背景二氧化硅薄膜具有硬度大、防腐蝕性、耐潮濕性和介電性能強等優點,因此二氧化硅薄膜在半導體行業中可以用作器件的保護層、鈍化層、隔離層等。 PECVD即等離子體增強化學的氣相沉積法是借助微波或射頻
2020-09-29 15:07:219585 我們提出了一種觀察鋁層蝕刻截面的方法,并將其應用于靜止蝕刻蝕刻的試件截面的觀察。觀察結果成功地闡明了蝕刻截面幾何形狀的時間變化,和抗蝕劑寬度對幾何形狀的影響,并對蝕刻過程進行了數值模擬。驗證了蝕刻截面的模擬幾何形狀與觀測結果一致,表明本數值模擬可以有效地預測蝕刻截面的幾何形狀。
2021-12-14 17:12:053667 是在集成電路制造的一個基本步驟。Mat和Looney~研究了二氧化硅在高頻溶液中的蝕刻速率作為濃度、溫度、氧化物生長過程和溶液攪拌的函數。 ? 介紹 稀釋度高頻解中的平衡點 ?在稀高頻溶液中,高頻=H++F([3]HF+F-=;對于平衡常數(反應r~和r2的1和K2,其值分別為6.8510 4 工具
2021-12-31 11:08:013593 (干法刻蝕硅)17、 RIE SiO2 (干法刻蝕二氧化硅)18、 RIE Si3N4 (干法刻蝕氮化硅)19、 RIE Al、AlN、Ti、TiN (干法刻蝕金屬,包括干法刻蝕鋁、干法刻蝕氮化
2015-01-07 16:15:47
二氧化碳傳感器通常是利用紅外輻射的方式進行測量。由于二氧化碳對2.7、4.35和14.5波段處紅外線有強烈的吸收,并且考慮到2.7和14.5兩個吸收帶都易受到水汽吸收的影響,因此通常選擇4.35處
2016-09-14 22:32:30
方法,由于它們通常不僅僅對一種氣體組成度敏感.所以其精度很低且漂移量較大.與化學二氧化碳傳感器相比,光學測量儀器有許多優點,但其昂貴的價格也確時 二氧化碳傳感器應用原理 隨著全球氣候的變暖,使得各個國家在
2015-01-07 11:42:07
二氧化碳傳感器有哪些類型比較好的,跪求大神指導!!!!!!!!!
2017-05-02 18:54:09
二氧化碳濃度檢測在生活環境、植物栽培以及文物、檔案保護方面越來越多的被大家重視起來。今天讓工采網技術工程師來介紹一下這些應用場合可選擇的二氧化碳傳感器有哪些?一、二氧化碳傳感器在樓宇控制中
2018-10-09 14:32:28
的二氧化碳進行光合作用,二氧化碳是近乎所有植物唯一的碳來源。圖源網絡二氧化碳最重要的生理作用在于為光合作用提供碳,因此空氣中二氧化碳的含量對植物的生長影響很大。研究還表明:低濃度的二氧化碳沒有
2020-07-20 17:26:30
二氧化碳(CO2)傳感器在工業,農業,國防,醫療衛生,環境保護,航空航天等許多領域都有廣泛的應用目前二氧化碳傳感器的種類很多,就其原理米分有熱導式,密度計式、輻射吸收式、電導式,化學吸收式
2015-01-08 11:40:01
傳感器。 二氧化碳傳感器具有通訊和自診斷功能、安裝維護方便,典型的智能化現場監測儀表的先進性能得到了充分的展理,極大的滿足了工業現場安全監測對設備高可靠性的要求。 二氧化碳傳感器采用進口電化學
2015-01-06 11:54:50
二氧化碳分析儀的原理:該儀器屬于電調制非分光式(NDIR)紅外線氣體分析器,其工作原理是基于不同種類的氣體對紅外線的選擇 性吸收效率不同。儀器采用單光源、單管隔半氣室及先進的檢測器,工藝精湛、分析精度高、穩定性好。采用先進的數字處理技術,全新的液晶顯示畫面。
2012-02-01 13:56:05
