2020年MEMS傳感器市場(chǎng)將增長(zhǎng)10％

根據(jù)市場(chǎng)研究公司Fact.MR的數(shù)據(jù)，全球MEMS傳感器市場(chǎng)價(jià)值280億美元，到2020年將增長(zhǎng)10％，屆時(shí)年市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)300億美元。到2027年，全球MEMS傳感器市場(chǎng)將以9%的復(fù)合年增長(zhǎng)率增長(zhǎng)，達(dá)到500億美元。

Fact.MR指出，全球MEMS傳感器市場(chǎng)在本質(zhì)上是穩(wěn)固的，一些電子和半導(dǎo)體跨國(guó)公司（如意法半導(dǎo)體，博世、恩智浦和德州儀器）獲得了最大的份額。其中，意法半導(dǎo)體居MEMS傳感器領(lǐng)域的營(yíng)收首位，其產(chǎn)品范圍廣，市場(chǎng)份額約為19％。

Fact.MR的排名與Yole Developpement在2018年的排名有顯著差異， Yole認(rèn)為，Broadcom和Bosch為市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者，意法半導(dǎo)體排名第三。緊隨其后的是德州儀器（TI），Qorvo和惠普（Hewlett Packard），還有恩智浦半導(dǎo)體和索尼等。Broadcom和Bosch的銷售額都是14億-15億美元（約人民幣95.2億-102億元），形成了“寡頭現(xiàn)象”，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)TOP3及后續(xù)企業(yè)。

按2018年收入排名的前30名MEMS制造商排名。資料來(lái)源：Yole Developpement.

但無(wú)論排名如何，可以明確的一點(diǎn)，在發(fā)展歷程中，MEMS傳感器主要由老牌廠商主導(dǎo)。

老牌廠商與MEMS的發(fā)展共命運(yùn)

回顧MEMS的早期時(shí)代，即1980年代至90年代之間，MEMS完全是用于檢測(cè)諸如機(jī)械運(yùn)動(dòng)，壓力或沖擊之類的基本傳感器的傳感器。但當(dāng)時(shí)，MEMS傳感器并不是很準(zhǔn)確。

之后，進(jìn)入千禧年以來(lái)，MEMS中使用改進(jìn)的電子技術(shù)和材料使得傳感器足夠精確，足以測(cè)量事物，包括MEMS使用旋轉(zhuǎn)感應(yīng)和數(shù)字光處理技術(shù)（DLP）等。到2000年代中期，聲音和IR波長(zhǎng)也被應(yīng)用到MEMS技術(shù)中。

簡(jiǎn)而言之，MEMS從物理傳感器轉(zhuǎn)向光處理（例如微鏡），然后轉(zhuǎn)向紅外傳感（測(cè)微輻射熱計(jì)）。當(dāng)中，麥克風(fēng)的聲音也推動(dòng)了MEMS的發(fā)展。

MEMS革命帶來(lái)了首個(gè)超越人類感官的傳感器。如今，MEMS和傳感器的發(fā)展有望超越人類的能力，其在超聲波，高光譜，射頻等方面已具有傳感能力。目前，移動(dòng)和汽車(chē)是MEMS傳感器兩個(gè)最大的細(xì)分市場(chǎng)，復(fù)合年增長(zhǎng)率可達(dá)13%。Yole也預(yù)測(cè)，2023年的移動(dòng)細(xì)分市場(chǎng)將為傳感器和執(zhí)行器創(chuàng)造530億美元的價(jià)值，而汽車(chē)將達(dá)到205億美元。

MEMS產(chǎn)品種類繁多，應(yīng)用場(chǎng)景眾多，比如智能手機(jī)中就使用到很多MEMS器件，如加速度計(jì)、陀螺儀、電子羅盤(pán)、壓力傳感器、硅麥克風(fēng)、圖像傳感器、MEMS微鏡、BAW濾波器和雙工器、射頻開(kāi)關(guān)、TCXO振蕩器/諧振器等。

