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MEMS傳感器和智能傳感器聯系和區別

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2020-06-26 17:35:003089

MEMS傳感器介紹

高 、 技術附加值高 , 適于批量化生產 、 易于集成和實現智能化等特點。 MEMS 傳感器和IC芯片最大的區別在于:MEMS 是可動結構,利用微納加工技術同時加工出機械結構和電路系統。如圖1中所示,是目前市場中常見的一些MEMS傳感器,并且隨著MEMS傳感器的不斷發展,還出現了許多從前沒有的
2020-12-28 15:42:408993

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