STACO2-2400-01是由慧感嘉聯自主研發的全新一代有源二氧化碳監控標簽,采用進口NDIR紅外氣體傳感器和微控制技術,響應速度快,測量精度高,穩定性和重復性好。在該標簽中,慧感嘉聯采用了創新性
2022-10-20 17:53:21
[img][/img]二氧化碳爆破加熱器中加熱電子元件叫什么有誰知道是什么
2016-07-15 17:32:17
煤層封孔二氧化碳爆破設備技術領域本機器新型涉及煤礦鉆孔封堵爆裂技術領域,特別涉及煤層封孔二氧化碳爆破設備。?背景技術詐要爆破目前仍是煤礦開采的方法之一。詐要爆破威力大、作用猛,是典型的明伙爆破。但明
2020-07-25 07:52:31
`二氧化鈦是一種高折射率材料,適于電子槍蒸鍍,膜層致密,牢固,抗化學腐蝕。可分為白色和黑色。顏色的不同主要因為生產環境的因素,白色是在大氣中燒結而成的,而黑色是在真空中燒結而成。在試用中,黑色比白色
2018-11-20 10:03:19
AOE刻蝕氧化硅可以,同時這個設備可以刻蝕硅嗎?大致的氣體配比是怎樣的,我這里常規的刻蝕氣體都有,但是過去用的ICP,還沒有用過AOE刻蝕硅,請哪位大佬指點一下,謝謝。
2022-10-21 07:20:28
沙中含有25%的硅,是地殼中第二多元素,在經過氧化之后就成為了二氧化硅,在沙,尤其是石英中二氧化硅的含量非常高,這就是制造半導體的基礎。
2019-08-06 07:01:44
關于Cozir-CO2二氧化碳傳感器傳感器校準操作記錄情況描述近期調試cozir-CO2二氧化碳傳感器,剛接觸是卻不知道如何進行校準,在他人的指導下 ,逐漸明白校準過程,這里做個記錄,方便日后查看
2022-01-20 07:01:02
工藝條件下制備出的二氧化硅介質膜,這其中的二氧化硅屬于單質類化合物介質膜。“鈍化”意味著一個物理化學過程,一個為了避免周圍環境氣氛和其他外界因素對半導體器件性能的影響而使管芯表面物化特性遲鈍化的工藝
2011-05-13 19:09:35
跪求MG811二氧化碳傳感器!!!小生不勝感激!!QQ962279960
2018-03-30 09:42:31
最近在做一個課設,題目內容如下利用51單片機及二氧化碳濃度傳感器(NDIR紅外二氧化碳傳感器模塊 MH-Z14A)設計一個CO2濃度測量系統。系統能夠實時采集飛機客艙內的CO2濃度并顯示,測量范圍0-5000PPmLCD顯示濃度信息。由于對該傳感器不熟悉,及知識的匱乏,煩請各位大神給予技術支持!
2017-12-20 10:39:06
`(058)二氧化碳中毒、有害氣體中毒和輻射傷害等引發的嚴重后果,大家已經很了解。而二氧化碳一旦中毒,死亡時間更快,傷亡更大,往往讓人措手不及。如果二氧化碳中毒嚴重的話,即使救回來,也可能是一個癡呆
2020-02-27 14:40:12
光刻膠層上形成固化的與掩模板完全對應的幾何圖形;對光刻膠上圖形顯影,與掩模對應的光刻膠圖形可以使芯層材料抵抗刻蝕過程;使用等離子交互技術,將二氧化硅刻蝕成與光刻膠圖形對應的芯層形狀;光刻膠層
2018-08-24 16:39:21
STACO2-2400-01是由慧感嘉聯自主研發的全新一代有源二氧化碳監控標簽,采用進口NDIR紅外氣體傳感器和微控制技術,響應速度快,測量精度高,穩定性和重復性好。在該標簽中,慧感嘉聯采用了創新性
2022-03-24 16:55:46
,通過編寫液晶顯示界面,調用相關按鍵程序,選擇傳感器通道以及保存為U盤數據等功能。框圖如圖1所示。圖1儀器設計框圖3傳感器選擇選擇了DYNAMENT公司的premier二氧化碳傳感器,此傳感器運用非色散
2015-09-29 14:35:23
