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我國半導體產業公司聚能晶源將GaN外延材料項目投產8英寸GaN

姚小熊27 ? 來源:lw ? 作者:集微網 ? 2019-09-11 16:33 ? 次閱讀

9月10日,聚能晶源(青島)半導體材料有限公司“8英寸GaN外延材料項目投產暨產品發布儀式”在青島市即墨區舉行,意味著國內8英寸GaN外延材料再添新兵。而聚能晶源正是耐威科技發起成立的控股公司。耐威科技從投建8英寸氮化鎵(GaN)外延材料項目到正式投產,僅用了15個月,進展之快,讓業界對這家新晉半導體公司的實力有了新的認識。

耐威科技董事長楊云春表示,耐威科技自上市以來,積極在物聯網產業領域進行布局,重點發展MEMS和GaN業務;其中在GaN領域,耐威科技在即墨投資設立了聚能晶源公司,專注GaN外延材料的研發生長;在嶗山投資設立了聚能創芯公司,專注GaN器件的開發設計。從入駐到項目建成投產,聚能晶源僅僅用了一年多的時間。

規模與體量上再造一個耐威

隨著5G通訊、云計算、新型消費電子智能白電、新能源汽車的應用興起,對功率器件的性能提出了新的需求;但傳統硅器件受材料特性所限,在性能方面滿足不了新興的需求,這就促使產業界尋找新的材料代替,以氮化鎵為代表的第三代半導體就是一個很好的方向;同時,根據第三方機構預測,到2023年,功率氮化鎵市場規模將達到4.23億美元,復合增長率為93%。

在這一背景下,國內不少半導體廠商紛紛加碼功率氮化鎵市場。去年5月份,耐威科技宣布與袁理先生、青島海絲民和半導體投資中心(有限合伙)、青島民芯投資中心(有限合伙)共同投資設立兩家控股子公司——聚能晶源(青島)半導體材料有限公司與青島聚能創芯微電子有限公司。

耐威科技兩家控股子公司業務均與氮化鎵相關:聚能創芯主要從事功率與微波器件,尤其是氮化鎵功率與微波器件的設計、開發;聚能晶源主要從事半導體材料,尤其是氮化鎵外延材料的設計、開發、生產。

如今,聚能晶源的8英寸GaN外延材料項目正式投產,將可以為聚能創芯的氮化鎵功率提供材料,其氮化鎵功率產品也將快速出貨,兩者相互推進,為耐威科技再上一個臺階提供很好的基礎。

楊云春也表示,聚能晶源的8英寸GaN外延材料項目正式投產,耐威科技希望能以此為契機,積極把握第三代半導體產業的國產替代機遇,在青島繼續建設第三代半導體材料生產基地及器件設計中心,在規模與體量上再造一個耐威。

在本次投產儀式上,盛世投資管理合伙人劉新玉致辭稱,第三代半導體材料具備獨特性能,在半導體產業的國產替代進程中具有重要的戰略意義,作為股東與戰略合作伙伴,今天很高興見到耐威科技在青島即墨投資落地的聚能晶源8英寸GaN外延材料項目能夠迅速建成投產,希望該項目今后能夠為產業發展做出貢獻。

耐威科技也曾表示,氮化鎵外延材料的設計、開發、生產,有利于公司把握產業發展機遇,盡快拓展相關材料在重點裝備、航空電子、5G通信、物聯網等領域的推廣應用;有利于公司以傳感為核心所進行的“材料-芯片-器件-系統-應用”的全面布局。

助力客戶搶占GaN市場先機

聚能晶源自成立以來,先后攻克了GaN與Si材料之間晶格失配、大尺寸外延應力控制、高耐壓GaN外延生長等技術難關,成功研制了達到全球業界領先水平的8英寸硅基氮化鎵(GaN-on-Si)外延晶圓。據了解,該型外延晶圓在實現了650V/700V高耐壓能力的同時,保持了外延材料的高晶體質量、高均勻性與高可靠性,可以完全滿足產業界中高壓功率電子器件的應用需求。

