一、中欣晶圓12英寸第一枚外延片正式下線

12月30日消息 根據(jù)中欣晶圓官方的消息，中欣晶圓12英寸第一枚外延片正式下線，成為國內(nèi)首家獨立完成12英寸單晶、拋光到外延研發(fā)、生產(chǎn)的企業(yè)。

官方表示，12月28日杭州中欣晶圓迎來了具有歷史意義的一天：在12英寸生產(chǎn)車間，順利完成了12英寸第一枚外延片下線。官方稱，12英寸外延片的生產(chǎn)是當前制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要瓶頸。自2019年12月底第一枚12英寸拋光片下線至今，歷時12個月的研發(fā)、生產(chǎn)，今天首枚12英寸外延片順利下線，不僅標志著中欣晶圓生產(chǎn)工藝技術(shù)的進一步提升，也標志著中欣晶圓為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迎來了一個新的里程碑，同時意味著中欣晶圓在國內(nèi)半導體外延片生產(chǎn)領(lǐng)域已處于領(lǐng)先地位。


二、12英寸生產(chǎn)線是首條可實現(xiàn)量產(chǎn)的

在今年7月份的半導體行業(yè)盛會 SEMICON CHINA上，杭州中欣旗下 12 英寸單晶硅晶棒及硅晶圓片首次亮相。

公開信息顯示，杭州中欣晶圓半導體股份有限公司成立于2017年，系日本株式會社Ferrotec Holdings、杭州大和熱磁電子有限公司、上海申和熱磁電子有限公司合資建立。總投資60億元人民幣，主要從事高品質(zhì)集成電路用半導體硅片的研發(fā)與生產(chǎn)制造。公司引入了國外半導體管理及技術(shù)專家團隊，共約有600名員工，通過了IATF 16949:2016、ISO14001、ISO45001等體系的認證，是浙江省高新技術(shù)企業(yè)，擁有3條8英寸、2條12英寸半導體硅片生產(chǎn)線，其中8英寸生產(chǎn)線是目前國內(nèi)規(guī)模最大，技術(shù)最成熟的生產(chǎn)線；12英寸生產(chǎn)線是我國首條擁有核心技術(shù)，真正可實現(xiàn)量產(chǎn)的半導體硅片生產(chǎn)線。

三、預(yù)計2021年年產(chǎn)240萬片

2018年2月，中欣晶圓大硅片項目開工建設(shè)。2019年6月30日，中欣晶圓的首批8英寸(200mm)半導體硅拋光片順利下線，8月23日，首臺12英寸工藝設(shè)備搬入，目前正在進行 12 英寸(300mm)硅晶圓產(chǎn)線調(diào)試。
根據(jù)規(guī)劃，中欣晶圓目前已經(jīng)有月產(chǎn)10萬片8英寸大硅片的能力，12英寸晶圓將在明年初進入量產(chǎn)，12英寸半導體硅片生產(chǎn)線投產(chǎn)后，月產(chǎn)能能達3萬片，并將適時啟動20萬片產(chǎn)能產(chǎn)線的擴產(chǎn)，預(yù)計2021年年產(chǎn)240萬片，將大大緩解我國半導體大硅片供應(yīng)不足的局面。

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