昆山迅立光電設備有限公司（迅立光電），一家擁有國際領先技術的、集研發、設計、工藝、制造、銷售、和服務為一體的高端真空鍍膜設備供應商，今天在上海SNEC光伏會展隆重展出了高效PERC電池 “二合一”PECVD量產設備。迅立光電自主研發的PERC設備是國際上首臺成功使用射頻（RF）等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）制作氧化鋁和氮化硅雙層薄膜的真空鍍膜設備，代表國際最先進水平。迅立光電技術核心是PECVD和物理氣相沉積（PVD）設備的設計和制造；高端PECVD/PVD設備也是半導體芯片制造行業的“核芯”設備之一，是最先進半導體設備技術水平的體現。迅立光電及其前身和關聯公司自2002年在美國創辦以來，在高集成PECVD/PVD設備制造方面積累了豐富的經驗， 享有國際知名地位。

鈍化發射極及背面接觸（PERC）電池是目前最新型的高效太陽能電池之一，已經替代鋁背場電池而成為高效光伏電池的主流產品。PERC設備通過在單晶或多晶電池的背面沉積超薄氧化鋁和氮化硅雙層薄膜（背鈍化）實現對載流子復合中心的鈍化而實現電池轉化效率的提高。為了實現高效率和高良率的生產，光伏電池廠家迫切希望能將兩層薄膜在同一臺設備中一次完成 的“二合一”設備。目前，光伏設備市場上有昂貴的進口“二合一”PERC設備，也有僅能制作氧化鋁單膜的國產設備。迅立光電的PECVD量產PERC設備是首臺國產“二合一”的PERC設備，也是國際上首臺采用射頻PECVD工藝的PERC設備。

迅立光電自主研制開發的高效PERC電池“二合一”板式PECVD鍍膜設備迅立光電自主研制開發的高效PERC電池“二合一”板式PECVD鍍膜設備與光伏行業的國際龍頭企業天合光能有限公司合作，迅立光電成功地完成了量產PECVD背鈍化設備的初步測試，并制作了高效率PERC電池和完成了小批量示范生產。量產設備制作的單晶電池的平均轉換效率達21.3% （最高效率達21.5%）。量產設備制作的多晶電池的平均轉換效率達19.7% （最高效率達19.9%）。在進一步采用超薄氧化鈍化界面層及其它工藝優化之后，公司預計轉換效率還能得到進一步的大幅度提高，實現至少21.6%的單晶電池平均效率和20%的多晶電池平均效率。

由于采用射頻PECVD工藝，迅立設備能夠有效的控制等離子體的活性分子和離子的分布，從而制作高質量的四面體氧化鋁薄膜。迅立光電的PECVD設備制作的氧化鋁僅需10nm的薄膜就可以實現晶硅電池的有效背面鈍化。有效的超薄氧化鋁鈍化不僅可以實現高產能（1.2平方米的PECVD電極可以實現每小時超過6000硅片的產能），又可以大大提高三甲基鋁的使用率。

采用迅立光電的背鈍化設備，迅立光電與南京日托光伏有限公司合作制作了高效MWT (metal wrap through)電池，在合作電池做了3次跨省“旅行”才完成之后，初次測試實現了高達20%的多晶電池轉換效率，展示了RF PECVD 背鈍化設備的巨大潛力?？梢灶A期，在結合黑硅工藝后，多晶電池的轉換效率還會有較大的提升。

采用射頻PECVD工藝還可以將最新的電池制作技術和工藝有效地集成到同一臺真空鍍膜設備中。例如，制作隧穿氧化鈍化接觸（TOPCon）電池所需要的氧化硅層和多晶硅摻雜層可以有效地集成到同一臺設備，實現“多合一”的高集成高效率制造。

迅立光電公司董事長、國家“千人計劃”特聘專家鄧勛明博士說：“能夠實現首臺國產高效PERC電池二合一量產設備的研發和制作，是迅立光電團隊和我們的合作方天合光能的技術團隊共同努力的結果。感謝天合光能與我們的合作，共同為重大設備的國產化努力。”

迅立光電擁有國際領先的技術和工藝。公司積極尋找戰略合作伙伴謀求共同發展，盡快抓住機遇、擴大規模、和占領市場。公司產品除了用于PERC電池的背鈍化沉積設備，公司還研制開發了制造異質結HIT電池的量產設備。其造價比同產能的進口設備降低一半以上。迅立光電的“多合一”PECVD 設備可以有效地用于有機發光二極管（OLED）平板顯示的阻水阻氧隔膜，該隔膜的制造設備目前完全依賴進口，是制約國產OLED顯示面板大規模發展的瓶頸之一。中國的平板顯示行業和半導體行業應該積極將核心設備國產化，減少對國外設備行業的高度依賴。

迅力光電將于5月29日11時和16時，在上海SNEC光伏展的迅立光電展臺（E4-690）召開新產品介紹會。誠摯邀請業界人士、新聞媒體及潛在合作伙伴參加并提出寶貴意見。