來源:半導體行業聯盟
8月10日,大族激光在互動平臺表示,公司在研光刻機項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的應用,目前已接到少量訂單。
此前,大族激光也在互動平臺表示,公司在研光刻機項目主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用,尚未實現銷售。
行業周知,高端芯片制造所需的光刻機一直以來被荷蘭ASML公司壟斷,一臺精密光刻機售價動輒過億,而我國半導體行業起步較晚,光刻機技術與ASML的差距非常大。
當前,我國光刻機市場環境中,除了合肥芯碩半導體公司也具備量產200nm光刻機的實力,無錫影幻半導體公司也具備200nm光刻機量產的實力,而上海微電子所生產的90nm光刻機已是目前國內最高技術的光刻機。
隨著大族激光在研光刻機項目的有序推進,也為我國光刻機的研發向前推進提供助力。
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原文標題:重磅 | 深圳自研光刻機公司:已接到訂單!
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