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深度解讀硅微納技術之蝕刻技術

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2022-03-29 16:02:59819

蝕刻技術基礎知識介紹

關于在進行這種濕法或干法蝕刻過程中重要的表面反應機制,以Si為例,以基礎現象為中心進行解說。蝕刻不僅是在基板上形成的薄膜材料的微細加工、厚膜材料的三維加工和基板貫通加工,而且是通過研磨和研磨等機械
2022-04-06 13:31:254185

臭氧輔助硅蝕刻技術的研究

本文章提出了一種新的半導體超鹵素深度分析方法,在通過臭氧氧化去除一些硅原子層,然后用氫氟酸蝕刻氧化物后,重復測量,然后確定了成分和表面電位的深度分布,因此這種分析技術提供了優于0.5納米的深度分辨率
2022-04-18 16:35:05261

詳解微加工過程中的蝕刻技術

材料,其用于許多蝕刻步驟中以抵抗蝕刻。該掩模材料可以是光致抗蝕劑,并且使用光刻法將其圖案化。蝕刻也可以稱為制作空腔,這些空腔應該根據用途具有特定的深度。產生的這種空腔的深度可以通過蝕刻時間和蝕刻速率
2022-04-20 16:11:571973

一種臭氧氧化和硅蝕刻技術

本文章提出了一種新的半導體超鹵素深度分析方法,在通過臭氧氧化去除一些硅原子層,然后用氫氟酸蝕刻氧化物后重復測量,確定了成分和表面電位的深度分布,因此這種分析技術提供了優于0.5納米的深度分辨率,通過
2022-05-06 15:50:39366

硅結構的深且窄的各向異性蝕刻研究

在使用低溫卡盤的低壓高密度等離子體反應器中研究了硅結構的深且窄的各向異性蝕刻。我們華林科納以前已經證明了這種技術在這種結構上的可行性。已經研究了蝕刻速率和輪廓的改進,并且新的結果顯示
2022-05-11 15:46:19730

用于減薄硅片的蝕刻技術

高效交錯背接觸(IBC)太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積,以提供足夠的家庭消費能源。我們認為,即使在20μm的厚度下,借助光捕獲方案,適當鈍化的IBC電池也能保持20%的效率。在這項工作中,光刻和蝕刻技術被用于對厚度小于20μm的晶硅(cSi)晶片的深度蝕刻
2022-06-28 11:20:260

什么是金屬蝕刻蝕刻工藝?

金屬蝕刻是一種通過化學反應或物理沖擊去除金屬材料的技術。金屬蝕刻技術可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學過程組成。不同的蝕刻劑對不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強度。
2023-03-20 12:23:433172

深度解讀智能汽車車載傳感器標定技術

智能汽車是指集成了各種先進技術的智能化交通工具,它不僅具有駕駛輔助和自動駕駛功能,還能實現智能聯網、智能感知和智能互動等多種功能。而車載傳感器作為智能汽車的重要組成部分,其標定技術也顯得尤為重要。本文將深度解讀智能汽車車載傳感器標定技術,包括標定技術的定義、分類、意義及其實現方法等方面。
2023-06-02 10:56:531665

蝕刻技術蝕刻工藝及蝕刻產品簡介

關鍵詞:氫能源技術材料,耐高溫耐酸堿耐濕膠帶,高分子材料,高端膠粘劑引言:蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wetetching)和干蝕刻
2023-03-16 10:30:163505

深度解讀硅微納技術之的蝕刻技術

蝕刻是一種從材料上去除的過程。基片表面上的一種薄膜基片。當掩碼層用于保護特定區域時在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-14 11:13:32183

不同氮化鎵蝕刻技術的比較

GaN作為寬禁帶III-V族化合物半導體最近被深入研究。為了實現GaN基器件的良好性能,GaN的處理技術至關重要。目前英思特已經嘗試了許多GaN蝕刻方法,大部分GaN刻蝕是通過等離子體刻蝕來完成
2023-12-01 17:02:39260

EMC技術:基礎概念到應用的解讀

EMC技術:基礎概念到應用的解讀?|深圳比創達電子
2024-03-11 11:55:0555

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