半導(dǎo)體技術(shù)的未來(lái)通常是通過(guò)光刻設(shè)備的鏡頭來(lái)看待的，盡管高度挑戰(zhàn)性的技術(shù)問(wèn)題幾乎永無(wú)休止，但光刻設(shè)備仍繼續(xù)為未來(lái)的工藝節(jié)點(diǎn)提供更好的分辨率。

多年來(lái)，光刻被視為持續(xù)器件微縮的與制造相關(guān)的主要控制因素，但受到多次延遲的困擾，這些延遲影響了工廠的吞吐量，一直持續(xù)到 7nm 工藝節(jié)點(diǎn)。這些問(wèn)題現(xiàn)已得到解決，但許多新問(wèn)題也即將出現(xiàn)，同時(shí)也出現(xiàn)了一些重要的改進(jìn)。

來(lái)自設(shè)計(jì)、光刻、測(cè)試和測(cè)量以及封裝界的行業(yè)專家齊聚今年的 SEMICON West 和 DAC，討論極紫外 (EUV) 和即將推出的高數(shù)值孔徑 EUV（高數(shù)值孔徑 EUV）的產(chǎn)品路線圖，包括最新的研究和開(kāi)發(fā)工作，以及推進(jìn)光刻創(chuàng)新和縮放密度的障礙。討論領(lǐng)域包括提高電源和工藝效率、增強(qiáng)計(jì)量技術(shù)以及探索曲線掩模和光刻膠新化學(xué)物質(zhì)等新穎的解決方案。然而，在這些進(jìn)步中，始終致力于實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)量、更高的吞吐量和更低的每芯片成本。

高數(shù)值孔徑 EUV

今年的大部分討論都集中在 EUV 的下一步發(fā)展以及高數(shù)值孔徑 EUV 的時(shí)間表和技術(shù)要求上。ASML戰(zhàn)略營(yíng)銷(xiāo)高級(jí)總監(jiān)Michael Lercel表示，目標(biāo)是提高EUV的能源效率，以及他們下一代高數(shù)值孔徑EUV工具的開(kāi)發(fā)狀況。

Lercel 表示：“EUV 工具并不是最節(jié)能的，但我們正在盡一切努力提高能源效率和工具本身，從而顯著提高制造每個(gè)晶圓所需的能源。”這些工具的演變中的數(shù)值孔徑（NA）。雖然每次曝光的總體能耗遠(yuǎn)高于 193i 光刻，但支持更高密度器件的單一圖案化的能力意味著需要更少的曝光。這反過(guò)來(lái)又減少了總體能量輸出和循環(huán)時(shí)間。

高數(shù)值孔徑將數(shù)值孔徑從 0.33 增加到 0.55，將分辨率從約 26 至 30 納米間距提高到 16 納米間距。通過(guò)增加數(shù)值孔徑，分辨率得到提高，但光學(xué)器件必須變得更大。這就需要一臺(tái)更大的機(jī)器，這會(huì)帶來(lái)額外的好處。更大的工具旨在提供更好的可維修性，以保持高生產(chǎn)率水平并縮短維修后返回制造的恢復(fù)時(shí)間。新的高數(shù)值孔徑系統(tǒng)也更加模塊化，使服務(wù)團(tuán)隊(duì)更容易更換各個(gè)模塊。

Lercel 透露，第一個(gè)完全組裝的系統(tǒng)已經(jīng)建成，但尚未投入使用，因?yàn)樗鼪](méi)有最終的光學(xué)器件。他預(yù)計(jì)這些系統(tǒng)將在今年晚些時(shí)候首次亮相。

“我們預(yù)計(jì) 0.55 的插入（insertion）將在未來(lái)幾年內(nèi)出現(xiàn)，并預(yù)計(jì)客戶將在 2025 年開(kāi)始將其投入生產(chǎn)，”他說(shuō)（見(jiàn)圖 1）。“之后，我們正在探索數(shù)值孔徑為 0.75 的超數(shù)值孔徑，我們預(yù)計(jì)這將在大約十年內(nèi)實(shí)現(xiàn)。