上下移動晶圓舟的攪動。有時超聲波或兆頻超聲波也用來去除氣泡。淀積氧化物濕法刻蝕晶圓上的最終膜層之一是一層在鋁膜上的二氧化硅鈍化膜。這些膜是蒸汽氧化或硅氧化膜。膜的化學成分是硅氧化物,它要求不同的刻蝕
2018-12-21 13:49:20
~+70°C (特定產品可低至-60°C)。化學反應式陽極:Li → Li+ + e-陰極:2SO2 +e → S2O4整體:2Li + 2SO2 → Li2S2O4用途雖然鋰二氧化硫電池是以軍事應用為
2014-08-18 10:30:58
減少二氧化碳排放是當今汽車領域最熱門的話題。歐盟委員會最近宣布到2012年獲得更安全更環保汽車的路線圖。汽車消費者購買方式中的明顯變化也證實,消費者想要能滿足自己個人與專業需求的有最高燃料效能汽車
2019-11-08 08:00:06
盡管大多數二氧化碳傳感器采用紅外(IR)技術,但電化學傳感器因其靈敏度高、測量范圍廣且價格低廉等優勢成為不可小覷的競爭對手之一。一般情況下,電化學傳感器通過一個偏置電流極低(<1pA)的緩沖放大器
2018-11-12 16:18:15
成分。??水泥工業樣品??分析元素包括二氧化硅、氧化鋁、氧化鐵、氧化鈣、氧化鎂、K2O、Na2O、SO3、氯等。??鐵合金工業應用??可以分析鐵合金工業中的各種樣品,如硅鐵、硅錳、硅鋁鋇鈣等。??玻璃
2020-11-10 15:19:16
`二氧化碳(carbon dioxide),化學式CO2。是空氣中主要成分之一,是常見的溫室氣體,一種氣態化合物,碳與氧反應生成其化學式為CO2,一個二氧化碳分子由兩個氧原子與一個碳原子通過共價鍵
2018-08-15 16:21:21
在一個只有人類呼吸的、自給自足的封閉系統中,隨著時間的推移,二氧化碳濃度會逐漸積累到一個對人體有害的水平。 因此,在人類存在的任何形式的航天器中,需要執行去除二氧化碳和再生氧氣的有效機制。由于不受
2019-07-18 22:58:15
本方案是一個基于 Arduino Nano RP2040 Connect,通過 Telegram 機器人顯示灰塵密度 (mg/m3) 和二氧化碳 (CO2) 密度 (ppm)的監測系統。由于我患有
2021-11-18 17:58:40
畢業設計的題目,要求無線傳輸數據,距離大于1千米,監測室外的二氧化碳濃度,求各位大神幫幫忙!
2017-04-12 13:11:37
第二個圖是二氧化碳傳感器的模塊,為什么總的電路圖顯示的是四個引腳,但是詳細模塊里面只有3個引腳
2017-06-03 15:39:21
采用硅基二氧化硅陣列波導光柵設計并制作了寬帶低串擾單纖三向器.為使三個波長間隔相差較大的輸出譜獲得相同的帶寬,在輸出波導與羅蘭圓交界采用了不同結構的多模干涉器.二維有限差分束傳播法的模擬結果表明
2010-04-26 16:14:06
具體功能:①二氧化碳傳感器測得二氧化碳數據后經過單片機處理,由LCD1602實時顯示,第一行顯示測得的濃度值,第二行顯示報警閾值;②可通過按鍵設置二氧化碳報警閾值;③測得的甲醛濃度在正常范圍時,綠燈亮,超過報警閾值時,紅燈亮,蜂鳴器響,開始聲光報警。
2021-07-14 08:27:12
具體功能:①二氧化碳傳感器測得二氧化碳數據后經過單片機處理,由LCD1602實時顯示,第一行顯示測得的濃度值,第二行顯示報警閾值;②可通過按鍵設置二氧化碳報警閾值;③測得的甲醛濃度在正常范圍時,綠燈
2021-07-20 07:24:36
在網上看了MG811二氧化碳的資料,里面規格表里說明輸出信號是30~50mv,可是為什么靈敏度曲線輸出信號可以超過200mv;另外根據能斯特方程推導二氧化碳的濃度與輸出電勢之間的關系與按照靈敏度曲線推導出來的關系不一樣!請大神們解答,第一次使用MG811二氧化碳傳感器,有些疑問。在此謝謝各位了……
