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電子發燒友網>制造/封裝>制造新聞>ASML研發下一代EUV光刻機:分辨率提升70% 逼近1nm極限

ASML研發下一代EUV光刻機:分辨率提升70% 逼近1nm極限

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芯片制造關鍵的EUV光刻機單價為何能超1億歐元?

進入10nm工藝節點之后,EUV光刻機越來越重要,全球能產EUV光刻機的就是荷蘭ASML公司了,他們總共賣出18臺EUV光刻機,總價值超過20億歐元,折合每套系統售價超過1億歐元,可謂價值連城。
2017-01-19 18:22:593470

ASML公司Q2季度出貨4臺EUV光刻機,大陸市場營收比例達到19%

光刻機,是半導體芯片生產中最重要的設備之一,荷蘭ASML公司已經成為全球光刻機市場的一哥,壟斷了高端光科技生產,在EUV光刻機領域更是獨一份。
2018-07-19 16:52:002940

ASML將于明年出貨30臺EUV光刻機

臺積電前不久試產了7nm EUV工藝,預計明年大規模量產,三星今天宣布量產7nm EUV工藝,這意味著EUV工藝就要正式商業化了,而全球最大的光刻機公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:293306

EUV光刻機對半導體制程的重要性

半導體工藝水平,實現7nm及以下工藝。  但是改變波長之后再進一步提升EUV光刻機分辨率就要從NA指標上下手了,目前的光刻機使用的還是NA=0.33的物鏡系統,下一代的目標就是NA=0.5及以上
2018-11-02 10:14:19834

ASML研發下一代EUV光刻機 華為將滿足英國提出的要求

ASML的副總裁Anthony Yen日前表示,他們已經開始研發下一代光刻機。他表示,在他們公司看來,一旦現有的系統到達了極限,他們有必要去繼續推動新一代產品的發展,進而推動芯片的微縮。
2018-12-09 09:12:215632

ASML正在著手開發新一代極紫外(EUV光刻機

ASML副總裁Anthony Yen表示,ASML已開始開發極紫外(EUV光刻機,其公司認為,一旦當今的系統達到它們的極限,就將需要使用極紫外光刻機來繼續縮小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142

ASML開始研發下一代光刻機

ASML的副總裁Anthony Yen日前表示,他們已經開始研發下一代光刻機。他表示,在他們公司看來,一旦現有的系統到達了極限,他們有必要去繼續推動新一代產品的發展,進而推動芯片的微縮。 據介紹
2018-12-11 17:27:01157

臺積電將吃下ASML2019年18臺EUV光刻機 7納米銷售占比將提升至25%

就在日前,半導體設備大廠荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 在財報會議上表示,2019 年 ASML 將把極紫外光刻機EUV) 的年出貨量從 18 臺,提升到30 臺之后,現有外國媒體報導,晶圓代工
2019-02-13 16:53:038511

臺積電將包攬ASML這批EUV光刻機中的18臺

由于三星去年就小規模投產了7nm EUV,同時ASML(荷蘭阿斯麥)將EUV光刻機的年出貨量從18臺提升到今年的預計30臺,顯然促使臺積電不得不加快腳步。
2019-04-30 17:30:037913

ASML新一代EUV光刻機性能提升70%_2025年量產

2016年,ASML公司宣布斥資20億美元收購德國蔡司公司25%的股份,并投資數億美元合作研發新一代透鏡,而ASML這么大手筆投資光學鏡頭公司就是為了研發新一代EUV光刻機
2019-07-13 09:40:165058

ASML發布2019年Q2季度財報 EUV光刻機最主要的問題還是產能不足

掌握全球唯一EUV光刻機研發、生產的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發布了2019年Q2季度財報,當季營收25.68億歐元,其中凈設備銷售額18.51億歐元,總計出貨了41臺光刻機,其中EUV光刻機7臺。
2019-07-18 16:02:003147

動態 | 阿斯麥發布Q2財報:EUV光刻機產能大增

掌握全球唯一EUV光刻機研發、生產的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發布了2019年Q2季度財報,當季營收25.68億歐元,其中凈設備銷售額18.51億歐元,總計出貨了41臺光刻機,其中EUV光刻機7臺。
2019-07-23 10:47:213102