圖 1：ASML 預(yù)計(jì) 0.55 將在四年內(nèi)投入生產(chǎn)，0.75 Hyper EUV 將在大約十年內(nèi)投入生產(chǎn)

電子束計(jì)量

使用較高的數(shù)值孔徑進(jìn)行曝光意味著光線以較小的角度（稱為入射角）照射到晶圓上。因此，晶圓上特征的垂直結(jié)構(gòu)或“縱橫比”變得更難以精確觀察和測(cè)量。應(yīng)用材料公司高級(jí)總監(jiān) Ofer Adan討論了需要更先進(jìn)的計(jì)量工具來(lái)支持高數(shù)值孔徑工藝的問(wèn)題。在 2 納米及以上節(jié)點(diǎn)，利用傳統(tǒng)電子束技術(shù)的成像功能檢測(cè)缺陷變得更加困難。

Adan 指出冷場(chǎng)發(fā)射 (CFE) 技術(shù)的最新發(fā)展是滿足高數(shù)值孔徑計(jì)量需求的一種可能的解決方案。CFE 是一種在較低溫度下工作的電子束源，與傳統(tǒng)熱離子源相比具有多種優(yōu)勢(shì)，包括提高空間分辨率、更好的光束穩(wěn)定性和減少球面像差。CFE 在室溫下運(yùn)行，產(chǎn)生更窄、能量更高的電子束，與傳統(tǒng)熱場(chǎng)發(fā)射 (TFE) 技術(shù)相比，可產(chǎn)生更高的分辨率和更快的成像速度（見(jiàn)圖 2）。該技術(shù)的更高亮度有助于提供更高分辨率的成像和測(cè)量，但較小的光斑尺寸意味著吞吐量會(huì)受到顯著影響。

“CFE 存在一條熱場(chǎng)曲線，它是成像速度和分辨率之間的權(quán)衡，”Adan 說(shuō)。“您可以降低分辨率并獲得更快的吞吐量，或者您可以保持相同的速度并獲得更高的分辨率。CFE 的速度比 TFE 快 10 倍。”

圖 2：CFE 在相同分辨率下提供比 TFE 快 10 倍的成像速度

直到最近，CFE 的使用還僅限于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，因?yàn)殡娮邮姆€(wěn)定性不足以滿足大批量半導(dǎo)體制造的嚴(yán)格要求。Adan 提到了解決穩(wěn)定性挑戰(zhàn)的兩項(xiàng)創(chuàng)新。一是柱內(nèi)的極高真空，二是循環(huán)自清潔過(guò)程，可不斷去除 CFE 源中的污染物，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且可重復(fù)的性能。

高數(shù)值孔徑的新工藝技術(shù)

TEL 蝕刻業(yè)務(wù)部門(mén)總監(jiān) Angélique Raley 指出了塑造 EUV 未來(lái)的兩個(gè)重要趨勢(shì)。首先是從 2D 結(jié)構(gòu)到 3D 結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)變，特別是從 finFET 到環(huán)柵 (GAA) 器件的轉(zhuǎn)變，這極大地影響了芯片制造所需的工藝。第二個(gè)問(wèn)題圍繞 EUV 的連續(xù)臨界縮放，特別是因?yàn)樗婕皩⒔饘匍g距減少至低至 12 nm。

“當(dāng)我們從 GAA 轉(zhuǎn)向堆棧溝道 FET (CFET) 時(shí)，我們面臨著更高的縱橫比要求，”Raley 說(shuō)道。“這一發(fā)展再次強(qiáng)調(diào)了高度可控的各向同性和定向蝕刻工藝的重要性。”