因此，種類多、范圍廣、市場(chǎng)大的MEMS傳感器在市場(chǎng)力量的驅(qū)使下，MEMS供應(yīng)商中的贏家和輸家往往會(huì)發(fā)生變化。

2017年，與4G相關(guān)的復(fù)雜性（要求手機(jī)支持多個(gè)頻段）引發(fā)了RF濾波器的空前需求飆升，隨之而來(lái)的是對(duì)RF MEMS的需求。由于RF MEMS的銷售熱潮，博通（Broadcom）首次超過(guò)了MEMS行業(yè)中所有的競(jìng)爭(zhēng)者，位居第一名。

近幾年，RF MEMS（BAW濾波器）是推動(dòng)整個(gè)MEMS市場(chǎng)的最強(qiáng)大的引擎之一。Yole預(yù)測(cè)，不包括RF,MEMS市場(chǎng)將比2011-2023年增長(zhǎng)9％，而使用RF MEMS的CAGR為17.5％，后續(xù)隨著4G轉(zhuǎn)向5G,這種趨勢(shì)將會(huì)增強(qiáng)。

而排名靠前的博世（Bosh）是最穩(wěn)定的MEMS廠商之一。博世通過(guò)覆蓋兩個(gè)相對(duì)大的MEMS市場(chǎng)領(lǐng)域（消費(fèi)者和汽車(chē)市場(chǎng)）來(lái)對(duì)沖賭注，因此Bosh在確保穩(wěn)定增長(zhǎng)方面“非常成功”。據(jù)悉， 幾乎所有的新車(chē)都要搭載Bosch的5個(gè)MEMS,全球約50%的智能手機(jī)都要至少搭載Bosch的1個(gè)MEMS。據(jù)預(yù)測(cè)，今后Bosch與Broadcom的“斗爭(zhēng)”將會(huì)愈演愈烈。

意法半導(dǎo)體（ST）同樣一直在汽車(chē)和工業(yè)MEMS市場(chǎng)上努力，因此其MEMS業(yè)務(wù)表現(xiàn)還可以。而且ST不僅提供車(chē)載、工業(yè)、民用等方面的MEMS產(chǎn)品，還一直是頂級(jí)的MEMS代工廠。

相較之下，排名第四的德州儀器（TI）則一直在苦苦掙扎，這2年來(lái)其銷售額在不斷減少。因?yàn)閿?shù)字微鏡是其唯一的MEMS產(chǎn)品，且微鏡的市場(chǎng)趨于飽和，不過(guò)，現(xiàn)在TI正在推進(jìn)開(kāi)拓車(chē)載等新的市場(chǎng)。業(yè)內(nèi)人士表示，TI的成功取決于激光雷達(dá)，如果TI微鏡能成功用于激光雷達(dá)，TI的MEMS業(yè)務(wù)將發(fā)生巨大變化。

而惠普雖然過(guò)去幾年在消費(fèi)打印機(jī)市場(chǎng)的表現(xiàn)一直走下坡路，但2017年隨著噴墨頭品牌的收入實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)，如今開(kāi)始恢復(fù)元?dú)狻?/p>

MEMS麥克風(fēng)巨頭樓氏（Knowles）以及中國(guó)的歌爾股份也發(fā)展喜人，消費(fèi)產(chǎn)品業(yè)務(wù)走高是原因之一，不僅限于智能手機(jī)，還包括耳機(jī)等產(chǎn)品等。

初創(chuàng)公司推進(jìn)MEMS的未來(lái)

關(guān)于未來(lái)，任何領(lǐng)域都逃不過(guò)“后浪”推“前浪”的競(jìng)爭(zhēng)規(guī)律，MEMS也不例外。

MEMS中最熱門(mén)的趨勢(shì)是傳感器融合。通過(guò)將多個(gè)傳感器集成到一個(gè)封裝中，MEMS可以捕獲“全球環(huán)境感知”。隨著傳感器蜂擁而至，用戶期望傳感器套件的軟件能夠結(jié)合傳感數(shù)據(jù)并產(chǎn)生一定程度的智能。