關于EUV光刻機的分析介紹

格芯首席技術官Gary Patton表示,如果在5nm的時候沒有使用EUV光刻機,那么光刻的步驟將會超過100步,這會讓人瘋狂。所以所EUV光刻機無疑是未來5nm和3nm芯片的最重要生產工具,未來圍繞EUV光刻機的爭奪戰將會變得異常激烈。因為這是決定這些廠商未來在先進工藝市場競爭的關鍵。
2019-09-03 17:18:1812845

ASML研發第二代EUV光刻機的微縮分辨率、套準精度提升70%

據韓媒報道稱,ASML正積極投資研發下一代EUV光刻機,與現有光刻機相比,二代EUV光刻機最大的變化就是High NA透鏡,通過提升透鏡規格使得新一代光刻機的微縮分辨率、套準精度兩大光刻機核心指標提升70%,達到業界對幾何式芯片微縮的要求。
2019-08-07 11:24:395849

中芯國際與ASML光刻機問題解決,開始進入光刻階段

在半導體工藝進入 10nm 節點之后,制造越來越困難,其中最復雜的一步——光刻需要用到 EUV 光刻機了,而后者目前只有荷蘭 ASML 阿斯麥公司才能供應。
2019-12-10 16:04:287122

ASML研發新一代EUV光刻機 分辨率提升70%左右

EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創造了新紀錄。據報道,ASML公司正在研發新一代EUV光刻機,預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:13:482863

ASML新一代EUV光刻機預計2022年開始出貨 將進一步提升光刻機的精度

EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創造了新紀錄。據報道,ASML公司正在研發新一代EUV光刻機,預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:194670

ASML憑什么稱霸光刻機市場

近日,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)公司2019年的年報中披露了關于下一代EUV極紫光刻機研發進程,預計2022年年初開始出貨,2024年實現大規模生產。
2020-03-17 15:25:593120

為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機,其技術難度有多高

大家都知道,目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年,目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝,目前他們正大研發5nm工藝光刻機
2020-04-19 23:43:2610223

EUV光刻機全球出貨量達57臺

與此同時, 他指出,EUV繼續為ASML的客戶提高產量,迄今為止,他們的客戶已經使用EUV光刻機曝光了超過1100萬個EUV晶圓,并交付了57個3400x EUV系統(3400平臺是EUV生產平臺)。
2020-08-14 11:20:552048

IMEC和ASML研發低至1nm工藝的高分辨率EUV光刻技術

了公司研究概況,他強調通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業化。IMEC公司強調,將繼續把工藝規模縮小到1nm及以下。 包括日本在內的許多半導體公司相繼退出了工藝小型化,聲稱摩爾定律已經走到了盡頭,或者說成本太高,無利可圖。
2020-12-02 16:28:53806

ASML公布新一代EUV光刻機

,當季ASML共獲得60臺光刻機的銷售收入,總額31億歐元,其中EUV光刻機14臺,但收入占比達到了66%。 地區方面
2020-10-16 14:27:463951

EUV光刻機還能賣給中國嗎?

ASMLEUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元,折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:499647

ASML承諾對向中國出口集成電路光刻機持開放態度

11月5日,世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV(極紫外光)光刻機的企業,由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機。據悉,該產品可生產7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:18:552396

目前全球只有荷蘭ASML有能力生產EUV光刻機

11月5日,世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV(極紫外光)光刻機的企業,由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機。據悉,該產品可生產7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517

銷量占比達20%,ASML向中國銷售光刻機已達700臺

作為半導體制造中的核心設備,光刻機無疑是芯片產業皇冠上的明珠,特別是先進工藝的光刻機,7nm以下的都要依賴ASML公司,EUV光刻機他們還是獨一份。
2020-11-09 17:11:382195

ASML EUV光刻機被美國限制 中國企業出多少錢都買不回

,不過ASML對這個機器是不放行的,主要是美國強制要求。 EUV光刻機光刻機在發展過程中的第五代產品,由于采用了極紫外線,它的最小工業節點到了 22nm-7nm,可以說是世界上最先進的光刻機設備而這種設備,只有ASML能造出來。 2018年4月,中芯國際向
2020-11-10 10:08:043056

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中國需要光刻機,尤其是支持先進制程的高端光刻機。具體來說,就是 EUV (極紫外光源)光刻機
2020-11-11 10:13:304278

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龍頭。 而在上世紀80年代,ASML只是飛利浦和ASM合資的一家小公司。但伴隨著半導體行業風云變化,短短二十年時間,ASML就將昔日光刻機大國美國和日本拉下神壇。如今,全球7nm及以下工藝的EUV光刻機,只有它能提供。那么,ASML光刻機領域快
2020-11-13 09:28:515165

