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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

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極紫外光微影(EUV)技術(shù)據(jù)稱將在5納米(nm)節(jié)點時出現(xiàn)隨機缺陷

Borodovsky在采訪中表示,另一個可能導(dǎo)致5nm缺陷的因素是現(xiàn)有的EUV光阻劑材料缺乏均勻度。此外,他還表示支持直接電子束寫入,因為EUV使用的復(fù)雜相移光罩最終將膨脹至目前浸潤式光罩價格的8倍。
2018-04-11 15:59:3711349

掩模版主要廠商市場份額包括國外企業(yè)和國內(nèi)企業(yè)

根據(jù)SEMI公布數(shù)據(jù):2016年全球半導(dǎo)體掩模版(photomask)銷售額為33.2億美元,占到總晶圓制造材料市場的13%。
2018-08-18 10:47:5513704

Tencor推出兩款全新缺陷檢測產(chǎn)品,可滿足各種IC封裝類型的檢測需求

ICOS F160系統(tǒng)在晶圓切割后對封裝進行檢查,根據(jù)關(guān)鍵缺陷的類型進行準確快速的芯片分類,其中包括對側(cè)壁裂縫這一新缺陷類型(影響高端封裝良率)的檢測。這兩款全新檢測系統(tǒng)加入KLA-Tencor缺陷檢測、量測和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)的產(chǎn)品系列,將進一步協(xié)助提高封裝良率以及芯片分類精度。
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三星半導(dǎo)體已經(jīng)開始使用其7LPP制造工藝生產(chǎn)芯片

透露它是否使用薄膜來保護光掩模免于降級,但僅表明使用EUV可以將芯片所需的掩模數(shù)量減少20%。此外,該公司表示,它已經(jīng)開發(fā)出專有的EUV掩模檢測工具,可以在制造周期的早期進行早期缺陷檢測并消除缺陷(這可能會對產(chǎn)量產(chǎn)生積極影響)。
2018-10-22 16:31:144993

助力高級光刻技術(shù):存儲和運輸EUV掩模面臨的挑戰(zhàn)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)突破設(shè)計尺寸不斷縮小的極限,極紫外 (EUV) 光刻技術(shù)的運用逐漸擴展到大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中。對于 7 納米及更小的高級節(jié)點,EUV 光刻技術(shù)是一種能夠簡化圖案形成工藝的支持技術(shù)。要在如此精細的尺寸下進行可靠制模,超凈的掩模必不可少。
2019-07-03 15:32:371712

電子行業(yè)缺陷檢測之外觀Logo缺陷檢測說明

可應(yīng)用在電子行業(yè)內(nèi)的缺陷檢測,例如可穿戴產(chǎn)品表面缺陷檢測、平板電腦Logo缺陷檢測等,同時也可應(yīng)用在醫(yī)療器械等高亮度、鏡面缺陷檢測。 目前,主流的產(chǎn)品logo都是噴印在產(chǎn)品上的,但由于工藝的原因
2019-10-08 16:00:003022

網(wǎng)友在GitHub上分享了他自己的一個算法模版

作者說了,因為這些題目都是按照類型歸類,且一開始還有詳細的知識點解析。題目也是常見的高頻題,很有代表性,大部分都是可以用模版加一點變形做出來的。
2020-07-01 15:09:251934

光伏組件EL檢測儀設(shè)備測試電池片的常見缺陷問題

內(nèi)部缺陷的,如斷柵、隱裂、破片、碎片、虛焊、燒結(jié)網(wǎng)紋、黑芯、黑邊、混檔、低效率片、邊緣過刻、PID、衰減、熱斑衰減等。 光伏組件EL檢測設(shè)備解析 EL英文全稱Electro Luminescence,即電致發(fā)光,也可以叫電子發(fā)光檢測。通過利用晶體硅的
2020-07-20 16:52:115153

一文解析什么是表面缺陷檢測系統(tǒng)

表面缺陷檢測系統(tǒng)也叫表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)或者表面質(zhì)量檢測設(shè)備。
2020-08-31 10:18:492734

表面缺陷檢測是什么?能夠檢測什么缺陷?

