據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)日前披露,長江存儲(chǔ)發(fā)布新一輪(第41批)國際招標(biāo)公告,包括封裝級(jí)高并行度芯片分選機(jī)、高速芯片測(cè)試機(jī)等產(chǎn)品。
另外,由長江存儲(chǔ)實(shí)施的國家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目二期項(xiàng)目近日在武漢東湖高新區(qū)開工,規(guī)劃產(chǎn)能20萬片/月,達(dá)產(chǎn)后與一期項(xiàng)目合計(jì)月產(chǎn)能將達(dá)30萬片。
華創(chuàng)證券指出,長江存儲(chǔ)累計(jì)已采購1362臺(tái)工藝設(shè)備,正在招標(biāo)430臺(tái)工藝設(shè)備,總采購1792臺(tái)工藝設(shè)備。近期還有200多臺(tái)設(shè)備采購計(jì)劃,主要包括CVD、刻蝕、量測(cè)、去膠設(shè)備等。此外,長江存儲(chǔ)二期項(xiàng)目的開工,也將給國產(chǎn)設(shè)備帶來市場機(jī)遇。
事實(shí)上,近年來,國產(chǎn)量測(cè)設(shè)備廠商已經(jīng)陸續(xù)獲得長江存儲(chǔ)訂單,例如,僅2020年以來,已有中微半導(dǎo)體和精測(cè)電子分別中標(biāo)長江存儲(chǔ)9臺(tái)刻蝕設(shè)備訂單和3臺(tái)集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)儀。而在此之前,上海睿勵(lì),中科飛測(cè)等國產(chǎn)量測(cè)設(shè)備廠商也已經(jīng)陸續(xù)獲得了長江存儲(chǔ)訂單。
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)一直以來都是高技術(shù)壁壘的行業(yè),需要長時(shí)間持續(xù)地投入研究,才能實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)起步晚于歐美和日本,整體技術(shù)水平目前還遠(yuǎn)落后于國際先進(jìn)水平。不過令人欣慰的是,隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,國家層面的高度重視,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備在部分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破。
各類制程設(shè)備的國產(chǎn)化率如下:
(1) 去膠設(shè)備:國產(chǎn)化率最高的是去膠設(shè)備,主要是屹唐半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)了去膠設(shè)備國產(chǎn)化;
(2) 清洗設(shè)備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌主要是盛美半導(dǎo)體、北方華創(chuàng);
(3) 刻蝕設(shè)備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌包括中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體;
(4) 熱處理設(shè)備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌包括北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體;
(5) PVD設(shè)備:國產(chǎn)化率約為10%左右,本土品牌包括北方華創(chuàng);
(6) CMP設(shè)備:國產(chǎn)化率約為10%左右,本土品牌包括華海清科;
(7) CVD設(shè)備:有零的突破,但總體國產(chǎn)化率不高于5%,本體品牌是沈陽拓荊;
(8) 量測(cè)設(shè)備:國產(chǎn)化率2%左右,本土品牌包括上海睿勵(lì)、中科飛測(cè)、上海精測(cè)半導(dǎo)體;
(9) 離子注入機(jī):國產(chǎn)化有零的突破,本土品牌包括中科信、凱世通等;
(10) 涂膠顯影設(shè)備:國產(chǎn)化有零的突破,本土品牌包括沈陽芯源;
(11) 光刻設(shè)備:預(yù)計(jì)國產(chǎn)化將有零的突破,本土品牌是上海微電子。
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