環(huán)柵（GAA）器件將通過(guò)涉及多層的外延（epi）沉積來(lái)定義，需要對(duì)該沉積過(guò)程進(jìn)行完美的控制。半導(dǎo)體制造商需要設(shè)計(jì)高度控制的各向同性蝕刻，能夠選擇性地在所有方向上同時(shí)蝕刻材料。

等離子蝕刻仍然是不可或缺的，特別是對(duì)于高深寬比蝕刻。例如，接觸蝕刻是一種復(fù)雜的氧化物蝕刻工藝，需要高度控制。

隨著高數(shù)值孔徑 EUV 的引入，制造商將必須決定是使用化學(xué)放大抗蝕劑還是金屬氧化物抗蝕劑。這種轉(zhuǎn)變加上焦深的減小，將需要更薄的抗蝕劑，因此需要高精度的蝕刻過(guò)程控制。更薄的光刻膠還意味著更廣泛地使用硬掩模，因?yàn)楣饪棠z本身在蝕刻化學(xué)物質(zhì)中腐蝕得更快。

干抗蝕劑（Dry resist）

解決高數(shù)值孔徑抗蝕劑問(wèn)題的一種方法是干抗蝕劑。Lam Research EUV 干式光刻膠營(yíng)銷(xiāo)高級(jí)總監(jiān) Benjamin Eynon 表示，與傳統(tǒng)的化學(xué)放大 (CAR) 光刻膠工藝相比，干式光刻膠采用氣體前體工藝，涉及干式光刻膠材料和干式顯影工藝。其分子尺寸比 CAR 小六倍，可以打印更精細(xì)的細(xì)節(jié)（見(jiàn)圖 3）。它還通過(guò)消除液體簡(jiǎn)化了流程，減少了圖案崩潰的可能性。Eynon 指出，干抗蝕劑還可減少 5 至 10 倍的浪費(fèi)，使其成為更環(huán)保的選擇。

圖 3：干光刻膠成像可以對(duì) 16nm 和 13nm 的線條和空間進(jìn)行圖案化，線寬粗糙度為 3nm

“干抗蝕劑可以產(chǎn)生更一致和可預(yù)測(cè)的結(jié)構(gòu)，同時(shí)減少浪費(fèi)，”Eynon 說(shuō)。“我們?cè)诟邤?shù)值孔徑方面也具有分辨率優(yōu)勢(shì)，而 CAR 在低于 35 納米間距的情況下苦苦掙扎，而我們看到的結(jié)果遠(yuǎn)低于此。”

他解釋說(shuō)，與傳統(tǒng) CAR 相比，使用干抗蝕劑來(lái)改變抗蝕劑厚度要簡(jiǎn)單得多。“過(guò)去，如果我必須向光刻膠供應(yīng)商索要旋轉(zhuǎn)更薄的光刻膠，我必須等待六個(gè)月才能完成所有測(cè)試。現(xiàn)在我們可以改變食譜并把它放下來(lái)。”

干抗蝕劑在加工窗口和缺陷率方面具有優(yōu)勢(shì)（可以忽略不計(jì)），但仍存在需要克服的障礙。降低高數(shù)值孔徑的劑量可能會(huì)導(dǎo)致粗糙度增加，因此需要做更多的工作來(lái)平衡劑量減少與線寬粗糙度 (LWR) 等其他因素。

imec先進(jìn)圖案、工藝和材料高級(jí)副總裁 Steven Sheer也強(qiáng)調(diào)了干抗蝕劑相對(duì)于 CAR 的局限性的優(yōu)勢(shì)，適用于高數(shù)值孔徑提供的較小節(jié)距的線和空間成像。但他補(bǔ)充說(shuō)，需要進(jìn)一步研究來(lái)減少劑量并改善缺陷率。EUV 掃描儀的較低劑量與較高的吞吐量相關(guān)。