另外，按設(shè)備類別的傳感器收入來(lái)看，CMOS成像在2017年的銷售額高達(dá)134億美元，其次是射頻，雷達(dá)和指紋傳感器。但3D傳感器可能會(huì)是未來(lái)增長(zhǎng)最快的傳感器，受益于激光雷達(dá)的高需求，預(yù)估2023年 3D傳感器的復(fù)合年增長(zhǎng)率為40％。

在各類新型MEMS傳感器的需求下，專注于發(fā)明新型MEMS技術(shù)的初創(chuàng)公司將迎來(lái)機(jī)遇。

比如，熱門(mén)的MEMS初創(chuàng)公司USound公司以非常快的速度在2019年推出了MEMS微型揚(yáng)聲器；此外壓電式麥克風(fēng)公司Vesper等創(chuàng)企也從包括亞馬遜在內(nèi)的投資者那里籌集了不少資金；隨著汽車(chē)行業(yè)對(duì)激光雷達(dá)連續(xù)性的渴望，諸如RoboSense和Innoviz之類的激光雷達(dá)公司也引起了很多關(guān)注；還有一家名為Mistic的法國(guó)創(chuàng)業(yè)公司，計(jì)劃為生物相容性醫(yī)療設(shè)備制造鈦MEMS.

以下是EE Times聯(lián)合Yole列出的17家值得關(guān)注的MEMS初創(chuàng)企業(yè)。盡管這些創(chuàng)企非詳盡無(wú)遺，但他們一定程度上概述了MEMS的發(fā)展方向。

1、Adasky

AdaSky于2015年在以色列成立，該公司開(kāi)發(fā)了一種可提供高分辨率圖像的遠(yuǎn)紅外（FIR）傳感器，旨在使自動(dòng)駕駛汽車(chē)在任何條件下都能看到并解讀所有物體和周?chē)h(huán)境。

AdaSky的高級(jí)熱像儀通過(guò)檢測(cè)物體輻射出的熱能及其體熱來(lái)被動(dòng)收集FIR信號(hào)，從而引導(dǎo)車(chē)輛感應(yīng)并分析其周?chē)h(huán)境。該熱像儀體積小，重量輕，節(jié)能，沒(méi)有活動(dòng)部件，其價(jià)格適合大眾市場(chǎng)。

AdaSky還提供圖像處理和計(jì)算機(jī)視覺(jué)算法。其對(duì)象檢測(cè)和場(chǎng)景分析提供了新的信息層，并能夠精確地檢測(cè)200米或更遠(yuǎn)距離處的行人的能力，從而允許更多距離來(lái)對(duì)駕駛決策做出反應(yīng)。

注意到FIR技術(shù)已經(jīng)在其他垂直行業(yè)中使用了數(shù)十年，AdaSky指出，它正在將這種成熟的技術(shù)專門(mén)用于自動(dòng)駕駛汽車(chē)。Adasky指出，當(dāng)其他傳感器（包括激光雷達(dá)，雷達(dá)和標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)）看不見(jiàn)時(shí)，其性能最佳。

2、AEye

AEye成立于2013年，致力于為自動(dòng)駕駛汽車(chē)開(kāi)發(fā)先進(jìn)的視覺(jué)硬件，軟件和算法。

與第一代激光雷達(dá)技術(shù)相比，AEye的" iDAR"優(yōu)化了數(shù)據(jù)收集。它使用與微光相機(jī)和嵌入式AI預(yù)先融合的數(shù)據(jù)。該公司聲稱，通過(guò)啟用智能優(yōu)先級(jí)排序和詢問(wèn)功能，該激光雷達(dá)可以比僅使用激光雷達(dá)的產(chǎn)品有效地瞄準(zhǔn)和識(shí)別場(chǎng)景中的對(duì)象10到20倍。