ASML完成制造1nm芯片EUV光刻機

本月中旬,在日本東京舉辦了ITF論壇。 論壇上,與ASML(阿斯麥)合作研發光刻機的比利時半導體研究機構IMEC公布了3nm及以下制程的在微縮層面技術細節。 至少就目前而言,ASML對于3m、2nm
2020-11-30 15:47:402520

ASML已完成制造1nm芯片的EUV光刻機的設計方案

本月中旬,在日本東京舉辦了ITF論壇。論壇上,與ASML(阿斯麥)合作研發光刻機的比利時半導體研究機構IMEC公布了3nm及以下制程的在微縮層面技術細節。
2020-11-30 15:52:211821

IMEC發布低至1nm及以上的邏輯器件路線圖

 IMEC公司首席執行官兼總裁Luc Van den hove首先發表了主題演講,介紹了公司研究概況,他強調通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術——高NA EUV光刻技術商業化。IMEC公司強調,將繼續把工藝規模縮小到1nm及以下。
2020-12-01 09:28:421159

ASML已基本完成1nm光刻機設計

了公司研究概況,他強調通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業化。IMEC公司強調,將繼續把工藝規模縮小到1nm及以下。 包括日本在內的許多半導體公司相繼退出了工藝小型化,聲稱摩爾定律已經走到了盡頭,或者說成本太高,無利可圖。
2020-12-01 09:54:331508

ASML表示將向國內市場出售更多的DUV光刻機

而由其所研發生產的EUV光刻機更是在高端市場之中處于一家獨大的位置。臺積電作為ASML的股東很輕松就能夠獲得ASMLEUV光刻機,所以這邊導致臺積電一直以來在技術上領先于三星。當然能夠在5納米等工藝方面保持領先的地位,也是因為這個原因。
2020-12-01 12:03:152339

臺積電現采購 35 臺 EUV 光刻機,占 ASML 過半產量

據中國臺灣經濟日報報道,EUV 光刻機制造商 ASML 首席執行官 Peter Wennink 帶領高管拜訪三星,雙方尋求技術與投資合作。三星希望能搶在臺積電之前,取得 ASML 下一代 EUV
2020-12-02 11:16:571536

全球最先進的1nm EUV光刻機業已完成設計

想想幾年前的全球半導體芯片市場,真的可謂哀嚎一片,一時間摩爾定律失效的言論可謂此起彼伏。但是在今天,我們不僅看到5nm工藝如期而至,臺積電宣布2nm獲得重大進展,就連光刻機的老大ASML也傳來捷報,全球最先進的1nm EUV光刻機業已完成設計。
2020-12-02 16:55:419682

為何只有荷蘭ASML才能制造頂尖EUV光刻機設備?

自從芯片工藝進入到7nm工藝時代以后,需要用到一臺頂尖的EUV光刻機設備,才可以制造7nm EUV、5nm等先進制程工藝的芯片產品,但就在近日,又有外媒豪言:這種頂尖的EUV極紫外光刻機,目前全球
2020-12-03 13:46:226379

據說1nm光刻機已經被設計出來了,預計2022年即可商用

的邏輯器件小型化路線圖。 根據IMEC首席執行官兼總裁Luc Van den hove透露,IMEC公司與ASML緊密合作,將推進下一代分辨率EUV光刻技術商用。目前,ASML已完成作為NXE
2020-12-07 17:07:108923

荷蘭巨頭1nm光刻機迎新突破,預計會在2022年實現商業化

? ? 11月30日最新報道,近日荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)又送來一則好消息,該司已經與比利時半導體研究機構IMEC共同完成了1nm光刻機的設計工作。 ? 據了解,先進制程的光刻機對于曝光設備
2020-12-09 09:35:594107

臺積電為1nm制程狂購EUV光刻機

之前有消息稱,臺積電正在籌集更多的資金,為的是向ASML購買更多更先進制程的EUV光刻機,而這些都是為了新制程做準備。
2020-12-29 09:22:482192

臺積電向ASML購買更多更先進制程的EUV光刻機

Luc Van den hove表示,IMEC的目標是將下一代分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業化。由于此前得光刻機競爭對手早已經陸續退出市場,目前ASML把握著全球主要的先進光刻機產能,近年來,IMEC一直在與ASML研究新的EUV光刻機,目前目標是將工藝規模縮小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673