巨大損失。杭州國辰機器人科技有限公司就為大家?guī)砹艘环N高效檢測方法機器視覺表面缺陷檢測。 表面缺陷檢測是什么? 表面檢測系統(tǒng)是一種目前廣泛應(yīng)用的先進工具,可供操作員完全確保高速生產(chǎn)線上的電纜護套無缺陷。表面檢測系統(tǒng)
2020-09-09 18:24:202329

關(guān)于缺陷檢測設(shè)備,機器視覺缺陷檢測的內(nèi)容有哪些

機器視覺缺陷檢測設(shè)備,它是通過機器視覺檢測系統(tǒng)對產(chǎn)品的表面、外形缺陷、外觀瑕疪進行全面檢測缺陷檢測范圍太寬了,除了能檢測產(chǎn)品的外觀尺寸外,主要還表現(xiàn)在外觀缺陷,產(chǎn)品表面各種瑕疪檢測上。 如今國內(nèi)
2020-11-05 15:52:061608

表面缺陷檢測系統(tǒng)是什么,它的應(yīng)用優(yōu)勢是什么

如今在生產(chǎn)技術(shù)企業(yè)中,為了保障產(chǎn)品的質(zhì)量,在出廠前必須要對產(chǎn)品進行嚴格的質(zhì)量檢測工作,目前,表面缺陷檢測系統(tǒng)被廣大企業(yè)所應(yīng)用,他的原理主要就是通過工業(yè)相機來進行檢測,主要作用就是一個用來在線數(shù)據(jù)
2020-11-20 12:15:27768

極紫外(EUV)光刻技術(shù)將如何影響掩模收入?

體上,三分之二的調(diào)查參與者認為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要在高級節(jié)點處使用更多的掩模
2020-11-23 14:42:091096

COVID將對光掩模市場產(chǎn)生什么業(yè)務(wù)影響?

總體上,三分之二的調(diào)查參與者認為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要在高級節(jié)點處使用更多的掩模
2020-12-17 11:26:261214

GAN用于(無缺陷樣本)產(chǎn)品表面缺陷檢測

,從CNN到Y(jié)OLO,SSD,甚至到語義分割的FCN相關(guān)論文,通過一些技術(shù),對框架進行輕量化,對缺陷進行分類檢測。 ? ? ? ?不過,逃不出一個問題:一定要有缺陷樣本可供訓(xùn)練,而且數(shù)量不能太少!當然,也有一些課題組使用稀疏編碼、字典學(xué)習(xí)、
2021-01-03 11:53:002910

表面缺陷檢測的原理是什么,它有哪些功能

高品質(zhì)的紙張不允許出現(xiàn)孔洞、夾雜、破損等各類缺陷。紙張表面缺陷檢測系統(tǒng)能在線對生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的表面缺陷進行高速、精確的檢測。系統(tǒng)能根據(jù)表面缺陷的特征,實時識別并對缺陷分類,結(jié)合現(xiàn)場工藝在線報警
2021-04-01 10:16:181147

智能化薄膜表面缺陷檢測儀的檢測原理說明

薄膜瑕疵在線檢測系統(tǒng)用于檢測各類薄膜產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中表面出現(xiàn)的污點、蚊蟲、孔洞、雜質(zhì)等常見缺陷,系統(tǒng)可以在生產(chǎn)過程中及時的發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面出現(xiàn)的疵點信息,實時反映生產(chǎn)線表面的缺陷信息,并進行瑕疵分類處理
2021-04-07 15:14:44689

薄膜表面瑕疵缺陷在線檢測系統(tǒng)的特點是什么

在線檢測系統(tǒng)用于檢測各類薄膜產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中表面出現(xiàn)的污點、蚊蟲、孔洞、雜質(zhì)等常見缺陷,系統(tǒng)可以在生產(chǎn)過程中及時的發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面出現(xiàn)的疵點信息,實時反映生產(chǎn)線表面的缺陷信息,并進行瑕疵分類處理,完全取代人工肉眼
2021-04-21 16:24:30345

蘇州硅時代推出快速制版服務(wù)

基板分為樹脂基板和玻璃基板。用以制作掩模版的掩膜基板必須內(nèi)部和兩表面都無缺陷。必須于光刻膠的曝光波長下有高的光學(xué)透射率。用來制作掩模版的常見材質(zhì)有石英玻璃,蘇打玻璃等。
2021-05-09 09:38:422491