AEye在2017年6月的A輪融資中從Kleiner Perkins Caufield＆Byers,空中客車(chē)創(chuàng)投，英特爾投資，Tyche Partners等公司籌集了1,635萬(wàn)美元。

3、Block Engineering

Block Engineering以化學(xué)檢測(cè)和氣體分析技術(shù)的領(lǐng)先地位而聞名60年。盡管不是MEMS的新手，但該公司仍在開(kāi)發(fā)一種筆式，電池供電的FTIR（傅里葉變換紅外光譜）傳感器，稱為" ChemPen"，該傳感器可檢測(cè)基本上任何氣體，液體或固體。

Block希望將自己獨(dú)特的MEMS芯片變成手持式設(shè)備內(nèi)部的“引擎”，以便其ChemPen傳感器可以分析傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境內(nèi)外的物質(zhì)。ChemPen傳感器旨在在現(xiàn)場(chǎng)條件下檢測(cè)和識(shí)別所有化學(xué)戰(zhàn)劑和有毒工業(yè)化學(xué)品。其目標(biāo)市場(chǎng)包括軍事，國(guó)土安全和生命安全。

4、Chirp Microsystems

Chirp Microsystems成立于2013年，提供單芯片超聲飛行時(shí)間（ToF）傳感器。用戶可以在不觸摸屏幕的情況下與可穿戴設(shè)備進(jìn)行交互，或者在不使用屏幕的情況下與設(shè)備進(jìn)行交互。Chirp認(rèn)為，利用其超聲波感應(yīng)技術(shù)，其3D技術(shù)可以替代現(xiàn)有的UI或?yàn)榭纱┐髟O(shè)備，AR / VR,智能手機(jī)，物聯(lián)網(wǎng)甚至汽車(chē)提供“另一種形式”。

Chirp首席執(zhí)行官M(fèi)ichelle Kiang認(rèn)為在移動(dòng)產(chǎn)品中使用時(shí)，其尺寸，成本，極低的功耗以及可在任何光照條件下（包括直射陽(yáng)光）工作是一個(gè)巨大的優(yōu)勢(shì)。而 Chirp有潛力 將其片上聲納添加到 智能手機(jī)日益激烈的ToF戰(zhàn)斗中。

5、ELichens

ELichens是一家研發(fā)初創(chuàng)公司，于2014年在法國(guó)格勒諾布爾成立，致力于為本地空氣質(zhì)量提供服務(wù)和傳感解決方案。

該公司的傳感技術(shù)可以幫助客戶檢測(cè)，監(jiān)測(cè)，指導(dǎo)和預(yù)測(cè)室內(nèi)和室外應(yīng)用和服務(wù)的空氣質(zhì)量。

例如，為了監(jiān)測(cè)空氣質(zhì)量并檢測(cè)工業(yè)環(huán)境中有害氣體的存在，eLichens擁有低功率微型氣體傳感器以及連接多個(gè)氣體傳感器的連接站。

eLichens的超低功率二氧化碳傳感器（來(lái)源：eLinchens）

ELichen還開(kāi)發(fā)了設(shè)計(jì)HVAC通風(fēng)系統(tǒng)所需的技術(shù)解決方案。

在通風(fēng)開(kāi)發(fā)中，一個(gè)關(guān)鍵是要考慮一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)不僅可以減少Co2的含量，而且不會(huì)降低Co2的濃度，以至于對(duì)用戶造成不好的影響，畢竟室內(nèi)空氣質(zhì)量是影響智力和整體健康的重要因素。為了測(cè)量室內(nèi)空氣質(zhì)量并將此信息提供給通風(fēng)系統(tǒng)，eLichens開(kāi)發(fā)了傳感器來(lái)測(cè)量多種類型的室內(nèi)污染物：二氧化碳（CO2），揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）和顆粒物（PM2.5和PM10）。

