一、局部檢測法

1、光電倍增檢測法

光電倍增檢測法檢測微放電是一種非常有效的檢測方法。它是利用電子二次倍增器件曝光的照片來檢測放電，這種電子二次倍增可以使來自電子二次倍增材料表面或是在真空系統(tǒng)中存在的參與氣體分子電離。把光纖通過一個(gè)小孔放在射頻部件的內(nèi)部，并盡可能地接近放電區(qū)域，把光纖的另一端接到放在真空罐外的光電倍增器上，光電倍增器上的任何輸出都有可能在示波器上顯示，并且去觸發(fā)一個(gè)電子二次倍增事件檢測器。

這種檢測方法對于微放電檢測可以準(zhǔn)確判斷放電，但是需要預(yù)先準(zhǔn)確地判斷放電位置，并且還需要在器件上打孔，這僅對于試驗(yàn)件還可以測量，但是會(huì)影響器件的其他性能，因此不是一種實(shí)驗(yàn)室常用的檢測微放電的方法。

2、電子探針檢測法

電子探針檢測法是利用安裝在被測件內(nèi)的探頭檢測電子濃度的變化來檢測微放電現(xiàn)象。微放電現(xiàn)象的發(fā)生總是伴隨著大量自由電子的產(chǎn)生，微波設(shè)備中的電子濃度可以通過在預(yù)計(jì)微放電發(fā)生的區(qū)域插入一個(gè)帶正電的探頭來進(jìn)行測量，帶負(fù)電的電子探針被探頭吸附，從而在探頭中產(chǎn)生一個(gè)微小但是可以檢測的電流，電流的數(shù)值可以被用來表示電子濃度。

這種檢測方法非常易于實(shí)現(xiàn)，因此在許多測試中作為一個(gè)普遍的選擇。但是，這種檢測方法也有一些缺點(diǎn)，如需要一個(gè)電路來放大微弱電流，從而檢測速度較慢，在使用中主要是作為輔助檢測；同時(shí)，對于包括表面放電機(jī)理在內(nèi)的放電來說這不總是一個(gè)合適的檢測方法；最后，與光電倍增檢測法一樣需要在被測件上預(yù)先設(shè)計(jì)好孔，從而造成微放電測試的局限性。

二、全局檢測法

1、殘余物質(zhì)檢測

殘余物質(zhì)檢測法是采用一個(gè)質(zhì)譜儀，檢測在電子二次倍增放電器件釋放的污染物和出現(xiàn)的水分。由于用鋁或帶有涂層加工成的元件，在加工過程中，材料表面能吸收水分，在電子二次倍增放電期間此水分被釋放，當(dāng)電子二次倍增放電放生時(shí)，包含有膠、環(huán)氧樹脂和其他非金屬化合物的那些合成元件將放出碳?xì)浠衔餁怏w。經(jīng)過真空罐的接入端把質(zhì)譜儀作為真空系統(tǒng)一個(gè)部分裝入，用一個(gè)真空閥門來隔離明暗的質(zhì)樸頭，這樣阻止在正常操作時(shí)和用特別不干凈元件時(shí)所產(chǎn)生的不必要的污染。

這種檢測方法檢測速度較慢，不能檢測快速微放電瞬間，微放電發(fā)生和設(shè)備的檢測有一定的時(shí)延。

2、近載波噪聲檢測法

微放電是一種諧振現(xiàn)象，并且會(huì)增加載波附近頻率的噪聲，如果能采取方法濾除載波，則在載波附近頻段內(nèi)噪聲電平的提高可以被頻譜儀檢測到。如果這種檢測設(shè)備和一個(gè)低噪聲放大器聯(lián)合使用，就是一種靈敏度非常高的檢測方法。

這種方法可以用于單載波或多載波信號，但不適用于脈沖模式下工作，因?yàn)槊}沖會(huì)產(chǎn)生諧波，如果脈沖長度和形式選擇不當(dāng)，則脈沖會(huì)在測試頻段內(nèi)產(chǎn)生諧波。這種方法的另一個(gè)問題就是，其他導(dǎo)致噪聲的現(xiàn)象會(huì)被誤認(rèn)為微放電現(xiàn)象的發(fā)生，如測試系統(tǒng)中接頭松動(dòng)等也會(huì)導(dǎo)致類似微放電的噪聲。

3、諧波檢測法

諧波檢測法是所用的最可靠的檢測方法之一。它是利用微放電會(huì)產(chǎn)生輸入信號的諧波分量來檢測放電現(xiàn)象。使用諧波檢測法，為了優(yōu)化操作，在輸入前端需要濾去高功率放大器和信號源自身非線性所產(chǎn)生的諧波分量，也需要在輸出端很好地耦合微放電非線性作用，即信號產(chǎn)生的諧波分量。

