在工業(yè)生產(chǎn)的數(shù)控機(jī)床，機(jī)器人，或是航空航天，雷達(dá)等各種高精度、閉環(huán)調(diào)速系統(tǒng)，以及伺服系統(tǒng)的轉(zhuǎn)速測(cè)量里，都可以看到編碼器的身影。光電式和電磁式是兩種比較常見(jiàn)的編碼器類(lèi)型。而光電式對(duì)比電磁式，可以實(shí)現(xiàn)更加精密的測(cè)量，擁有更高分辨率而且結(jié)構(gòu)更緊湊。隨著智能制造升級(jí)，以及各種高精運(yùn)控需求的出現(xiàn)，光電編碼器如何同時(shí)做到提高分辨率、減小尺寸、提高穩(wěn)定性是當(dāng)下許多編碼器供應(yīng)商正在攻克的難關(guān)。

提高光電編碼器的精度和分辨率最簡(jiǎn)單的辦法就是增加碼道的數(shù)量。一是加大碼盤(pán)尺寸，二是縮小碼道寬度。加大碼盤(pán)尺寸無(wú)疑會(huì)讓編碼器尺寸增加，機(jī)械和光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)難度也隨之增加。加大碼盤(pán)尺寸顯然不可取。而通過(guò)縮小碼道的寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)有限面積中數(shù)量的增加會(huì)極大增加均勻刻畫(huà)碼道的難度，分辨率和精度會(huì)受到影響。

跳出既有技術(shù)，采用新技術(shù)理論成為了新的道路。在這條路上，編碼器內(nèi)部核心器件的升級(jí)成了重中之重，尤其是光電檢測(cè)裝置，在各方面性能上都需要再上一個(gè)臺(tái)階。

使用MEMS工藝，在PD芯片上形成通孔，可將特種LED置于其中，實(shí)現(xiàn)了LED與PD芯片級(jí)的合二為一。還可以調(diào)節(jié)PD芯片的厚度，以使LED的高度與PD感光區(qū)域的高度保持一致。使用通孔加工技術(shù)的光電檢測(cè)裝置極大提高了分辨率。

編碼器供應(yīng)商里海德漢旗下的鋼光柵/鼓光柵編碼器ECA 4000、ERA 4000就使用了類(lèi)似技術(shù)。目前我國(guó)非常多高精設(shè)備上都采用的是海德漢編碼器，如望遠(yuǎn)鏡，高精雷達(dá)上。ECA 4000系統(tǒng)精度達(dá)到了±3''至±1.5''，信號(hào)周期數(shù)覆蓋8195至44000。ERA 4000在系統(tǒng)精度為±5''至±2''。雖然看似精度下降了，但其實(shí)這是因?yàn)樵撓盗性谛盘?hào)周期數(shù)上覆蓋更廣，3000至13000、6000至44000和12000至52000都可以覆蓋。在每圈信號(hào)周期系列下，它的精度都處于業(yè)內(nèi)極高水準(zhǔn)線(xiàn)上。

（圖源：海德漢官網(wǎng)）

海德漢之所以處于絕對(duì)壟斷地位，當(dāng)然不止一項(xiàng)領(lǐng)先的技術(shù)。優(yōu)秀電路處理、專(zhuān)業(yè)光柵制造能力是很多光電編碼器廠商沒(méi)有的核心技術(shù)。說(shuō)到柵刻劃制作技術(shù)，長(zhǎng)春禹衡在國(guó)內(nèi)還是首屈一指的，線(xiàn)條均勻性、線(xiàn)條準(zhǔn)直性、光柵精度在中端市場(chǎng)受到廣泛認(rèn)可。

（圖源：禹衡官網(wǎng)）

這里是禹衡的JZN-1系列編碼器，這個(gè)系列絕對(duì)位數(shù)可以做到23~29 bit。同時(shí)在高分辨率下，準(zhǔn)確度也很高，在20℃下誤差僅為±0.5''。這個(gè)參數(shù)是很夸張的。十年前禹衡還只能做到8～25 bit，而現(xiàn)在最高已經(jīng)可以做到29 bit。這里有不少功勞應(yīng)該歸于核心的電路處理和柵刻劃制作技術(shù)。

微光纖板（FOP）由微尺寸光纖集合而成，是一種可高率、低失真?zhèn)魉凸饩€(xiàn)和圖像的透鏡。將FOP與探測(cè)器光敏區(qū)域耦合，可以縮短空間自由光路，有助于提高編碼器分辨率，降低串?dāng)_，這是濱松獨(dú)有的專(zhuān)利技術(shù)。

嚴(yán)格來(lái)說(shuō)濱松不做編碼器，是上游編碼器配件提供商。但它所推出的核心光電器件極大推動(dòng)了編碼器廠商的發(fā)展。

（圖源：濱松官網(wǎng)）

濱松用于編碼器的6像素陣列Si PIN 光電二極管，就是應(yīng)用了FOP耦合技術(shù)的模塊。模塊表面封裝型6像素Si PIN光電二極管陣列，六個(gè)像素中的每個(gè)像素都是分開(kāi)的，布置十分適合于編碼器。將FOP和Si光電二極管結(jié)合使用可使透鏡聚焦在比正常光敏表面高FOP厚度的位置處，會(huì)更容易將滑板或其他組件安裝在感光表面附近。此外還能通過(guò)使用具有低NA的FOP來(lái)調(diào)節(jié)光敏方向性。

還有不少技術(shù)推動(dòng)著光電編碼器的發(fā)展，比如不少?gòu)S商開(kāi)始通過(guò)實(shí)現(xiàn)PD與外圍電路的一體化設(shè)計(jì)、設(shè)計(jì)特殊的降低噪聲的電路結(jié)構(gòu)等方式，讓器件更加易于使用，并發(fā)揮出更好的性能；或者改進(jìn)芯片晶體結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)電流限制型LED更高的可靠性；抑或是重新設(shè)計(jì)發(fā)光直徑等等，核心技術(shù)核心工藝的不斷革新推動(dòng)著光電編碼器產(chǎn)業(yè)繼續(xù)發(fā)展。