2015-04-30 11:05:18
就能對層上的特定部分進行選擇性地移除。在有的情況中,罩的材料為光阻性的,這和光刻中利用的原理類似。而在其他情況中,刻蝕罩需要耐受某些化學物質,氮化硅就可以用來制造這樣的“罩”。“干法”(等離子)刻蝕用于
2017-10-09 19:41:52
一、傳感器概述DS-CO2-20 是一款基于非分散紅外吸收原理(NDIR)的數字式二氧化碳濃度傳感器,可連續采集并計算單位體積內空氣中的二氧化碳濃度,并以通用數字接口形式輸出。本傳感器可嵌入各種
2022-11-02 14:02:40
一層Si02二氧化硅。Si02二氧化硅為絕緣材料,但有雜質和特殊處理的Si02二氧化硅有一定的導電性。六、上光刻膠光刻膠和以前照相的膠片一個道理。Wafer上光刻膠,要求薄而平整。七、刻蝕線路,研磨
2019-09-17 09:05:06
有沒有二氧化碳傳感器的程序!
2012-12-10 22:23:14
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 10:07 編輯
要測一下室內的二氧化碳濃度想用TGS4160,但好像很貴,誰知道具體要多少錢?網上看的價錢參差不一如果還有其他什么好的二氧化
2012-10-18 12:55:45
使用化石燃料和其他工業過程導致大氣中溫室氣體的積聚。自1896年以來,已知這些氣體(二氧化碳,甲烷和一氧化二氮)助于阻止地球的紅外輻射逃逸到太空,正是這個維持了地球相對溫暖的溫度。問題是可測量的水平
2017-07-07 09:41:07
沼氣發電的原理是什么?甲烷傳感器和二氧化碳傳感器在食品加工廠中的應用是什么?
2021-06-25 15:42:04
大氣中的二氧化碳是我們人類最為廉價和環保的一種可再生能源。日前來自中國合肥國家物理科學實驗室的研究小組開發出了一種由鈷制成的新型納米材料,可以將二氧化碳氣體轉化為一種稱為甲酸鹽的清潔燃料。 研究
2016-01-21 10:48:39
`石灰石二氧化硅化驗儀器設備系列 石灰石二氧化硅化驗儀器設備系列 英特儀器測試石灰石硅含量儀器,檢測石英砂二氧化硅的設備,化驗石灰石二氧化硅的設備,石英砂硅鐵檢測儀,化驗石灰石硅設備英特儀器
2021-03-11 11:24:18
原文來源:簡述二氧化硫試驗機的操作方法 小編:林頻儀器 二氧化硫試驗機是利用二氧化硫氣體對材料或是產品進行加速腐蝕試驗的設備,能夠重現材料或產品在一定時間范圍內遭受到的破壞程度。該設備可以用
2016-09-05 16:11:15
納米二氧化鈦在鋰電池正極材料中的應用一, 納米二氧化鈦摻雜后電化學性能均明顯優于未摻雜樣品的性能。這歸于在LiCoO2表面摻雜電化學性能相對穩定的納米二氧化鈦(VK-T30D)后, 一方面降低
2014-05-12 13:48:13
二氧化鈦(同VK-T20Q)與鋁粉混合顏料或納米二氧化鈦(同VK-T20Q)包覆的云母珠光顏料添加于涂料中,其涂層能產生神秘而富有變幻的隨角異色效應,主要是因為當入射光射到納米二氧化鈦(同VK-T20Q
2011-11-12 09:57:35
最近需要用到干法刻蝕技術去刻蝕碳化硅,采用的是ICP系列設備,刻蝕氣體使用的是SF6+O2,碳化硅上面沒有做任何掩膜,就是為了去除SiC表面損傷層達到表面改性的效果。但是實際刻蝕過程中總是會在碳化硅
2022-08-31 16:29:50