Imec 目前正在比利時(shí)魯汶 ASML 園區(qū)內(nèi)建設(shè)一個(gè)High NA 實(shí)驗(yàn)室和試驗(yàn)線。該項(xiàng)目將于 2024 年上半年開(kāi)放，合作研究、測(cè)試和開(kāi)發(fā)高數(shù)值孔徑 EUV 光刻工具和工藝。

“高數(shù)值孔徑 EUV 更像是一種進(jìn)化，而不是一場(chǎng)革命，”Sheer 說(shuō)。“我們必須壓縮時(shí)間尺度，在大約兩年內(nèi)生產(chǎn)這些新技術(shù)。” Sheer 預(yù)計(jì)高數(shù)值孔徑的理想插入點(diǎn)將是 14 埃（1.4 nm）節(jié)點(diǎn)。

高數(shù)值孔徑 EUV 的另一個(gè)挑戰(zhàn)涉及計(jì)量學(xué)，特別是在非常薄的材料成像方面。Sheer 提到了在 CD SEM 中測(cè)量微弱信號(hào)返回的困難。優(yōu)化著陸能量、不同材料以及用于去噪、對(duì)比度提取或自動(dòng)缺陷分類的機(jī)器學(xué)習(xí)算法被認(rèn)為是潛在的解決方案。

Sheer 認(rèn)為掩模創(chuàng)新是高數(shù)值孔徑 EUV 演進(jìn)過(guò)程的另一個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域。

“就掩模和成像而言，最重要的關(guān)鍵事情之一是我們探索低 n 掩模以提高整體對(duì)比度，”Sheer 說(shuō)。“當(dāng)你開(kāi)始達(dá)到 24 納米間距或更低時(shí)，除非你實(shí)際實(shí)施了低 n 掩模，否則你會(huì)開(kāi)始失去對(duì)比度。所以我們認(rèn)為這是一項(xiàng)需要開(kāi)發(fā)的重要技術(shù)。”

用于曲線設(shè)計(jì)的曲線掩模

三十年來(lái)，半導(dǎo)體掩模技術(shù)基本保持不變，掩模的制作是在可變成形機(jī)上進(jìn)行的，這些機(jī)器將可變?cè)拗圃?45 度角。隨著功能縮小并變得更加復(fù)雜，電子束和多束掩模寫(xiě)入器提供了設(shè)計(jì)的靈活性。現(xiàn)在，幾乎 100% 的掩模都是使用多光束技術(shù)制作的，為高數(shù)值孔徑系統(tǒng)上更復(fù)雜、更高效的設(shè)計(jì)帶來(lái)了新的機(jī)會(huì)。

在 DAC 的一次小組演講中， D2S首席執(zhí)行官 Aki Fujimura討論了現(xiàn)在可能出現(xiàn)的曲線制造，并因其在提高產(chǎn)量、減小芯片尺寸、降低功耗以及提高性能和可靠性方面的潛力而引起人們的興趣。

“現(xiàn)在可以在相同的時(shí)間內(nèi)以相同的精度投影任何形狀，”藤村說(shuō)。“掩模的壽命不再是你想要呈現(xiàn)什么樣的形狀的函數(shù)，因此，無(wú)論你要投射什么形狀，掩模的成本都是恒定的。”

高數(shù)值孔徑 EUV 的一個(gè)關(guān)鍵目標(biāo)是降低復(fù)雜性并減少晶圓制造的總體周轉(zhuǎn)時(shí)間和成本，而曲線掩模有望在這些領(lǐng)域取得重大改進(jìn)。

Perceive 首席執(zhí)行官 Steve Teig 演示了曲線設(shè)計(jì)如何將芯片設(shè)計(jì)中的過(guò)孔數(shù)量減少多達(dá) 50%，減少布線 30%，并將制造成本降低多達(dá) 30%（見(jiàn)圖 4）。“減少通孔數(shù)量可以減少電線長(zhǎng)度，其程度比您想象的要大得多，”他說(shuō)。“可以極大地減少通孔數(shù)量，使芯片變得更小、更快、更便宜、層數(shù)更少。這就是曲線路由的承諾。”