2021年臺積電和三星將需要ASML供應多少臺EUV光刻機

? ? 半導體晶圓代工成為全球科技競爭的焦點,先進制程的角逐競爭日趨激烈,ASMLEUV光刻機供應成為產業界關心的話題。2021年臺積電和三星將需要ASML供應多少臺EUV光刻機?臺灣和日本產
2020-12-30 17:53:354016

ASML一共出貨了100臺EUV光刻機左右

而2018年中芯與ASML簽訂了一項EUV光刻機購買協議,以1.2億美元購買一臺光刻機,但直到現在都沒有交貨,因為沒有拿到出口許可證。
2021-01-08 11:37:512368

三星1nm時代光刻機體積將增加

近日,在日本東京舉辦的ITF論壇上,與ASML合作研發光刻機的比利時半導體研究機構IMEC公布了3nm及以下制程在微縮層面技術細節。
2021-01-13 16:43:112816

晶瑞順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機一臺,可研發最高分辨率達 28nm 的高端光刻

調試。此外,這款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻機可用于研發最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。 IT之家了解到,晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚發布公告
2021-01-20 16:34:006083

SK海力士已開始安裝EUV光刻機,以量產10nm 1a DRAM

據etnews報道,SK海力士已開始在其位于韓國利川的M16工廠安裝EUV光刻機,以量產10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布將在今年年內在M16廠建設產線以生產下一代DRAM,不過并未透露
2021-01-20 18:19:202146

為什么都搶著買價格更昂貴的EUV光刻機?

目前,還有ASML有能力生產最先進的EUV光刻機,三星、臺積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協定》的制約,中國大陸沒有從ASML買來一臺EUV光刻機
2021-01-21 08:56:184078

ASML預計今年將出貨交付40臺EUV光刻機 單價14億元!

在四季度財報會議上,荷蘭ASML(阿斯麥)表示,預計今年將出貨交付40臺EUV光刻機,比去年多9臺。 CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻機系統的銷售收入在58億歐元左右。四季度
2021-01-21 15:30:221874

ASML今年將出貨交付40臺EUV光刻機

在四季度財報會議上,荷蘭ASML(阿斯麥)表示,預計今年將出貨交付40臺EUV光刻機,比去年多9臺。
2021-01-21 15:16:431369

ASML壟斷第五代光刻機EUV光刻機:一臺利潤近6億

%,凈利潤達到36億歐元。全球光刻機主要玩家有ASML、尼康和佳能三家,他們占到了全球市場90%。 ASML由于技術領先,一家壟斷了第五代光刻機EUV光刻機,這類光刻機用于制造7nm以下先進制程的芯片。 2020年ASML對外銷售了31臺EUV光刻機,帶來了45億歐元(折合352.52億
2021-01-22 10:38:164677

ASML下一代EUV光刻機延期:至少2025年

的出貨不及預期的35臺,而且他們還宣布了下一代高NA的EUV光刻機要到2025-2026年之間才能規模應用,意味著要延期了。 此前信息顯示,ASML下一代EUV光刻機最早是2022年開始出樣,大規模
2021-01-22 17:55:242639

SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機

隨著半導體工藝進入10nm節點以下,EUV光刻機成為制高點,之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機,率先量產7nm、5nm工藝,現在內存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機
2021-02-25 09:28:551644

SK海力士與ASML簽合同:SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機

。 據報道,SK海力士與ASML公司簽訂了一個超級大單,未來5年內將斥資4.8萬億韓元,約合43.4億美元購買EUV光刻機。 SK海力士在一份監管文件中稱,這筆交易是為了實現下一代工藝芯片量產的目標。 ASML及SK海力士都沒有透露這么多資金到底購買了多少臺EUV光刻機,不過從之
2021-02-25 09:30:232047

SK海力士砸4.8萬億韓元買EUV光刻機

隨著半導體工藝進入10nm節點以下,EUV光刻機成為制高點,之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機,率先量產7nm、5nm工藝,現在內存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機
2021-02-25 11:39:091844

中國有望獨立生產EUV光刻機,打破ASML壟斷

一提起ASML這家公司,就少不了對光刻機問題的討論,因為截至目前,ASML仍然是全球最領先的光刻機廠商。普通的DUV光刻機就不多說了,ASML每年都能賣出去很多臺,而在更先進的EUV光刻機方面,ASML更是占據了絕對壟斷的地位。
2021-02-27 09:59:4214073

三星積極向唯一EUV光刻機廠商ASML爭取訂單

三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機廠商ASML爭取訂單,另外一方面也在增資為EUV產業鏈輸血。
2021-03-04 09:52:411757

中科院5nm光刻技術與ASML光刻機有何區別?

