最新建成的Cleanroom V大樓使EV Group 的NILPhotonics?與異構集成能力中心的潔凈室容量和處理能力增加近一倍
2020年7月27日,奧地利,圣弗洛里安——為微機電系統(MEMS)、納米技術和半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設備的領先供應商EV Group(EVG)日前宣布,位于奧地利總部的潔凈室設施Cleanroom V大樓已完成施工。新大樓采用自上而下的建造方式,運用最新的潔凈室設計與施工技術,使EV Group總部的潔凈室容量增加近一倍,將提供產品和工藝開發、設備演示、原型設計與試生產服務。Cleanroom V大樓隸屬于去年公布的三千萬歐元項目,將于八月正式開放。
EV Group的新Cleanroom V大樓
Cleanroom V新大樓與EV Group現有的潔凈室和應用實驗室直接相連,在原有基礎上增加了約620平方米10級潔凈室空間。新大樓還設有現代化培訓中心,包括多個專用區域,可通過EV Group設備平臺為客戶和現場服務工程師提供培訓。作為擴展的一部分,原有潔凈室和應用實驗室設施也進行了升級,創建了冗余系統,以實現最高等級可用性,增加新型安全功能。
Cleanroom V大樓內部,工作人員正在調試設備
增強EV Group卓越技術中心的實力
Cleanroom V新大樓將進一步增強EV Group NILPhotonics?與異構集成能力中心的實力(該中心致力于提供世界級的工藝開發服務),為微電子供應鏈上的客戶和合作伙伴提供開放式創新孵化器。EV Group通過卓越技術中心實現納米壓印光刻技術和異構集成,幫助客戶加快技術開發、最大程度地降低風險、開發擁有競爭優勢的技術和產品,同時達到預發行產品所需要的最高知識產權保護標準。
Cleanroom V大樓先進的生產廠房設施
EVG技術開發和IP總監Markus Wimplinger表示:“新潔凈室的建設運用了先進的創新與專業技術,令我們深感自豪。新潔凈室是世界級的先進設施,每一處細節都近乎完美,與歐洲一些技術最先進的潔凈室相比也毫不遜色。這一新設施將顯著增強EV Group與客戶合作開發未來應用和技術的實力。EV Group能力中心業務活動繁忙,市場需求十分可觀,新潔凈室設施將近一步推動能力中心的發展。NILPhotonics和異構集成能力中心提供的獨特服務,幫助客戶與合作伙伴縮短開發周期,在關鍵應用領域創造新型產品。”
EV Group擁有實力強大的技術能力中心和牢固的客戶合作伙伴關系,在市場競爭中占據有利位置,可為客戶提供不間斷的工藝開發服務與支持。另一方面,EV Group的本地安裝與支持團隊以及遠程支持服務也能實現EV Group設備的連續安裝與運營。
美國洛杉磯國際半導體展覽會(SEMICON West)于今年7月20日至23日以線上的方式舉行,EV Group展示了完整的晶圓鍵合、光刻和光刻膠處理解決方案。如有意了解詳情,請下載EV Group最新產品資訊。
關于 EV Group
EV Group是為半導體、微機電系統(MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的領先供應商。其主要產品包括:晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印(NIL)與計量設備,以及涂膠機、清洗機和檢測系統。EV Group成立于1980年,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴提供各類服務與支持。
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