據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）、晶圓減薄和晶圓表面拋光處理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商Axus Technology（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“Axus”）近日宣布與美國(guó)企業(yè)Compound Photonics（也稱(chēng)“CP Display”，以下簡(jiǎn)稱(chēng)“CP”）合作，以加速像素間距在5 μm以下的microLED進(jìn)入大眾市場(chǎng)。CP是一家為增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)和混合現(xiàn)實(shí)（AR/MR）提供緊湊型高性能微型顯示器解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。

Axus正與CP合作整合關(guān)鍵晶圓級(jí)工藝，以實(shí)現(xiàn)CP下一代AR眼鏡的2μm像素間距、1080p microLED顯示器的大規(guī)模量產(chǎn)。具體來(lái)講，Axus將部署其最先進(jìn)的Capstone CMP系統(tǒng)，該系統(tǒng)集成了CMP后清洗技術(shù)、晶圓平坦化和表面處理工藝解決方案，成功將microLED晶圓與高性能CMOS背板進(jìn)行晶圓級(jí)鍵合。

為了加速研發(fā)進(jìn)程，Axus與CP將在CP位于美國(guó)亞利桑那州錢(qián)德勒的MicroLED Innovation Center for Augmented Reality Acceleration（MiARA）中建立該項(xiàng)目。百級(jí)潔凈室設(shè)施占地約15000平方英尺（約1394平方米），為Axus、CP和其他設(shè)備供應(yīng)商提供基礎(chǔ)設(shè)施，以便在毗鄰全球領(lǐng)先半導(dǎo)體制造商的Silicon Desert進(jìn)行先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)。

Axus先進(jìn)的CMP工藝能力是實(shí)現(xiàn)CP擁有專(zhuān)利申請(qǐng)、小像素間距、外延基板microLED集成工藝方案的關(guān)鍵。Capstone CMP系統(tǒng)可滿(mǎn)足多晶圓的高可重復(fù)性，以及芯片內(nèi)/晶圓內(nèi)平坦化性能，可靠地實(shí)現(xiàn)microLED與CMOS背板晶圓之間的數(shù)百萬(wàn)微米級(jí)電觸點(diǎn)的鍵合。這解決了量產(chǎn)工藝的關(guān)鍵要求，即保證生產(chǎn)出的微型顯示模塊的可視化均勻性，這正是緊湊型、低功耗、高亮度的AR/MR近眼顯示應(yīng)用的迫切需求。

自2020年初以來(lái)，Axus與CP就開(kāi)始合作開(kāi)發(fā)microLED陣列與CMOS背板晶圓的晶圓級(jí)鍵合集成工藝。近日的合作聲明進(jìn)一步表明了兩家公司在推進(jìn)microLED顯示器制造工藝和集成方面的承諾。

Axus董事長(zhǎng)Dan Trojan評(píng)論道：“鑒于microLED開(kāi)發(fā)和商業(yè)化帶來(lái)的巨大增長(zhǎng)潛力和令人興奮的技術(shù)進(jìn)步，我很高興Axus有機(jī)會(huì)支持在該領(lǐng)域耕耘的諸多技術(shù)公司。Axus是CMP相關(guān)先進(jìn)技術(shù)和工藝創(chuàng)新領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商，可以支持microLED及其解決方案。隨著我們推出最新、最先進(jìn)的Capstone CMP系統(tǒng)，可為研發(fā)、中試生產(chǎn)以及量產(chǎn)應(yīng)用提供最合適的工藝設(shè)備。非常感謝有機(jī)會(huì)繼續(xù)并擴(kuò)展我們與CP的合作和互動(dòng)，我們認(rèn)為CP是該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者和先驅(qū)。”

Axu工藝技術(shù)總監(jiān)Peter Wrschka補(bǔ)充道：“Axus與CP之間的共同合作將為顯示設(shè)備提供前所未有的速度和性能。Axus在晶圓鍵合的表面處理及后續(xù)襯底去除工藝方面擁有多年經(jīng)驗(yàn)，這是成功制造下一代微型顯示器所必需的條件。此次合作將大幅縮短單片集成microLED顯示器的上市時(shí)間。”

CP產(chǎn)品開(kāi)發(fā)總監(jiān)Julie Chao表示：“我們很高興能與Axus合作開(kāi)發(fā)CMP和清洗解決方案，使CP的CMOS背板能與任何像素間距小于5 μm的microLED晶圓實(shí)現(xiàn)鍵合。通過(guò)MiARA的共同努力，工藝改進(jìn)周期自然會(huì)縮短。這對(duì)于滿(mǎn)足從開(kāi)發(fā)商到終端客戶(hù)的市場(chǎng)周期來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。”

microLED一直是最有潛力滿(mǎn)足AR/MR應(yīng)用關(guān)鍵需求的顯示解決方案。制造工藝的創(chuàng)新對(duì)于降低成本和實(shí)現(xiàn)AR/MR頭戴設(shè)備的商業(yè)化量產(chǎn)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。

原文標(biāo)題：AR應(yīng)用熱潮將至，Axus聯(lián)手CP打造高分辨率microLED顯示器

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