面臨劣勢,這必然對汽車生產商的業績造成較大的影響。我們可以通過成本效益分析確定成功降低二氧化碳排放量需要付出的努力。本文提出了一些二氧化碳減排建議,并特別關注了當今機動車中沒有實現基于需求控制的輔助
2018-12-07 10:15:04
二氧化碳傳感器模塊用于密閉大棚種植CO2濃度檢測
2020-12-01 07:05:22
紅外吸收型CO2氣體傳感器的原理是什么基于STM32的便攜式二氧化碳監測儀設計
2021-03-11 06:58:58
鋰二氧化錳電池的反應機理不同于一般電池,在非水有機溶劑中,負極鋰溶解下的鋰離子通過電解質遷移進入到MnO2的晶格中,生成MnO2(Li+)。Mn由+4價還原為+3價,其晶體結構不發生變化。
2020-03-10 09:00:32
二氧化硅/特氟龍AF包層光纖 二氧化硅/特氟龍AF包層光纖兼具超高數值孔徑,高強度及寬帶光譜傳輸等特性。因其可見光光譜保真度高(源色不變黃),所以它是硼硅酸鹽光纖的替代品(硼硅酸鹽光纖要求
2021-10-20 15:12:35
無水二氧化硅 (ASI) 單模光纖 這些光纖可使用丙烯酸酯涂層和高性能聚酰亞胺,鋁,金涂層等,使他們能夠超過普通標準光纖的溫度性能水平。說明:Fiberguide的ASI單模光纖用于
2021-10-21 10:19:43
Fiberguide全二氧化硅光纖 這些光纖可以被涂上各種聚合物或 金屬涂層,獲得最大溫度性能。說明:Fiberguide的硅芯/硅包層/聚合物包層光纖主要用于需要在單根或成束
2021-10-21 16:33:21
大包層全二氧化硅光纖 這些光纖在100μm - 400μm的纖芯范圍內具有固定的500μm包層直徑,使激光對準和拼接更容易,同時有更低的焦比退化。較大的600μm和800μm的纖芯會使
2021-10-21 16:54:41
此款XKONG祥控二氧化碳檢測儀是我司依照工業級設計標準研發生產的一款防爆型二氧化碳氣體濃度檢測儀表,可直接安裝在危險區域的 1 區和 2 區使用;極大
2023-03-27 17:44:11
以界面勢壘對碳納米管(CNT)場發射的影響為研究目的,在硅襯底上引進很薄的二氧化硅層,以二氧化硅層作為絕緣勢壘,然后在二氧化硅界面層上直接生長CNT,來研究二氧化硅絕緣勢
2010-03-05 14:07:3614 準備工作的最后一道工序是在二氧化硅層上覆蓋一個感光層。這一層物質用于同一層中的其它控制應用。這層物質在干燥時具有很好的感光效果,而且在光刻蝕過程結束之后,能夠通過化學方法將其溶解并除去。
2018-04-03 14:12:001787 二氧化碳(carbon dioxide),化學式CO2。是空氣中主要成分之一,是常見的溫室氣體,一種氣態化合物,碳與氧反應生成其化學式為CO2,一個二氧化碳分子由兩個氧原子與一個碳原子通過共價鍵構成
2019-06-13 14:43:531752 反刻是在想要把某一層膜的總的厚度減小時采用的(如當平坦化硅片表面時需要減小形貌特征)。光刻膠是另一個剝離的例子。總的來說,有圖形刻蝕和無圖形刻蝕工藝條件能夠采用干法刻蝕或濕法腐蝕技術來實現。為了復制硅片表面材料上的掩膜圖形,刻蝕必須滿足一些特殊的要求。
2018-12-14 16:05:2768523 摘要:在半導體制造工藝的濕法刻蝕中,用熱磷酸刻蝕氮化硅和氮氧化硅是其中一個相對復雜又難以控制的工藝。在這個工藝中,熱磷酸刻蝕后的去離子水(DIW)清洗更是一個非常重要的步驟。主要分析了由于去離子水