圖 4：Perceive 的 Teig 在 DAC 2023 的 Curvy Design Panel 上解釋了為什么通孔不是你的朋友

曲線設(shè)計(jì)還解決了較低節(jié)點(diǎn)處的許多隨機(jī)問(wèn)題。Teig 將當(dāng)前的光刻工藝比作向目標(biāo)射弓和箭，瞄準(zhǔn)的是外側(cè)邊緣而不是靶心。“如果你打印一根香腸形狀的金屬絲而不是方形的金屬絲，你可以瞄準(zhǔn)中心，并且隨機(jī)性和線邊緣粗糙度問(wèn)題變得不那么成問(wèn)題，”他說(shuō)。

變化帶來(lái)了另一個(gè)挑戰(zhàn)。“在晶圓上實(shí)際生產(chǎn) 90 度角是不可能的，”Fujimura補(bǔ)充道。“我們知道這一點(diǎn)，但這就是我們的設(shè)計(jì)，所以我們嘗試盡可能接近。制造業(yè)中最重要的事情是變化——不僅要在平均值上得到正確的結(jié)果，而且要使平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差盡可能小。”

PDF Solutions總裁兼首席執(zhí)行官 John Kibarian強(qiáng)調(diào)，曲線設(shè)計(jì)有望帶來(lái)創(chuàng)新的未來(lái)，特別是在從系統(tǒng)設(shè)計(jì)到原子重排的集成領(lǐng)域。其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，例如降低軌道高度，同時(shí)保持孔隙率和穩(wěn)定性，對(duì)于未來(lái)的擴(kuò)展至關(guān)重要。

然而，向曲線制造的轉(zhuǎn)變并非沒(méi)有挑戰(zhàn)。這種創(chuàng)新設(shè)計(jì)方法的廣泛采用需要對(duì)電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化 (EDA) 軟件、組織動(dòng)態(tài)以及測(cè)試和測(cè)量協(xié)議進(jìn)行重大改變。然而，曲線設(shè)計(jì)為半導(dǎo)體制造帶來(lái)的提高產(chǎn)量、縮小芯片尺寸、降低功耗以及增強(qiáng)性能和可靠性的承諾遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了這些障礙。

“未來(lái)將更多地關(guān)注集成商的創(chuàng)新，”Kibarian說(shuō)。“如果你看看我們的行業(yè)所說(shuō)的下一個(gè)十年將要發(fā)生的事情，那就是從系統(tǒng)設(shè)計(jì)到光刻、計(jì)量、再到能夠改進(jìn)工藝的新材料的整個(gè)堆棧的集成。任何能讓你在保持穩(wěn)定性的同時(shí)減小尺寸、降低功耗和降低成本的東西都會(huì)在這個(gè)過(guò)程中發(fā)揮作用，這是曲線設(shè)計(jì)的最大潛在好處之一。”

結(jié)論

光刻技術(shù)的發(fā)展是半導(dǎo)體微縮化的基石，使電路圖案不斷小型化，并相應(yīng)提高電路密度和性能。隨著更節(jié)能的 EUV 工具的引入、高數(shù)值孔徑工具的發(fā)展以及用于提高分辨率和控制尺寸的整體集成創(chuàng)新方法，光刻的未來(lái)看起來(lái)充滿希望。

雖然當(dāng)今的行業(yè)在將新材料集成到生態(tài)系統(tǒng)方面取得了一些成功，但高數(shù)值孔徑器件提供的場(chǎng)尺寸減小給光刻膠、計(jì)量、掩模制造和工藝控制帶來(lái)了新的挑戰(zhàn)。如果說(shuō)過(guò)去 40 年已經(jīng)證明了什么的話，那就是該行業(yè)總能找到前進(jìn)的道路。

編輯：黃飛

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