5nm光刻技術與ASML光刻機有何區別? EUV光刻機產能如何? 大飛_6g(聽友) 請問謝博士,EUV光刻機的產能是怎樣的?比如用最先進的光刻機,滿負荷生產手機芯片麒麟990,每天能產多少片?中芯國際有多少臺投入生產的光刻機?是1臺、5臺還是10臺呢?謝謝 謝志
2021-03-14 09:46:3023476

ASML分享未來四代EUV光刻機的最新進展

日前,ASML產品營銷總監Mike Lercel向媒體分享了EUV(極紫外)光刻機的最新進展。
2021-03-19 09:39:404630

ASML第二代EUV光刻機跳票三年,售價恐貴出天際

的。臺積電、三星、Intel的7nm、5nm,以及未來的3nm、2nm都要依賴EUV光刻機,單臺售價超過1億美元,成本極高。 目前,ASMLEUV光刻機使用的還是第一代,EUV光源波長在13.5nm
2021-06-26 16:55:281203

EUV光刻機何以造出5nm芯片

7nm之下不可或缺的制造設備,我國因為貿易條約被遲遲卡住不放行的也是一臺EUV光刻機。 但EUV光刻機的面世靠的不僅僅是ASML一家的努力,還有蔡司和TRUMPF(通快)兩家歐洲光學巨頭的合作才得以成功。他們的技術分別為EUV光刻機的鏡頭和光源做出了不
2021-12-07 14:01:1010742

俄羅斯簽署合同欲研發頂尖X射線光刻機

一份6.7億盧布的合同來研發光刻機,并且宣稱要研發EUV光刻機光刻分辨率更高、不需要光掩膜版從而降低費用的無掩模X射線光刻機。 X射線光刻機不同于EUV光刻機,它使用了波長為0.01nm~10nm的X射線,所以X射線光刻機光刻分辨率
2022-04-06 10:35:337960

ASML開發的下一代EUV平臺

具有13.5nm波長源的高數值孔徑系統將提高亞13nm半間距曝光所需的分辨率,以及更大的圖像對比度以實現更好的印刷線均勻性。High-NA EUV光刻分辨率通常被稱為“13nm到8nm半間距”。
2022-06-02 15:03:561098

三星董事李在镕親自拜訪ASML,只為爭取到EUV光刻機

媒體稱三星的目的是為了搶到ASMLEUV光刻機。 目前芯片短缺的現狀大家也都清楚,再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻機才能打造,而本來EUV光刻機就稀少,因此先進芯片發展頻頻受限,并且前段時間三星才剛剛和Intel洽談完芯片合作的事宜,因
2022-06-07 14:18:041176

臺積電將于2024年引進ASML最新EUV光刻機,主要用于相關研究

日前,在臺積電召開的會議上,有一名高管稱臺積電將于2024年引進ASML正在研發的最新的High-NA EUV光刻機。 會議中,該高管稱:為了滿足客戶所需的相關基礎設施的開發等,臺積電將于2024
2022-06-17 16:33:276499

ASML的High-NA光刻機居然只賣出5臺,大多芯片廠商不為所動

2nm制程的量產。 目前市面上最先進的是EUV光刻機,而其能夠支持制造的先進制程工藝最高為3nm,也就是說,再往后的2nm等工藝就要用更加先進的光刻機來完成。 ASML為此正在研發一種特別的EUV光刻機——High-NA EUV光刻機。這種光刻機所采用的技術能夠
2022-06-22 14:44:161183

EUV光刻機售價超26億,Intel成為首位買家,將于2025年首次交付

3nm制程,據了解,更加先進的制程就需要更先進的光刻機來完成了。 光刻機廠商ASML為此正在研發新一代High NA EUV光刻機,這種EUV光刻機的NA數值孔徑比現在0.33口徑的EUV光刻機還要高,達到了0.55口徑,也就是說High NA EUV光刻機分辨率更高,能
2022-06-28 15:07:126676

euv光刻機三大核心技術 哪些公司有euv光刻機

中國芯的進步那是有目共睹,我國在光刻機,特別是在EUV光刻機方面,更是不斷尋求填補空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516742

