Veeco獲針對SGL初步禁令，中微半導體將受影響，該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術的無基座金屬有機化學氣相沉積系統（MOCVD）使用的晶圓承載器，包括專為AMEC MOCVD系統設計的晶圓承載器。中微半導體在起訴Veeco上海專利侵權的涉案專利迎來了階段性的關鍵勝利。

　　中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）迎來了階段性的關鍵勝利：國家知識產權局專利復審委（以下簡稱“專利復審委”）于今天作出審查決定書，否決了維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（以下簡稱“Veeco上海”）關于中微專利無效的申請，確認中微起訴Veeco上海專利侵權的涉案專利為有效專利。

　　中微于今年7月向福建高院正式起訴 “Veeco上?！保缚仄銽urboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權并主張上億元侵權損害賠償。

　　在中微起訴后，Veeco上海對該涉案的中微專利向專利復審委提起無效宣告請求；與此同時，還有一位自然人也對該涉案專利提起無效宣告請求。針對涉案專利的兩個無效宣告請求，專利復審委先后分別開庭審理，雙方代理人進行充分答辯，專利復審委于今日對兩個無效宣告案分別作出了審查決定，均確定認中微專利為有效專利。

　　中微專利經受兩次專利無效宣告的挑戰后，仍被專利復審委確認為有效專利，這充分證明了中微專利的技術創新性和專利權穩定性。中微為此關鍵技術投入了大量的研發費用和知識產權保護。在中微開發相關技術、并有一系列相關專利申請布局后數年，Veeco美國公司才隨之應用相同技術解決方案，在中微申請該涉案專利之后，Veeco美國公司針對該關鍵技術也提交了相近的專利申請，并使用于其EPIK 700產品上，由此侵犯了中微的專利權。

　　“我非常高興地看到專利復審委確認中微專利的有效性，這是對中微研發團隊持續創新和知識產權保護的肯定?！敝形⒍麻L兼首席執行官尹志堯博士說：“作為一家向國際一流芯片和LED及功率器件生產廠商提供高端制造設備的供應商，中微自2004年成立以來，一直高度重視知識產權，一向獨立自主開發技術和確立知識產權地位，同時也極其尊重客戶和競爭對手的知識產權。因此，十多年來，中微在幾次國內外知識產權訴訟糾紛中，經受住了考驗，一直處于不敗之地。我們認為中微的知識產權也應當獲得同樣的尊重。我們不能容忍對中微專利的侵權。中微為此將積極捍衛自己的權利。任何侵權行為都應當得到相應的懲罰。”

　　Veeco美國公司在美國紐約東區地方法院對中微的基片托盤供應商提起專利侵權訴訟，而法院法官在未能有機會全面了解專利無效證據、未對Veeco美國的專利有效性和基片托盤是否真正侵權作出明確判斷的情況下，極其罕見地發出了禁止基片托盤供應商給中微提供托盤的臨時禁運令。中微正在采取多項有效措施全力減少禁令的影響。

　　事實上，涉案的Veeco美國專利技術早在60年代開始就被大量前置專利公開，距今已有五十年的歷史，因而，中微認為Veeco美國的涉案專利不符合專利法要求，應屬無效專利。中微已經對該涉案專利的中國同族專利、韓國同族專利提交了專利宣告無效請求。

　　中微資深副總裁、首席運營官兼MOCVD產品事業部總經理杜志游博士說：“我們對美國紐約東區地方法院作出臨時禁令表示非常遺憾。我們相信我們的供應商最終會贏得這場專利訴訟；我們還相信中微也會贏得對Veeco上海的專利訴訟，Veeco上海要為其侵權行為付出代價?！?/p>

　　中微公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微通過創新驅動自主研發的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區30多條國際領先的生產線上運行的中微反應臺（包括介質刻蝕、TSV、MOCVD）已超過600個。中微開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備也已在客戶生產線投入量產。