2020-12-29 14:36:072510 在集成電路的制造過程中,刻蝕就是利用化學或物理方法有選擇性地從硅片表面去除不需要的材料的過程。從工藝上區分,刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕。前者的主要特點是各向同性刻蝕;后者是利用等離子體來進行
2020-12-29 14:42:588547 四十五所作為國內最大的濕化學設備供應商之一,其設備涵蓋了半導體制造幾乎所有的濕化學制程,包括:金屬刻蝕、深硅刻蝕、二氧化硅刻蝕、RCA清洗、酸洗、有機清洗、去膠、顯影、去蠟、制絨、高溫側腐、電鍍等。
2021-02-01 11:16:355172 二氧化氯發生器是由釜式反應器通過耐酸導管和水射式真空機組組成的,一種操作簡單、高轉化率、高純度、多用途、環保型化學法中、小型二氧化氯多級發生器。
2021-10-01 17:24:008792 俗稱泡花堿,是一種水溶性硅酸鹽,其水溶液俗稱水玻璃,是一種礦黏合劑。其化學式為R2O·nSiO2,式中R2O為堿金屬氧化物,n為二氧化硅與堿金屬氧化物摩爾數的比值,稱為水玻璃的摩數。建筑上常用
2021-10-18 16:13:431091 。 二氧化硫氣體的(化學式為SO2)是最常見、最簡單的硫氧化物。二氧化硫也是無色氣體,有強烈刺激性氣味,是大氣主要污染物之一。 二氧化硫的形成原因是什么? 大多的二氧化硫都是因為對含硫礦石的冶煉、對化石燃料的燃燒、或
2021-12-10 14:39:33562 二氧化硅它是屬于光纖的主要制作材料
2021-12-21 15:30:059547 電流的極端規模集成。在這個過程中,固相氮化硅(Si3N4)層在部分二氧化硅(SiO2)沉積中起到掩模的作用。通過這種沉積,形成了由數百個交替堆疊的Si3N4和二氧化硅原子層組成的垂直堆疊結構.Si3N4掩模必須在程序結束時去除,通常通過熱化學蝕
2021-12-28 16:38:085460 磷酸(H3PO4) -水(H2O)混合物在高溫下已被使用多年來蝕刻對二氧化硅(二氧化硅)層有選擇性的氮化硅(Si3N4)。生產需要完全去除Si3N4,同時保持二氧化硅損失最小。批量晶片清洗的挑戰是如何保持Si3N4對二氧化硅的高蝕刻選擇性,以獲得更長的槽壽命。
2022-02-15 11:25:592557 性,單片濕法刻蝕法是一種有用的技術。其進一步推進應得到理論計算的支持。 因此,在我們之前的研究中開發了使用單晶片濕法蝕刻機進行二氧化硅膜蝕刻的數值計算模型。首先,通過水流可視化獲得旋轉晶片上的整個水運動,并進行評估
2022-03-02 13:58:36751 緩沖氧化物蝕刻(BOE)或僅僅氫氟酸用于蝕刻二氧化硅在硅上晶片。 緩沖氧化蝕刻是氫氟酸和氟化銨的混合物。含氟化銨的蝕刻使硅表面具有原子平滑的表面高頻。 由于這一過程中所涉及的酸具有很高的健康風險,建議用戶使用在執行工藝之前,請仔細閱讀材料安全數據表。
2022-03-10 16:43:35798 近十年來,濕化學法制備超薄二氧化硅/硅和超薄二氧化硅/硅結構的技術和研究取得了迅速發展。這種結構最重要是與大尺寸硅晶片上氧化物層的均勻生長有關。
2022-03-11 13:57:22828 )、掃描電子顯微鏡(SEM)和光致發光(PL)光譜進行表征,以允許對它們的結構和光學性質進行檢查。XRD結果表明,當薄膜在不同的氫氮濃度下刻蝕不同的時間時,ZnO的強度降低。上述觀察歸因于氧化鋅的溶解
2022-04-24 14:58:20930 我們測量了硅化物膜(CoSi2、NiSi2、TiSi2和WSi)的濺射刻蝕速率,并研究了離子能量的依賴性,發現它們與二氧化硅薄膜的相對濺射刻蝕速率幾乎與濺射離子能量無關,從相對濺射蝕刻速率和計算