三星斥資買新一代光刻機 中芯光刻機最新消息

三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634

euv光刻機可以干什么 光刻工藝原理

光刻機是芯片制造的核心設備之一。目前世界上最先進的光刻機是荷蘭ASMLEUV光刻機
2022-07-06 11:03:077000

中國euv光刻機三大突破 光刻機的三個系統

如今世界最先進的EUV光刻機,只有asml一家公司可以制造出來。
2022-07-06 11:19:3850686

euv光刻機出現時間 ASML研發新一代EUV光刻機

EUV光刻機是在2018年開始出現,并在2019年開始大量交付,而臺積電也是在2019年推出了7nm EUV工藝。
2022-07-07 09:48:444523

euv光刻機目前幾納米 中國5納米光刻機突破了嗎

大家都知道,芯片制造的核心設備之一就是光刻機了。現在,全球最先進的光刻機是荷蘭ASMLEUV光刻機,那么euv光刻機目前幾納米呢? 到現在,世界上最先進的光刻機能夠實現5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4242766

euv光刻機是干什么的

可以生產出納米尺寸更小、功能更強大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機生產。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工作臺系統三大核心技術。 目前,最先進的光刻機是荷蘭ASML公司的EUV光刻機。預計在光路系統的幫助下,能
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻機euv光刻機區別是什么

光刻機euv光刻機區別是是什么呢? duv光刻機euv光刻機區別 1.基本上duv只能做到25nm,而euv能夠做到10nm以下晶圓的生產。 2. duv主要使用的是光的折射原理,而euv使用的光的反射原理,內部必須是真空操作。 以上就是duv光刻機euv光刻機區別了,現在基本都是euv光刻機
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻機原理是什么

euv光刻機原理是什么 芯片生產的工具就是紫外光刻機,是大規模集成電路生產的核心設備,對芯片技術有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機生產。那么euv光刻機原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

EUV光刻技術相關的材料

與此同時,在ASML看來,下一代高NA EUV光刻機光刻膠再度帶來了挑戰,更少的隨機效應、更高的分辨率和更薄的厚度。首先傳統的正膠和負膠肯定是沒法用了,DUV光刻機上常用的化學放大光刻膠(CAR)也開始在5nm之后的分辨率和敏感度上出現瓶頸
2022-07-22 10:40:082010

ASML下一代EUV光刻機High-NA來了!

對于3nm后的節點,ASML及其合作伙伴正在研究一種全新的EUV工具——Twinscan EXE:5000系列,具有0.55 NA(High-NA)透鏡,能夠達到8nm分辨率,可以避免3nm及以上的多圖案。
2022-08-17 15:44:041910

ASML之外的光刻機廠商們近況如何?

電子發燒友網報道(文/周凱揚)盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商,憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵,主導著半數以上的市場份額,但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:033222

密度提升近3倍,高NA EUV光刻機有何玄機

電子發燒友網報道(文/ 周凱揚 )到了3nm這個工藝節點之后,單靠現有的0.33NA EUV光刻機就很難維系下去了。 為了實現2nm乃至未來的埃米級工藝,將晶體管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 07:25:02952

ASMLEUV***研發歷程

asmleuv技術開發的領先者。asml公司是半導體領域光刻機生產企業的領頭羊,也是全球市場占有率最大的光刻機生產企業。2012年,asml推出了世界上第一個euv試制品,并于2016年推出了euv第一個商用顯卡制造機asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:553202

ASML 首臺新款 EUV 光刻機 Twinscan NXE:3800E 完成安裝

ASML 官網尚未上線 Twinscan NXE:3800E 的信息頁面。 除了正在研發的 High-NA EUV 光刻機 Twinscan EXE 系列,ASML 也為其 NXE 系列傳統數值孔徑
2024-03-14 08:42:349

押注2nm!英特爾26億搶單下一代 EUV光刻機,臺積電三星決戰2025!

了。 ? 芯片制造離不開光刻機,特別是在先進制程上,EUV光刻機由來自荷蘭的ASML所壟斷。同時,盡管目前市面上,EUV光刻機客戶僅有三家,但需求不斷增加的情況底下,EUV光刻機依然供不應求。 ? 針對后3nm時代的芯片制造工藝,High-NA(高數值孔徑)EUV光刻機
2022-06-29 08:32:004635

不使用EUV突破1nm極限?美國推出全新光刻系統,分辨率0.768nm

電子發燒友網報道(文/梁浩斌)最近,一家名為Zyvex Labs的美國公司宣布推出亞納米分辨率光刻系統Zyvex Litho 1,據稱分辨率可以達到0.768nm,這大約是兩個硅原子的寬度
2022-09-27 08:19:003532

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