅大大減小了NEMS系統(tǒng)制造和安裝的難度，也給大幅度提高隧道效應(yīng)傳感器的靈敏度提供了可能;另外，一維或準一維納米結(jié)構(gòu)(如碳納米管和納米帶)具有超高的韌性、超高的強度和極靈敏的電導(dǎo)特性。將其制成納米懸臂梁，作為傳感器件的敏感結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)高靈敏度、低功耗檢測。

　　信納息器件：美國Caltech的Yang、Ekinci等人首次研制了尺度為100nm的SiC-NEMS諧振器件，具有高頻(GHZ)、高Q(數(shù)萬到十幾萬)、低驅(qū)動功率(10-12W)、低熱噪聲和高性噪比等優(yōu)點，可滿足射頻通信系統(tǒng)的要求。

　　納流體器件：納流體系統(tǒng)的特征尺寸在幾百到幾納米。除了靜水壓力，電場也可以用于在離子導(dǎo)電流體中控制和驅(qū)動流體的流動或單個分子的運動。因此利用納流體器件組成的納流體系統(tǒng)可用于單分子的分析、檢測。

　　目前，MEMS和NEMS的研究領(lǐng)域不斷擴展，逐漸形成信息(IT)、生物 (Bio)、能源等新方向。并且從單一的MEMS和NEMS器件的研究，發(fā)展為將MEMS和NEMS器件作為嵌入式系統(tǒng)的組件，以提高系統(tǒng)的整體性能和附加值，這方面已有很多成功的例子。