LTCC 濾波器的設計通常是基于經典濾波器設計理論,從結構上講,主要有兩種結構,一種是采用傳統的 LC 諧振單元結構,諧振單元由集總參數的電容電 感組成,另一種是采用多層耦合帶狀線結構。本文所設計的低通濾波器采用種集總參數形式,理想化低通濾波器電路原理圖如圖3所示。
本文設計的LTCC濾波器中的集總參數的電容和電感通過 LTCC多層陶瓷集成在陶瓷基板內部。LTCC 內埋植電容的設計一般采用兩種方式:垂直交指 型(VIC)電容和金屬-介質-金屬(MIM)電容。本文設計的濾波器的內埋置電容元件采用垂直交指型(VIC)電容,在相同電容量的情況下,VIC 結構電容相比 MIM 結構電容能夠大大減小端電極面積,從而有效減小濾波器尺寸。
LTCC 內埋電感有平面螺旋電感、堆棧螺旋電感、多層螺旋電感等方式,如圖 3所示,本文設計的低通濾波器內埋植電感元件采用多層螺旋結構的電感,在相同的有效電感值下此結構比平面螺旋式、堆棧螺旋式等結構具有更高的自諧振頻率和品質因子。
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