這種檢測方法有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)：檢測系統(tǒng)易于搭建，檢測放電非常快而且可靠，尤其在多載波微放電發(fā)生時(shí)間非常短的條件下使用諧波檢測法就非常有用。但是，這種檢測方法與近載波噪聲檢測類似，可能會(huì)出現(xiàn)非微放電產(chǎn)生的諧波分量被誤認(rèn)為放電現(xiàn)象，因此，在使用中要與其他檢測方法（不包括近載波噪聲檢測法）一起來判斷放電。在實(shí)際應(yīng)用中，隨著使用的頻率提高，對于檢測設(shè)備提出了更苛刻的要求，對于使用帶來了條件的限制。

4、前后向功率檢測法

前后向功率檢測法是通過用功率計(jì)觀測被測件的反射功率和輸入功率來檢測放電現(xiàn)象。在不同的微波部件連接中失配會(huì)導(dǎo)致反射功率，在一個(gè)良好設(shè)計(jì)的系統(tǒng)中，對每一個(gè)不同部件間的匹配連接進(jìn)行了良好設(shè)計(jì)時(shí)反射功率很小，而高Q器件只是在一個(gè)特定頻率（或幾個(gè)特定頻率）上良好匹配，如果發(fā)生放電電子諧振現(xiàn)象，則會(huì)導(dǎo)致器件的失諧和匹配能力下降，從而導(dǎo)致反射功率的增加，進(jìn)而作為放電判斷的依據(jù)。

這種檢測方法在一般情況下檢測非常靈敏可靠，因?yàn)閹缀鯖]有其他情況造成失配，從而被誤判為放電；而且在脈沖模式下可以很好的工作，因?yàn)椴恍枰^測信號的頻譜。但是，對于匹配較差的器件和低Q器件，這種檢測方法檢測就不夠靈敏。

5、前后向功率調(diào)零檢測法

前后向功率調(diào)零檢測法，利用了微放電過程中放電對信號幅度和相位的改變建立的，是目前應(yīng)用中最靈敏的微放電檢測方法。它是用一個(gè)電橋耦合器把來自被測件的反射功率和通過器件的一部分信號進(jìn)行衰減調(diào)幅調(diào)相以達(dá)到等幅反向狀態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)零電平。只要前向和反向功率發(fā)生變化，就會(huì)導(dǎo)致調(diào)零狀態(tài)變化，從而認(rèn)為是發(fā)生了放電。

這種檢測方法非常靈敏，因?yàn)橹灰跋蚝头聪蚬β拾l(fā)生一點(diǎn)改變，調(diào)零電平就會(huì)發(fā)生變化，從而判斷微放電；并且調(diào)零檢測法可以在脈沖模式下很好的工作。但是，這種檢測方法在一些特定的情況下也會(huì)發(fā)生誤判，如測試系統(tǒng)中接頭松動(dòng)，被測件有雜質(zhì)，或者測試中波導(dǎo)系統(tǒng)晃動(dòng)等都會(huì)造成反射功率發(fā)生一點(diǎn)變化，從而可能被誤判為放電。

6、調(diào)幅法

調(diào)幅法是在輸入前端將一個(gè)小調(diào)制的低頻信號幅度調(diào)制到射頻信號送入測試鏈路，由于調(diào)幅深度低，在微放電發(fā)生之前，頻譜只有載波信號和邊頻信號，其余分量幾乎淹沒在噪聲中。微放電時(shí)，信號能量由載波和調(diào)幅邊頻信號向近載波噪聲遷移，由于微放電的非線性作用，會(huì)引起邊頻信號的諧波，由于載波能量向周圍噪聲遷移的變化，調(diào)制在其上的邊頻信號的諧波以更高的幅度增大，從變化后的頻譜中，可以清晰地觀測到邊頻信號以及它的諧波變化，依據(jù)這種前后劇烈變化檢測微放電效應(yīng)。

這種檢測方法設(shè)備簡單，而且檢測相對靈敏，尤其是對于臨近微放電閾值時(shí)更為敏感，因此，它適合來檢測微弱的放電現(xiàn)象。但是，這種檢測方法檢測是通過近載波的邊頻分量變化來檢測放電，所以在多載波和脈沖模式下不適合用此方法來檢測放電。同時(shí)，這種方法目前只是進(jìn)行了理論研究，進(jìn)行的工程試驗(yàn)相對較少，因此，還需要進(jìn)一步研究。