ELichens的技術(shù)可以類似地應(yīng)用于智能城市，燃?xì)庑孤┍O(jiān)測(cè)，智能家居和客艙汽車(chē)。

6、Innoluce BV

Inoluce是ToF LiDAR微型激光掃描模塊的開(kāi)發(fā)商，于2016年10月被英飛凌收購(gòu)。

它知名的產(chǎn)品是由硅制成的獲得專利的1D MEMS反射鏡。據(jù)說(shuō)該技術(shù)可自由更改反射鏡直徑和頻率，同時(shí)保持光學(xué)性能。這使諧振式1D MEMS反射鏡技術(shù)能夠提供不同的功能和廣泛的應(yīng)用范圍。

Innoluce激光掃描模塊（可根據(jù)客戶特定配置進(jìn)行調(diào)整）包含帶有ASIC的MEMS反射鏡，用于控制和驅(qū)動(dòng)MEMS.（來(lái)源：Innoluce）

7、Innoviz

Innoviz是一家由以色列國(guó)防軍技術(shù)部門(mén)前成員于2016年在以色列成立的初創(chuàng)公司。Innoviz專注于“以大眾市場(chǎng)采用所需的成本和尺寸”為自動(dòng)駕駛汽車(chē)開(kāi)發(fā)激光雷達(dá)傳感器，其產(chǎn)品基于固態(tài)設(shè)計(jì)。

該初創(chuàng)企業(yè)與眾多戰(zhàn)略合作伙伴和頂級(jí)投資者建立了聯(lián)系。他們包括Aptiv（德?tīng)柛Ｆ?chē)公司），Magna International,三星，韓國(guó)軟銀風(fēng)險(xiǎn)投資公司，360 Capital Partners,Glory Ventures和Naver.

Innoviz的總資金已達(dá)到2億多美元。最新的融資消息是2019年，Innoviz獲得1.32億美元C輪融資。本輪融資確保了Innoviz的生產(chǎn)、制造和研發(fā)的順利推進(jìn)。2021年其固態(tài)激光雷達(dá)也將能夠按時(shí)交付。

8、MEMS Drive

MEMS Drive成立于2014年，是基于MEMS的執(zhí)行器設(shè)備的開(kāi)發(fā)商。其目標(biāo)是設(shè)計(jì)用于移動(dòng)設(shè)備的光學(xué)圖像穩(wěn)定（OIS）技術(shù)。

這家初創(chuàng)公司開(kāi)發(fā)了用于智能手機(jī)中的首個(gè)5軸OIS（光學(xué)圖像穩(wěn)定）技術(shù)，通過(guò)移動(dòng)傳感器，MEMS OIS可以針對(duì)攝像機(jī)的運(yùn)動(dòng)提供快速而準(zhǔn)確的圖像穩(wěn)定。

MEMS Drive的光學(xué)圖像穩(wěn)定技術(shù)使成像器可以移動(dòng)，而無(wú)需移動(dòng)鏡筒進(jìn)行調(diào)整。它的優(yōu)點(diǎn)是無(wú)論使用哪種鏡筒或成像器格式，圖像都將穩(wěn)定下來(lái)，并且沒(méi)有鏡筒傾斜會(huì)降低圖像質(zhì)量。（來(lái)源：MEMS驅(qū)動(dòng)器）

9、Menlo Micro

Menlo Micro成立于2016年，是一家從通用電氣（General Electric,GE）獨(dú)立出來(lái)的公司，致力于為磁共振成像（MRI）和其它醫(yī)療設(shè)備開(kāi)發(fā)可靠、安全的功率開(kāi)關(guān)。

