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單晶片背面和斜面清潔(上)

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2022-03-28 15:54:481282

濕法清洗過程中晶片旋轉速度的影響

噴涂工具、或單晶片旋轉工具。在批量浸漬工具中,與其他濕法加工工具相比,存在由水槽中晶片之間的顆粒轉移引起的交叉污染問題。批量旋轉噴涂工具用于在生產線后端(BEOL)進行蝕刻后互連清洗。
2022-04-08 14:48:32585

單晶晶片的超聲輔助化學蝕刻

用氟化氫-氯化氫-氯氣混合物進行各向異性酸性蝕刻是一種有效的方法 單晶晶片紋理化的替代方法 在晶片表面形成倒金字塔結構[1,2]形貌取決于以下成分 蝕刻混合物[3]硅在HF-HCl[1]Cl2
2022-04-12 14:10:22362

一種用濕式均勻清洗半導體晶片的方法

本發明公開了一種用濕式均勻清洗半導體晶片的方法,所公開的本發明的特點是:具備半導體晶片和含有預定清潔液的清潔組、對齊上述半導體晶片的平坦區域,使其不與上述清潔組的入口相對、將上述對齊的半導體晶片浸入
2022-04-14 15:13:57605

GaN單晶晶片的清洗與制造方法

作為用于高壽命藍色LD (半導體激光器)、高亮度藍色LED (發光二極管)、高特性電子器件的GaN單晶晶片,通過hvpe (氫化物氣相)生長法等進行生長制造出了變位低的自立型GaN單晶晶片。GaN
2022-04-15 14:50:00510

晶片的化學蝕刻工藝研究

拋光的硅片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,通過切片將單晶硅錠切成圓盤(晶片),然后進行稱為研磨的平整過程,該過程包括使用研磨漿擦洗晶片。 在先前的成形過程中引起的機械損傷通過蝕刻是本文的重點。在準備用于器件制造之前,蝕刻之后是各種單元操作,例如拋光和清潔
2022-04-28 16:32:37670

使用單晶片自旋處理器的背面清潔研究

在這項研究中,我們華林科納使用經濟特區單晶片自旋處理器開發了一種單一背面清潔解決方案,能夠通過蝕刻晶片背面的幾埃來去除任何金屬或外來污染物,無論其涂層如何(無涂層、Si3N4或SiO2)。選擇H2O
2022-05-06 14:06:45339

用于光刻膠去除的單晶片清洗技術

本文的目標是討論一種新技術,它可以在保持競爭力的首席運營官的同時改善權衡。 將開發濕化學抗蝕劑去除溶液的能力與對工藝和工具要求的理解相結合,導致了用于光刻膠去除的單晶片清洗技術的發展。 該技術針對
2022-05-07 15:11:11621

SAPS兆頻超聲波技術應用于TSV晶片的刻蝕后清洗工藝

,FIB-SEM用于評估鍍銅性能,TSV泄漏電流圖和電壓斜坡介電擊穿(VRDB)作為主要電氣可靠性指標,也用于評估清潔效果,測試結果表明,兆聲能量可以傳播到TSV的底部,與傳統的單晶片噴淋清洗相比,經過SAPS清洗的晶片表現出明顯的電學性能提高。
2022-05-26 15:07:03701

單晶片背面斜面清潔(下篇)

高級應用 在正面具有對損壞敏感的關鍵結構的應用中,例如對于32nm柵極多晶硅(AR5:1)圖案化的晶片,該 系統可以被設置為無損壞地清潔。這是通過修改背面化學噴嘴和配方配置,并保持正面干燥來實現
2022-06-27 17:04:27746

不同的濕法晶片清洗技術方法

雖然聽起來可能沒有極紫外(EUV)光刻那么性感,但對于確保成功的前沿節點、先進半導體器件制造,濕法晶片清洗技術可能比EUV更重要,這是因為器件的可靠性和最終產品的產量都與晶片清潔度直接相關,因為晶片要經過數百個圖案化、蝕刻、沉積和互連工藝步驟。
2022-07-07 16:24:231578

晶片的清洗技術

摘要 隨著越來越高的VLSIs集成度成為商業實踐,對高質量晶片的需求越來越大。對于表面上幾乎沒有金屬雜質、顆粒和有機物的高度潔凈的晶片來說,尤其如此。為了生產高清潔度的晶片,有必要通過對表面雜質行為
2022-07-11 15:55:451026

晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

全球首個100毫米的單晶金剛石晶圓研發成功

運用異質外延工藝,Diamond Foundry以可擴展的基底制造單晶金剛石,這是一項前所未有的技術突破。過去已有技術用于生產金剛石晶片,但這些晶片基于壓縮金剛石粉末制備,缺乏單晶金剛石的特性。
2023-11-10 16:04:03857

什么是單晶硅光伏板?單晶硅光伏板優缺點

單晶硅光伏板是一種基于單晶硅材料制造的太陽能光電設備,常用于太陽能光伏發電系統中。單晶硅光伏板由多個單晶硅太陽能電池片組成,每個電池片都被覆蓋在透明的防反射玻璃上,并使用鋁框架進行支撐和保護。
2023-11-29 09:46:061006

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