外觀缺陷檢測解決方案

在加工和制造過程中,外觀缺陷檢測是一個非常重要的環(huán)節(jié)。計算機從小部件到整機,都要經(jīng)歷數(shù)百種不同的外觀缺陷。我們都知道,外觀缺陷檢測需要高的勞動力成本,而工人的檢測效率低于機器。仍然存在著一系列
2021-07-01 11:09:521488

紙張缺陷在線檢測系統(tǒng)的原理及功能

精譜測控紙張缺陷在線檢測系統(tǒng)測量精準可靠——精譜測控紙張表面瑕疵在線檢測是基于視覺智能化檢測系統(tǒng),主要由線陣視覺傳感器,服務(wù)器等組成。集高速自動檢測,測量,分辨,定位于一體。主要用于跟蹤,識別并在
2021-07-14 16:18:23315

紙張表面缺陷檢測設(shè)備的原理及功能

精譜測控紙張表面缺陷檢測設(shè)備快速顯示和識別表面所有缺陷——精譜測控紙張表面瑕疵在線檢測是基于視覺智能化檢測系統(tǒng),主要由線陣視覺傳感器,服務(wù)器等組成。集高速自動檢測,測量,分辨,定位于一體。主要
2021-08-02 08:56:30728

使用標準濕法清潔從EUV掩模空白中去除納米顆粒

納米。另一方面,在2008年發(fā)表的報告中,對于32納米高壓線和空間圖案,EUV掩模上吸收體缺陷的臨界缺陷尺寸被描述為大約24納米,這意味著必須去除具有相同尺寸的顆粒。在如此嚴格的缺陷要求下,清潔工
2022-02-17 14:59:271349

基于深度學(xué)習(xí)的小樣本墻壁缺陷目標檢測分類

近年來,無需人工干預(yù)的深度學(xué)習(xí)已經(jīng)成為缺陷圖像檢測分類的一種主流方法。本文針對室內(nèi)墻壁缺 陷缺檢測中數(shù)據(jù)集大多是小樣本的問題,提出了相關(guān)的深度學(xué)習(xí)研究方法。首先,自制墻壁表面缺陷數(shù)據(jù)集(Wall
2022-04-24 09:44:161

半導(dǎo)體制造將EUV引入DRAM的計劃介紹

EUV 光刻技術(shù)被視為先進半導(dǎo)體制造的最大瓶頸,但這些價值超過 1.5 億美元的工具是沒有光掩模的paperweights。一個恰當?shù)谋扔魇牵?b class="flag-6" style="color: red">掩模可以被認為是光刻工具對芯片層進行圖案化所需的物理模板。
2022-08-26 10:49:47942

移相掩模技術(shù)不同的分類方法

光刻圖形質(zhì)量的主要判據(jù)是圖形成像的對比度,移相掩模方法可使對比度得到改善,從而使得其分辨率比傳統(tǒng)方法改善 40%~100%。移相掩模按不同的分類方法可分為多種類型,其基本原理均為相鄰?fù)腹鈭D形透過的光振幅相位相反而產(chǎn)生相消干涉,振幅零點和(或)頻譜分布壓窄,從而改善對比度、分辦率和成像質(zhì)量。
2022-10-17 14:54:091490

什么是極紫外光刻 極紫外光刻優(yōu)勢介紹

掩模版缺陷的光學(xué)檢測極為困難。通常,光學(xué)檢測可以獲得表面缺陷和相缺陷引起的所有轉(zhuǎn)印缺陷,但是由于 EUV 的多層掩模結(jié)構(gòu),使得這些缺陷被埋在多層薄膜的下面。
2022-10-24 10:48:045456

機器視覺檢測中的外觀缺陷檢測

產(chǎn)品的外觀缺陷直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量問題,而在檢測時,由于產(chǎn)品缺陷種類繁多且干擾因素眾多,導(dǎo)致產(chǎn)品的外觀缺陷檢測一直是機器視覺檢測中的難點。
2022-10-31 15:08:282872