Menlo Micro的6通道單刀單擲（SPST）機(jī)械開(kāi)關(guān)（來(lái)源：Menlo Micro）

Menlo Micro注意到傳統(tǒng)的機(jī)電開(kāi)關(guān)技術(shù)幾乎沒(méi)有創(chuàng)新，因此開(kāi)發(fā)獨(dú)特的材料，設(shè)計(jì)和加工技術(shù)，以構(gòu)建增強(qiáng)型電子開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)可以應(yīng)對(duì)必須持續(xù)數(shù)十年的高溫和高應(yīng)力條件。

該公司稱其新開(kāi)關(guān)“比典型的機(jī)械開(kāi)關(guān)的運(yùn)行速度快1000倍，可以處理數(shù)百瓦的功率，并且其結(jié)構(gòu)比人的頭發(fā)還小。” Menlo Micro計(jì)劃針對(duì)其新型數(shù)字微型交換機(jī)，針對(duì)包括5G網(wǎng)絡(luò)在內(nèi)的移動(dòng)基礎(chǔ)設(shè)施和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)。

2019年，Menlo Micro發(fā)布了一款采用MEMS技術(shù)制造的新型功率繼電器。這款繼電器的FET與MEMS觸點(diǎn)并聯(lián)。FET可以消除觸點(diǎn)的電弧，因?yàn)樵?nèi)部的控制電路會(huì)在觸點(diǎn)斷開(kāi)后關(guān)閉FET.FET會(huì)在觸點(diǎn)閉合之前導(dǎo)通，因此導(dǎo)通時(shí)間僅為10μs,與傳統(tǒng)的MEMS開(kāi)關(guān)相比速度大幅提高。

Menlo Micro由GE Ventures支持，并由Corning Incorporated,Microsemi Corporation和Paladin Capital Group投資。該公司在2016年宣布籌集了1870萬(wàn)美元。

10、Mistic SAS

Mistic SAS是一家位于法國(guó)巴黎的初創(chuàng)公司，致力于為醫(yī)療設(shè)備市場(chǎng)和其他行業(yè)開(kāi)發(fā)基于鈦的MEMS技術(shù)。

Mistic SAS成立于2016年，從2010年代初開(kāi)始就利用由學(xué)術(shù)和行業(yè)合作伙伴財(cái)團(tuán)領(lǐng)導(dǎo)的研究活動(dòng)的成果。

Mistic技術(shù)的核心是將半導(dǎo)體納米和微制造技術(shù)轉(zhuǎn)換為鈦基板（“晶圓”）。據(jù)Mistic稱，它能夠提供多功能的鈦基部件，公差低至1μm.

機(jī)械和電氣特征是通過(guò)使用各種材料的選擇性沉積和蝕刻工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

為了滿足最嚴(yán)格的生物相容性要求，使用專有的生物相容性高貴材料對(duì)組件進(jìn)行了微工程處理。它們包括鈦，氧化鈦，氮化鈦，金，鉑和氧化鋁，并可以與客戶指定的任何材料一起使用。

11、Proteus Digital Health

Proteus Digital Health成立于2001年，是可吸收傳感器的開(kāi)發(fā)商。這些被稱為“數(shù)字藥物”的可攝取傳感器（一粒沙子的大小）旨在確保患者按處方服用藥物。

Digital Medicines內(nèi)部的傳感器跟蹤劑量和消耗量。數(shù)據(jù)進(jìn)入可穿戴的補(bǔ)丁，該補(bǔ)丁可檢測(cè)藥物并捕獲生理反應(yīng)。它被中繼到患者和醫(yī)生可讀的移動(dòng)應(yīng)用程序。同時(shí)，Proteus表示，數(shù)據(jù)分析可以幫助衛(wèi)生系統(tǒng)經(jīng)理。數(shù)字藥物在美國(guó)已投入商業(yè)使用。

2017年，美國(guó)食品藥品監(jiān)督管理局（FDA）批準(zhǔn)大冢制藥（Otsuka Pharmaceutical）銷售其抗精神病藥物Abilify的一種版本，該產(chǎn)品中嵌入了可攝入的傳感器。

