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基于MEMS工藝的集成式溫濕度傳感器AHT20的研發成功

lhl545545 ? 來源:麥姆斯咨詢 ? 作者:麥姆斯咨詢 ? 2020-06-30 10:50 ? 次閱讀

在2020年伊始,奧松推出了國內最小的MEMS濕度傳感器:AHT20,它在尺寸與智能方面建立了新的標準:可嵌入適于回流焊的雙列扁平無引腳SMD封裝,3mm x 3mm x 1mm超小體積。

一直以來,在推廣溫濕度傳感器這個產品的過程中,非常注重于宣傳環境舒適度的概念。以前的人們只有一個溫度的概念,從來沒有過濕度概念。其實相對濕度與溫度是密切相關的,而只有對同一測量點的濕度和溫度進行數據采集,才能保證相對濕度的準確性。人體對空氣中濕度的舒適感應空間較窄,因此需要通過傳感器來感知濕度,隨時補充或降低水分。

濕度傳感器由簡單的濕敏電阻電容)制作而成,濕敏電阻和濕敏電容測量濕度的原理是由濕敏電阻上面覆蓋的一層高分子膜,這層膜會隨著濕度的變化影響電阻的電導值或者電容的電容值,利用這種特性可以完成濕度傳感器對環境濕度的測量。

伴隨科技的發展,濕度傳感器也走向集成化,這時濕度傳感器分為線性電壓輸出式集成濕度傳感器、線性頻率輸出集成濕度傳感器、頻率/溫度輸出式集成濕度傳感器。這個時期溫度傳感器和濕度傳感器就已經是技術發展的象征。

據介紹,溫濕度傳感器作為電子技術和物理化學原理的復合技術,硬件因素只占其中50%,另一個重要因素則是標定。要保證測出來的是準確的值,則需要保證每次檢測的標定值在一個固定范圍內,這是很難做到的。一般而言,由于需要大量的數據來測試,所以只有生產的產品出貨量越大,那么產品的穩定性才會越好。

溫濕度傳感器在出廠之前都經過標定,客戶只需要跟單片機通訊就能直接采集數據。而現在,溫濕度傳感器也基本上是以這樣的模式流通,而追求更小更方便滿足集成電路才是未來生產溫濕度傳感器廠家所要研究的方向。

未來的傳感器市場在消費電子物聯網等領域擁有廣闊的前景。當然在具體的應用中,也面臨一些需要解決的問題。幾年前,國外溫濕度傳感器就已經達到一定水平了,然而我國卻因為科技的落后,只能進口溫濕度傳感器來彌補溫濕度監控系統中的不足。但是進口設備擁有很多的局限性,且性價比也并不高。

近些年來,微機電系統(MEMS)在傳感器領域應用的比例越來越高,國外的傳感器企業巨頭早已發展 MEMS 傳感器多年,具有很深厚的技術沉淀,反觀國內本土的傳感器廠商始終處于中低端制造水平,MEMS 更處于摸索階段,與國外同類產品相比也漸漸拉開了差距。

創立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司為國內濕度傳感器自主研發企業,是目前國內先進的應用MEMS工藝技術生產傳感器及芯片的制造商,也是廣東省MEMS領域集研發設計與生產銷售為一體的垂直整合制造(簡稱IDM)企業,擁有多年傳感器行業研發與生產及產品應用經驗。

創立伊始,奧松堅持以“科技領先、顧客至上”的理念,長期與國內外多家科研機構、院所以及高分子材料學術界專家、教授合作,組建了一批具有博士研究生背景的業內資深專家、研發工程師等研發團隊,公司內部設有“技術中心”,目前各類研發科技人員已超50人。研發技術中心配有各類實驗室及各類生產線,配置先進的投影式光刻機、離子注入機、深硅刻蝕機、光學鍍膜機、LPCVD、PECVD、掃描電子顯微鏡、高精密濕度標準儀等設備。

每年投入超過銷售收入20%以上的研發經費,以確保各研發項目有效實施開發。目前研發實驗室面積超過10000平方米。近3年累計開發研發項目近20項,均已形成科技成果且成功進行成果轉化,同時已申請獲得各項發明、實用新型及軟件著作權等專利知識產權50余項。

奧松先后通過了ISO9001:2015、IATF16949:2016ISO14000及ISO45000認證,產品完全符合歐盟RoHS指令要求,并通過CE認證,各類智能傳感器廣泛應用于家電行業,客戶群體涵蓋惠而浦、伊萊克斯、大金、海爾、美的等國內外一線家電品牌,產品適用于智能家居,智慧家電,環保檢測,氣象采集等多個應用場景。未來企業將突破汽車、醫療等多個應用領域。

據麥姆斯咨詢報道,在2020年伊始,奧松推出了國內最小的MEMS溫濕度傳感器:AHT20,它在尺寸與智能方面建立了新的標準:可嵌入適于回流焊的雙列扁平無引腳SMD封裝,3mm x 3mm x 1mm超小體積;經過標定的數字信號,標準I2C輸出格式。這款研發成功的傳感器不久即將進入量產階段。

AHT20配有一個全新設計的ASIC專用芯片、一個經過改進的MEMS電容式濕度傳感元件和一個標準的片上溫度傳感元件,其性能已經大大提升甚至超出了前一代傳感器的可靠性水平,新一代溫濕度傳感器,響應迅速、抗干擾能力更強,經過改進使其在惡劣環境下的性能更穩定。

AHT20可廣泛應用于暖通空調 、除濕器、測試及檢測設備、消費品、汽車 、自動控制、數據記錄器、氣象站、家電、濕度調節、醫療及其它相關濕度檢測控制等領域。

奧松這款基于MEMS工藝的集成式溫濕度傳感器AHT20的研發成功,標志著中國本土企業打破了國外傳感器巨頭企業在MEMS溫濕度傳感器領域的壟斷地位,具有重大意義。同時,伴隨著物聯網時代的到來,為我國的物聯網底層的關鍵零部件——傳感器環節打下了牢固的安全應用基礎,不會遭受國外企業“卡脖子”的風險,為我國未來物聯網的起飛奠定了基礎。
責任編輯:pj

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