上海微電子裝備公司的高亮度LED步進(jìn)投影光刻機入選“上海設(shè)計100+”

5月17日，上海信息消費節(jié)開幕式暨“上海信息消費云峰匯”在黃浦江畔的安莎國際會議中心舉行。上海市委副書記、代市長龔正宣布云峰匯開幕。上海市委常委、副市長吳清為上海數(shù)字新基建產(chǎn)品直播帶貨，工業(yè)和信息化部總工程師田玉龍視頻致辭。

本次上海信息消費節(jié)由上海市經(jīng)濟和信息化委員會、上海市商務(wù)委員會、上海市發(fā)展和改革委員會、上海市文化和旅游局聯(lián)合主辦，以“數(shù)字賦能消費新時代”為主題，以“三大產(chǎn)品、三大服務(wù)、三大場景”為主線，突出“千行百業(yè)、全網(wǎng)互聯(lián)”。

作為本次上海信息消費節(jié)開幕式的重要組成部分，上海市政府秘書長陳靖、上海市政府副秘書長陳鳴波、上海市經(jīng)濟信息化工作黨委書記陸曉春、上海市經(jīng)濟信息化委主任吳金城，攜上海設(shè)計品牌代表，共同發(fā)布首屆“上海設(shè)計100+”產(chǎn)品，上海微電子裝備公司的高亮度LED步進(jìn)投影光刻機最終從1200多個申報項目中成功突圍，入選“上海設(shè)計100+”。

上海于2010年加入聯(lián)合國教科文組織“創(chuàng)意城市網(wǎng)絡(luò)”，命名為“設(shè)計之都”。根據(jù)市政府重點工作安排，上海市經(jīng)信委于2020年初啟動了首屆“上海設(shè)計100+”征集工作。圍繞國際設(shè)計之都、時尚之都、品牌之都建設(shè)，推進(jìn)設(shè)計、時尚、品牌三個100+工程。

由上海微電子裝備公司自主研發(fā)的高亮度LED步進(jìn)投影光刻機，是中國首臺面向6英寸以下中小基底先進(jìn)光刻應(yīng)用領(lǐng)域的光刻機產(chǎn)品，可滿足HB-LED等領(lǐng)域單面或雙面的光刻工藝需求，解決了LED產(chǎn)業(yè)大翹曲藍(lán)寶石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高產(chǎn)率的光刻需求，且支持藍(lán)寶石鍵合片特殊工藝。自產(chǎn)品問世以來，先后榮獲“第十五屆中國國際工業(yè)博覽會銅獎”、“上海市專利新產(chǎn)品”、“第十三屆（2018年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”、工信部第四批“制造業(yè)單項冠軍產(chǎn)品”等榮譽。