抗精神病藥Abilify裝有可攝入的傳感器，該傳感器與患者佩戴的貼片通信。（來(lái)源：Proteus）

到目前為止，該公司共籌集了4.223億美元。

12、RoboSense（速騰聚創(chuàng)）

RoboSense是一家自動(dòng)駕駛激光雷達(dá)的開(kāi)發(fā)商，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)的一群博士于2014年成立。

RoboSense已推出了其首款高清固態(tài)激光雷達(dá)。新型基于MEMS的激光雷達(dá)可以實(shí)時(shí)收集3D高精度環(huán)境信息。它用微鏡結(jié)構(gòu)代替了機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件，簡(jiǎn)化了激光雷達(dá)的激光組件，并使產(chǎn)品成本具有競(jìng)爭(zhēng)力。RoboSense聲稱其高精度控制技術(shù)為其LiDAR提供了“出色的掃描性能，可以以更高的數(shù)據(jù)速率提供高精度和超高分辨率的云點(diǎn)。”

除了總部位于中國(guó)深圳的研發(fā)中心外，Robosense還在北京和硅谷設(shè)有研發(fā)中心。2016年6月29日，Robosense完成數(shù)千萬(wàn)人民幣A+輪融資，投資方為復(fù)星昆仲、普禾資產(chǎn)、東方富海。2018年11月，RoboSense對(duì)外公布最新融資進(jìn)展，本次戰(zhàn)略融資金額超過(guò)3億，是迄今為止國(guó)內(nèi)激光雷達(dá)企業(yè)中單筆融資金額最大的一次。

13、Tikitin

Tikitin是一家MEMS Resonator公司，成立于2016年。該公司的重點(diǎn)是時(shí)序和頻率控制等應(yīng)用領(lǐng)域。

Tikitin聲稱是第一家推出與石英晶體引腳兼容的硅MEMS諧振器的公司。因此，該公司的諧振器可以由用于石英的相同電路驅(qū)動(dòng)——“無(wú)需重新設(shè)計(jì)”。

Tikitin在Espoo生產(chǎn)MEMS諧振器，這是由VTT經(jīng)營(yíng)的試點(diǎn)和研究晶圓廠。

14、USound GmbH

USound GmbH成立于2014年，致力于開(kāi)發(fā)壓電MEMS技術(shù)，并提供MicroSound MEMS平臺(tái)，該平臺(tái)可制造具有集成感測(cè)功能的高性能硅揚(yáng)聲器。

該平臺(tái)允許設(shè)計(jì)人員創(chuàng)建MEMS微型揚(yáng)聲器，以設(shè)計(jì)用于智能手機(jī)和入耳式耳機(jī)。

USound提供了MEMS技術(shù)，可以開(kāi)發(fā)“世界上最小的揚(yáng)聲器”。（來(lái)源：USound）

2018年11月，USound獲得2000萬(wàn)美元的融資，以支持其智能MEMS音頻產(chǎn)品在全球市場(chǎng)快速拓展。2019年5月，USound收到額外的權(quán)益性證券（Equity Tranche），將這輪融資額增加至3000萬(wàn)美元。增加的資金有助于加速下一代MEMS微型揚(yáng)聲器的開(kāi)發(fā)，助力無(wú)線耳機(jī)和其它可穿戴設(shè)備的電池續(xù)航時(shí)間延長(zhǎng)至12小時(shí)。

15、Vesper

Vesper（波士頓）成立于2009年，是MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)的后起之秀。它準(zhǔn)備利用小型，堅(jiān)固，低功耗MEMS麥克風(fēng)芯片來(lái)利用語(yǔ)音計(jì)算的興起。

與提供電容式MEMS麥克風(fēng)的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手不同，Vesper已選擇由密歇根大學(xué)的聯(lián)合創(chuàng)始人Bobby Littrell和Karl Grosh開(kāi)發(fā)的壓電麥克風(fēng)。

