韓國三星電子開始在量產半導體的生產線上使用韓國產氟化氫一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加強3種半導體材料的出口管理以后,三星一直在反復測試日本以外的替代品。有分析認為將在一部分量產線上試用,確認是否存在問題。
據《日本經濟新聞》網站9月5日報道,三星電子相關人士9月4日承認,“作為推進供給來源多元化的一環,正在一部分生產線上推進非日本造(氟化氫)的測試”。
行業相關人士透露,三星自8月下旬起,開始在一條生產線上使用韓國企業供應的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等,三星將首先在對品質影響較小的工序上采用非日本造氟化氫。
據報道,此次投入量產線的是從中國進口、由韓國企業加工的氟化氫。不過,三星沒有透露企業名等詳細情況。SK海力士也在評估非日本造產品能否用于量產線。
報道介紹,韓國氟化氫的最大進口來源地是中國,但如果僅限于用于生產半導體的超高純度產品,日本的Stella Chemifa和森田化學工業幾乎掌握九成份額。日本企業從中國進口原料,在日本的工廠提高純度之后向韓國出口。
另據***《經濟日報》9月6日報道,三星主管表示:“除了從日本進口外,我們也試用國內供應商制造的氟化氫,開始用于生產流程……我們會持續分散采購來源,以防供應鏈受政治議題影響。”
報道稱,半導體產品是韓國大宗出口商品,占出口比重約20%,為預防日本切斷這些原料供應重創電子產業和國內經濟,韓國科技企業已加快腳步改用國內自產的關鍵零件和材料。韓國上周提出預算案,明年研發預算提高17.3%,增幅破紀錄,為的正是強化國內零件與材料產業競爭力。
此外,據韓聯社報道,全球第二大顯示器面板制造商LG顯示器公司已開始采用韓國國產的蝕刻氣體,SK海力士也正在測試以國內制品取代日本進口貨。
據報道,三星電子9月4日在日本東京舉行的2019年“三星晶圓代工論壇”上,向在場日本廠商展示三星的極紫外線(EUV)微影光刻技術,這在記憶體除外的半導體領域堪稱最尖端技術。三星電子是韓國唯一具有EUV量產系統的公司。
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