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上海新陽:光刻膠產品處于實驗研發和中試開發階段

集成電路應用雜志 ? 來源:全球半導體觀察 ? 2020-06-23 16:30 ? 次閱讀

上海新陽:光刻膠產品處于實驗研發和中試開發階段

近日,上海新陽在2019年度網上業績說明會上表示,公司KrF厚膜光刻膠配套的光刻機一季度已完成安裝調試,目前進入試運行階段。KrF厚膜中試產線在安裝調試建設當中。而公司光刻膠產品還處于實驗室研發和中試開發階段,未來主要服務于國內芯片制造公司。

對于公司兩臺光刻機何時到位,上海新陽稱,公司購買的ArF光刻機準備運輸中,時間尚不能確定。I線光刻機已完成招投標,在進行采購中。

此外,上海新陽還表示,今年會加大光刻膠業務的投入,并且在未來幾年都會對光刻膠技術與產品開發進行較大投入。除光刻膠外,上海新陽將繼續圍繞電子電鍍和電子清洗兩大核心技術,持續研發創新,不斷滿足產業和客戶需求,增強我國半導體關鍵工藝材料與核心技術自主可控能力。

當前,上海新陽主要收入為氟碳涂料業務,2019年涂料業務占營業收入的57%,上海新陽表示,隨著公司對半導體材料的研發和市場開拓投入加大,公司半導體業務將快速增長,涂料業務的收入占比會逐步下降。2020年1季度半導體業務銷售增長28%,受疫情影響涂料業務下降了23%;涂料業務占銷售比重與去年同期比下降了12%。

至于合肥項目的進程,上海新陽則稱,公司在合肥投資設立第二生產基地的項目目前正處于前期準備工作當中,由于受疫情影響進度有所延緩。第二生產基地僅僅生產半導體功能性材料。

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原文標題:上海新陽:光刻膠產品處于實驗研發和中試開發階段

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