使用YOLOX檢測PCB的缺陷

我們將使用mmdetection? 檢測PCB圖像中的缺陷。OpenMMLab? 是一個深度學(xué)習(xí)庫,擁有計算機視覺領(lǐng)域大多數(shù)最先進實現(xiàn)的預(yù)訓(xùn)練模型。它實現(xiàn)了幾乎所有眾所周知的視覺問題,如分類、目標檢測與分割、姿態(tài)估計、圖像生成、目標跟蹤等等。
2022-12-07 10:01:081139

***的簡易工作原理圖 掩模版都有哪些種類?

光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實現(xiàn)對光線的遮擋或透過功能,是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。
2023-02-13 09:27:292086

工業(yè)缺陷檢測場景簡介

缺陷”一般可以理解為與正常樣品相比的缺失、缺陷或面積。表面缺陷檢測是指檢測樣品表面的劃痕、缺陷、異物遮擋、顏色污染、孔洞等缺陷,從而獲得被測樣品表面缺陷的類別、輪廓、位置、大小等一系列相關(guān)信息。
2023-02-17 10:21:061334

EUV 光刻制造全流程設(shè)計解析

其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統(tǒng),再到光掩模,再到對準系統(tǒng),再到晶圓載物臺,再到光刻膠化學(xué)成分,再到鍍膜機和顯影劑,再到計量學(xué),再到單個晶圓。
2023-03-07 10:41:581134

淺談EUV光刻中的光刻膠和掩模等材料挑戰(zhàn)

新的High NA EUV 光刻膠不能在封閉的研究環(huán)境中開發(fā),必須通過精心設(shè)計的底層、新型硬掩模和高選擇性蝕刻工藝進行優(yōu)化以獲得最佳性能。為了迎接這一挑戰(zhàn),imec 最近開發(fā)了一個新的工具箱來匹配光刻膠和底層的屬性。
2023-04-13 11:52:121165

基于機器視覺的汽車漆面缺陷檢測技術(shù)

統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)。系統(tǒng)對漆面缺陷檢測的過程和結(jié)果全程保存在本地電腦數(shù)據(jù)庫上,同時可以與車間管理系統(tǒng)對接,實現(xiàn)檢測結(jié)果的分類查詢、匯總分析功能。
2023-06-19 10:12:481929

行業(yè)案例 | 缺陷自動檢測分類(ADC)解決方案

由人工判別缺陷種類和缺陷位置,雖然已融入自動化生產(chǎn)步驟,但仍然有檢測過程耗時耗力、成本高的不便之處。明治傳感器推出的自動缺陷檢測分類(ADC,AutomaticD
2022-08-04 11:55:111135

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測
2023-01-12 15:46:34559

基于GAN的零缺陷樣本產(chǎn)品表面缺陷檢測

缺陷檢測是工業(yè)生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),其檢測結(jié)果的好壞直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而在現(xiàn)實場景中,但產(chǎn)品瑕疵率非常低,甚至是沒有,缺陷樣本的不充足使得需要深度學(xué)習(xí)缺陷檢測模型準確率不高。如何在缺陷樣本
2023-06-26 09:49:01549

EUV光刻市場高速增長,復(fù)合年增長率21.8%

EUV掩膜,也稱為EUV掩模EUV光刻掩膜,對于極紫外光刻(EUVL)這種先進光刻技術(shù)至關(guān)重要。EUV光刻是一種先進技術(shù),用于制造具有更小特征尺寸和增強性能的下一代半導(dǎo)體器件。
2023-08-07 15:55:02399

EUV薄膜容錯成本高 成芯片良率的關(guān)鍵

近20年來,EUV光源、EUV掩模EUV光刻膠一直是EUV光刻的三大技術(shù)挑戰(zhàn)。
2023-09-14 09:45:12563

基于改進FCOS的表面缺陷檢測算法

首先使用深度卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)提取輸入圖像特征圖,然后使用分類網(wǎng)絡(luò)、回歸網(wǎng)絡(luò)、中心度網(wǎng)絡(luò)對特征圖上的所有特征點逐個進行檢測分類網(wǎng)絡(luò)輸出原圖上以此特征點為中心的區(qū)域所含缺陷類別,回歸網(wǎng)絡(luò)輸出原圖上以此特征
2023-09-28 09:41:27187