耐威科技曾表示,在采用國際業界嚴苛判據標準的情況下,聚能晶源研制的外延晶圓在材料、機械、電學、耐壓、耐高溫、壽命等方面具有性能優勢,能夠保障相關材料與技術在5G通訊、云計算、快充電源無線充電等領域得到安全可靠的應用。

此次,聚能晶源8英寸GaN外延材料項目正式量產,但其產品并不僅限于8英寸硅基氮化鎵外延晶圓。據介紹,聚能晶源本次發布的相關產品包括8英寸硅基氮化鎵外延晶圓與6英寸碳化硅基外延晶圓,可滿足下一代功率與微波電子器件對于大尺寸、高質量、高一致性、高可靠性氮化鎵外延材料的需求,為5G通訊、云計算、新型消費電子、智能白電、新能源汽車等領域提供核心元器件的材料保障。

除此之外,聚能晶源項目還掌握全球領先的8英寸硅基氮化鎵外延與6英寸碳化硅基外延生長技術。在功率器件應用領域,產品系列包括8英寸AlGaN/GaN-on-Si外延晶圓與8英寸P-cap AlGaN/GaN-on-Si外延晶圓。同時,聚能晶源將自有先進8英寸GaN外延技術創新性地應用在微波領域,開發出了兼具高性能與大尺寸、低成本、可兼容標準8英寸器件加工工藝的8英寸AlGaN/GaN-on-HR Si外延晶圓。在硅基氮化鎵之外,聚能晶源也擁有AlGaN/GaN-on-SiC外延晶圓產品線,滿足客戶在碳化硅基氮化鎵外延材料方面的需求。

以聚能晶源此次展示的HVA650/HVA700型8英寸AlGaN/GaN-on-Si外延晶圓產品為例。該型GaN外延晶圓具有高晶體質量、低表面粗糙度、高一致性的材料特點。同時具有低導通電阻、高耐壓、低漏電、耐高溫的電學特性。值得一提的是,聚能晶源GaN外延晶圓具有優秀的材料可靠性,根據標準TDDB測試方法,其在標稱耐壓值下的長時有效壽命達到了10的9次方小時,處于國際業界領先水平。采用聚能晶源的GaN外延晶圓,客戶在開發GaN器件時可實現高性能、高一致性、高良率、高可靠性等優勢,幫助客戶搶占第三代半導體器件領域的競爭先機。

據悉,聚能晶源8英寸GaN外延材料項目一期建成產能為年產1萬片6-8英寸GaN外延晶圓,在規劃的二期項目中,產能將達到年產20萬片6-8英寸GaN外延晶圓。在聚能晶源項目的建設過程中,該項目得到了耐威科技股東國家集成電路產業投資基金、青島市與即墨區各級政府、青島城市建設投資集團的支持,聚能晶源項目也被評為青島市重點項目。或許,正如董事長楊云春所說,隨著布局的落地,公司在青島繼續建設第三代半導體材料生產基地及器件設計中心,在規模與體量上再造一個耐威。

北京耐威科技股份有限公司成立于2008年5月15日,于2015年5月14日在深圳證券交易所創業板掛牌上市,股票簡稱為“耐威科技”,股票代碼為“300456”。公司總部位于北京,分支機構及業務范圍遍及全球。北京耐威科技股份有限公司以傳感技術為核心,緊密圍繞物聯網、特種電子兩大產業鏈,一方面大力發展MEMS、導航、航空電子三大核心業務,一方面積極布局無人系統、第三代半導體材料和器件等潛力業務,致力于成為具備高競爭門檻的一流民營科技企業集團。公司主要產品及業務包括MEMS芯片的工藝開發及晶圓制造、導航系統及器件、航空電子系統等,應用領域包括通信、生物醫療、工業科學、消費電子、航空航天、智能交通等。公司業務遍及全球,客戶包括特種電子用戶以及全球DNA/RNA測序儀巨頭、新型超聲設備巨頭、網絡通信和應用巨頭以及工業和消費細分行業的領先企業。

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