這家初創(chuàng)公司將其壓電麥克風(fēng)描述為“以與所有其他MEMS和駐極體電容器式音頻設(shè)備完全不同的物理原理進(jìn)行操作”。壓電MEMS麥克風(fēng)直接將聲波能量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。Vesper稱其麥克風(fēng)除了具有更好的SNR之外，還特別適合智能手機(jī)，平板電腦，智能家居設(shè)備和其他連接產(chǎn)品中的大陣列應(yīng)用。Vesper的壓電設(shè)計(jì)使用了一個(gè)單一的隔膜，可以抵抗灰塵，水，助焊劑蒸氣和類似污染物的侵害。

Vesper最近的融資消息是，2018年5月，Vesper完成了 2300萬(wàn)美元的B輪融資。本輪融資由American Family Ventures領(lǐng)投，亞馬遜Alexa基金、百度等跟投。這是亞馬遜Alexa基金對(duì)Vesper的第二輪投資。迄今為止，Vesper已經(jīng)籌集了4000萬(wàn)美元。據(jù)報(bào)道，該公司將利用最新資金的一部分，將其制造能力從目前的每月“數(shù)百萬(wàn)”單位提高到每月1200萬(wàn)個(gè)單位。

16、芬蘭VTT

VTT是北歐一家領(lǐng)先的研究與技術(shù)公司。

最值得注意的是，VTT開(kāi)發(fā)了高光譜成像技術(shù)，可在消費(fèi)類設(shè)備中實(shí)現(xiàn)新的人工智能應(yīng)用。光譜過(guò)濾技術(shù)利用了非常近紅外（VNIR）的波長(zhǎng)，VTT聲稱，即使是低成本的手機(jī)攝像機(jī)也可以檢測(cè)到。VTT說(shuō)：“人工智能可以用來(lái)解釋圖像中的環(huán)境光譜數(shù)據(jù)，肉眼看不到。”

然后，圖像對(duì)象的光譜數(shù)據(jù)可以生成“與食品安全或新鮮度有關(guān)的信息，區(qū)分真假產(chǎn)品，藥品或安全攝像機(jī)記錄。”

VTT的新技術(shù)可測(cè)量人眼不可見(jiàn)的波長(zhǎng)（來(lái)源：VTT）

VTT稱，新的VNIR系列（600 – 900 nm）高光譜相機(jī)傳感器硬件的材料清單可低至150美元。借助可大規(guī)模生產(chǎn)的MEMS技術(shù)，VTT的可調(diào)濾波器技術(shù)也可以與任何相機(jī)傳感器集成在一起，而不會(huì)顯著增加成本或尺寸。VTT估計(jì)，包括攝像頭光學(xué)元件在內(nèi)的傳感器成本不到20美元。核心組件微光機(jī)電（MOEMS）芯片的成本不到一美元。

17、Zebra Analytix

Zebra Analytix成立是為了開(kāi)發(fā)和商業(yè)化基于MEMS技術(shù)的微型氣相色譜（GC）系統(tǒng)，該系統(tǒng)已獲得弗吉尼亞理工大學(xué)的獨(dú)家許可。正在申請(qǐng)專利的技術(shù)提供了能夠進(jìn)行多通道分離的微加工芯片。優(yōu)勢(shì)包括大大減小了儀器的尺寸，多功能性，便攜性和結(jié)果速度。

該公司聲稱，其微型氣相色譜系統(tǒng)可由非專家操作，以在幾秒鐘內(nèi)分析揮發(fā)性化合物。由于其在可穿戴和便攜式檢測(cè)中的潛在應(yīng)用，Zebra表示其氣相色譜系統(tǒng)正受到醫(yī)療保健，環(huán)境監(jiān)測(cè)，工業(yè)，石化和汽車(chē)應(yīng)用，樓宇自動(dòng)化以及國(guó)土安全等領(lǐng)域的關(guān)注，尤其是在全球政府針對(duì)此類法規(guī)的推動(dòng)下安全。