關(guān)于高數(shù)值孔徑EUV和曲線光掩模等燈具的討論

半導(dǎo)體芯科技編譯 來源:Silicon Semiconductor eBeam Initiative已完成第12屆年度eBeam Initiative杰出人物調(diào)查。 來自半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)(包括光掩模
2023-10-17 15:00:01224

高數(shù)值孔徑EUV的可能拼接解決方案

采用曲線掩模的另一個挑戰(zhàn)是需要將兩個掩模縫合在一起以在晶圓上形成完整的圖像。對于高數(shù)值孔徑 EUV,半場掩模的拼接誤差是一個主要問題。
2023-10-23 12:21:41342

光刻可制造性檢查如何檢測掩模版質(zhì)量

隨著工藝節(jié)點不斷變小,掩模版制造難度日益增加,耗費的資金成本從數(shù)十萬到上億,呈指數(shù)級增長,同時生產(chǎn)掩模版的時間成本也大幅增加。如果不能在制造掩模版前就保證其設(shè)計有足夠高的品質(zhì),重新優(yōu)化設(shè)計并再次制造一批掩模版將增加巨大的資金成本和時間成本。
2023-11-02 14:25:59284

一文帶你了解蔡司工業(yè)CT中的自動缺陷檢測

蔡司自動缺陷檢測 適用于您的應(yīng)用領(lǐng)域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學(xué)習(xí)軟件將人工智能應(yīng)用于3D CT和2D X射線系統(tǒng),樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規(guī)則)進行檢測、定位與分類,同時通過讀取
2023-11-14 11:27:27212

分析蔡司工業(yè)CT中的自動缺陷檢測

蔡司 自動缺陷檢測:適用于您的應(yīng)用領(lǐng)域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學(xué)習(xí)軟件將人工智能應(yīng)用于3D CT和2D X射線系統(tǒng),樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規(guī)則)進行檢測、定位與分類,同時通過
2023-11-15 11:14:24221

龍圖光罩科創(chuàng)板IPO獲批,募投項目技術(shù)和經(jīng)濟可行性是關(guān)鍵?

龍圖光罩擁有130nm及以上節(jié)點的半導(dǎo)體掩模版制備頂尖技術(shù),覆蓋 CAM、光刻、檢測全流程。在功率半導(dǎo)體掩模版領(lǐng)域,其工藝節(jié)點已能充分滿足全球主流制程的需求。
2023-12-18 09:41:15273

機器視覺之玻璃產(chǎn)品缺陷檢測

數(shù)字化處理后的圖像傳輸至計算機中,依靠視覺檢測軟件系統(tǒng)完成缺陷圖像的濾波、邊緣檢測、特征提取以及分類的功能,最終達到玻璃智能檢測的目的。
2023-12-22 16:09:09188

龍圖光罩:致力于高端半導(dǎo)體掩模版國產(chǎn)化的先鋒

2020年-2023年上半年,應(yīng)用于功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的掩模版是龍圖光罩最主要的收入來源,且營收和營收占比呈現(xiàn)逐年遞增的趨勢。龍圖光罩指出,在功率半導(dǎo)體掩模版領(lǐng)域,公司的工藝節(jié)點已覆蓋全球功率半導(dǎo)體主流制程的需求。
2024-01-12 10:18:06325

良品學(xué)習(xí)在高良率制造業(yè)中缺陷檢測的應(yīng)用

缺陷形態(tài)多變,還可能出現(xiàn)各種無法預(yù)測的異常情況,傳統(tǒng)的缺陷模擬方法往往難以應(yīng)對,這無疑增加了檢測的成本和難度。良品學(xué)習(xí)阿丘科技的良品學(xué)習(xí)模式,擁有非監(jiān)督分類與非監(jiān)
2024-01-26 08:25:10157

視覺檢測設(shè)備的分類

、質(zhì)量控制、醫(yī)療影像、安防監(jiān)控、無人駕駛等。視覺檢測設(shè)備的主要功能包括圖像采集、圖像處理、目標檢測、特征提取、分類識別、缺陷檢測、測量計量等,通過這些功能實現(xiàn)對目標物體的自動化檢測和分析。常見的視覺檢測設(shè)備包
2024-02-21 09:41:11166

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