SAN JOSE - Numerical Technologies Inc.宣布收購私營轉(zhuǎn)讓企業(yè)有限公司廣泛使用的軟件將IC設(shè)計數(shù)據(jù)文件轉(zhuǎn)換為生產(chǎn)光掩模的格式。
NumeriTech表示,位于加利福尼亞州Los Gatos的Transcription Enterprises將繼續(xù)銷售其計算機輔助轉(zhuǎn)錄系統(tǒng)(CATS)。獨立供應商,但這兩項業(yè)務現(xiàn)在將用于亞波長光刻的高度集成和優(yōu)化的解決方案。沒有關(guān)于此次收購的財務細節(jié)。
私有企業(yè)NumeriTech一直在擴展其復雜光掩模設(shè)計軟件產(chǎn)品,這些復雜光掩模用于打印小于光波長的設(shè)備特征尺寸。這些亞波長技術(shù)包括相移和光學鄰近校正(OPC)。許多主要的IC制造商已經(jīng)開始使用NumeriTech的技術(shù),使用現(xiàn)有的248納米光刻工具將特征尺寸推向0.13微米以下。
但是由于“切換之間的”切換,亞波段光罩的推進將變得更加困難。設(shè)計和制造步驟,“YC警告說(Bruno)NumeriTech總裁Pati。 “除非妥善處理,否則它將成為一個不斷增長的瓶頸。”
最初,NumeriTech開始與Transcription Enterprises合作探索亞波長光掩模的創(chuàng)新解決方案,但很快管理人員意識到“非常適合”合并,帕蒂說。 “在與客戶討論OPC和相移解決方案的同時,我們也被要求整合大部分的面罩準備任務,”他回憶道。 “事實證明,提供最佳解決方案的整合水平是合并兩家公司。”
十四歲的轉(zhuǎn)錄企業(yè)現(xiàn)在聲稱提供超過90%的轉(zhuǎn)換工具GDS II數(shù)據(jù)文件將芯片設(shè)計操作轉(zhuǎn)移到掩模制作步驟。 “我們開始專注于面具店,并且也進入了專賣店,”成為NumeriTech轉(zhuǎn)錄子公司副總裁兼總經(jīng)理的Kevin MacLean說。 “我們的目標始終是將設(shè)計和面具店聯(lián)系在一起。過去這些操作已脫節(jié),因為人們相信他們設(shè)計的東西幾乎會出現(xiàn)在晶圓上。
”過去十年來,我們不得不將這些過程與設(shè)計數(shù)據(jù)文件和光掩模生產(chǎn)軟件緊密結(jié)合在一起,以實現(xiàn)更好的通信和更少的錯誤,“MacLean解釋道。
CATS軟件已從面具書寫工具的數(shù)據(jù)準備擴展到其他他表示,客戶正在尋求進一步擴展先進的分辨率技術(shù),例如選擇性尺寸,頂點處理和其他元素,“MacLean解釋說,他們指的是制作高產(chǎn)亞波長的棘手任務。掩模。
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