2022-05-07 15:41:461126 介紹 硅或二氧化硅已被用作犧牲層來制造獨立式結構,例如微機電系統(MEMS)中的梁、懸臂和隔膜。傳統的含水HF已經廣泛用于蝕刻二氧化硅犧牲層,因為它成本低廉。然而,當具有高縱橫比的結構在含水
2022-05-23 17:01:43948 當應用于硅(Si)、玻璃和其他材料時,二氧化硅(SiO2)涂層提供介電層或鈍化層,用于半導體、MEMS、生物醫學、儲能設備和其他應用的晶片類型。
2022-07-26 14:56:261236 堿金屬、堿土金屬氧化物的不同含量,又分為: 1、石英玻璃 石英玻璃的二氧化硅含量大于99.5%,其熱膨脹系數低、耐高溫、化學穩定性好、透紫外光和紅外光、熔制溫度高、粘度大、成型較難。石英玻璃多用于半導體、電光源、光導通
2022-08-01 10:01:311670 濕法刻蝕也稱腐蝕。硅的濕法刻蝕是 MEMS 加工中常用的技術。其中,各向同性 (Isotropic)濕法刻蝕常用的腐蝕劑是由氫氟酸(HF)、硝酸( HNO3)和乙酸(CH3COOH)組成的混合物
2022-10-08 09:16:323581 源漏選擇性外延一般采用氮化硅或二氧化硅作為硬掩模遮蔽層,利用刻蝕氣體抑制遮蔽層上的外延生長,僅在曝露出硅的源漏極區域實現外延生長。
2022-11-29 16:05:151708 濕法刻蝕利用化學溶液溶解晶圓表面的材料,達到制作器件和電路的要求。濕法刻蝕化學反應的生成物是氣體、液體或可溶于刻蝕劑的固體。
2023-02-10 11:03:184085 刻蝕有三種:純化學刻蝕、純物理刻蝕,以及介于兩者之間的反應式離子刻蝕(ReactiveIonEtch,RIE)。
2023-02-20 09:45:072586 有機物、金屬等雜質及蒸發殘留的水分。清潔完成后就可以將晶圓置于800至1200攝氏度的高溫環境下,通過氧氣或蒸氣在晶圓表面的流動形成二氧化硅(即“氧化物”)層。氧氣
2022-07-10 10:27:31965 :使用特定的化學溶液進行化學反應來去除氧化膜的濕法刻蝕,以及使用氣體或等離子體的干法刻蝕。1、濕法刻蝕使用化學溶液去除氧化膜的濕法刻蝕具有成本低、刻蝕速度快和生產率高
2022-07-12 15:49:251454 刻蝕(Etching)的目的是在材料表面上刻出所需的圖案和結構。刻蝕的原理是利用化學反應或物理過程,通過移除材料表面的原子或分子,使材料發生形貌變化。
2023-08-01 16:33:383915 硅(Si)、二氧化硅(SiO2)、鍺(Ge)等。其中,硅是最為常見和廣泛應用的半導體材料之一。 硅是地殼中非常豐富的元素之一,它具有較高的化學穩定性、熱穩定性和機械性能,因此硅材料具有廣泛的應用前景。硅晶體的晶體結構為鉆
2024-02-04 09:46:07458 碳傳感器的分類及其工作原理。 二氧化碳傳感器可以根據其傳感原理的不同分為以下幾類: 1. 電化學傳感器: 電化學傳感器是利用電化學反應來檢測環境中二氧化碳濃度的傳感器。最常見的電化學傳感器是基于氧化還原反應的傳感器。
2024-03-06 14:58:46227 刻蝕機的刻蝕過程和傳統的雕刻類似,先用光刻技術將圖形形狀和尺寸制成掩膜,再將掩膜與待加工物料模組裝好,將樣品置于刻蝕室內,通過化學腐蝕或物理磨蝕等方式將待加工物料表面的非掩膜區域刻蝕掉,以得到所需的凹槽和溝槽。
2024-03-11 15:38:24471
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