近日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發(fā)的12英寸中束流離子注入機(jī)順利發(fā)往某集成電路大產(chǎn)線，這臺(tái)由客戶直接采購的設(shè)備如期交付，標(biāo)志著公司國產(chǎn)離子注入機(jī)市場化進(jìn)程再上新臺(tái)階。

據(jù)介紹，離子注入機(jī)是將特定種類離子以指定參數(shù)注入至特定材料中的一種設(shè)備，執(zhí)行的是核心的摻雜工藝。半導(dǎo)體要做成器件，要改變電性能，必須摻入雜質(zhì)，離子注入機(jī)就是執(zhí)行摻雜工藝的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。“每一個(gè)器件生產(chǎn)過程中，需要進(jìn)行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數(shù)對(duì)于不同器件類型和工藝節(jié)點(diǎn)有差異，例如對(duì)于28nm邏輯器件，注入次數(shù)約為40次。”爍科中科信公司技術(shù)總監(jiān)張叢介紹說。

目前，國內(nèi)集成電路離子注入設(shè)備市場幾乎被國外壟斷，國產(chǎn)設(shè)備市場份額小，爍科中科信是我國目前唯一的一家全系列集成電路離子注入機(jī)集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的供應(yīng)商。在研發(fā)過程中，研發(fā)團(tuán)隊(duì)攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統(tǒng)等離子注入機(jī)共性關(guān)鍵技術(shù)。中束流離子注入機(jī)突破了高精度束流角度控制、小發(fā)射度長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，大束流離子注入機(jī)則進(jìn)一步突破了低能大流強(qiáng)束流傳輸與控制、支持十余種離子的大流強(qiáng)長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，高能離子注入機(jī)在高能（MeV）離子加速、高電荷態(tài)離子源等關(guān)鍵技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了突破。

追平主流只是開始，成體系實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代才是目標(biāo)。“爍科中科信公司已形成全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品體系，建立了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求的離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，年產(chǎn)能達(dá)30臺(tái)，公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于全球知名芯片制造企業(yè)，并獲客戶高度認(rèn)可。”張叢說，公司自主研制的離子注入機(jī)系列產(chǎn)品還斬獲了北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)等多項(xiàng)榮譽(yù)，在客戶產(chǎn)線上累計(jì)跑片650萬片，穩(wěn)定支撐了客戶量產(chǎn)。除此之外，還建立了一支專業(yè)化的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，實(shí)行7×24小時(shí)響應(yīng)機(jī)制，持續(xù)提升客戶體驗(yàn)，加速國產(chǎn)化進(jìn)程。

公司負(fù)責(zé)人說，將進(jìn)一步圍繞攻克核心關(guān)鍵技術(shù)持續(xù)發(fā)力，推進(jìn)中束流和大束流離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化，同時(shí)，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，開展適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的離子注入機(jī)的研發(fā)工作，并不斷拓展離子注入機(jī)在新興領(lǐng)域的應(yīng)用。