電子發燒友網報道(文/吳子鵬)5月19日上午,臺灣新竹科學園區發生火災,園區內的亞東氣體工廠冒出滾滾濃煙,并伴有爆炸聲音,由于亞東氣體是變壓器過熱引發變電室起火,因此也波及到了整個新竹科學園區的供電。我們都知道,這里有密集分布的半導體企業。
針對火災情況,新竹科學園區管理局表示,亞東氣體廠區內變電器發生火災,連帶影響竹科發生C級壓降,目前警消人員已緊急前往灌救,臺電人員也緊急處理。根據最新消息,臨近19日中午時分,火勢得到了控制。
對于事故影響,亞東氣體稱,起火的廠房為新工廠,是一座獨立新建的廠房,目前大部分設備已經進入,產線到了試車階段,但并沒有正式投入運轉。由于亞東氣體涉及到各項高純度氣體、電子級特殊氣體及化學品功供應,新竹科學園區周邊居民對于后續是否有空氣方面的影響很是擔心,亞東氣體對此回應說,廠區生產很單純,現場沒有化學原料,主要運作為利用技術把空氣吸入,透過壓縮機分離出純氧及純氮,其實就是一般的空氣,并非化學氣體,民眾不需要過于擔心。
由于亞東氣體此次火災影響到了園區供電,因此業界對臺灣半導體各廠商的情況也很關心,害怕出現突發狀況,加重當前的產業缺芯情況。根據公開介紹,新竹科學園區是臺灣第一大集成電路集聚區,晶圓制造方面的臺積電、聯電、立積電和世界先進均在園區有工廠,封測方面的欣邦科技、南茂電子、京元電子也在這里,而終端應用上的友達光電和HTC等同樣在這里。在全球半導體圈子里,很多業者都將新竹科學園區稱之為亞洲“硅谷”。
對于芯片制造來說,電力的穩定供應是必須要保證的。在晶圓代工廠里,24小時都要保障正常供電,在產線運轉的過程中,無論是前道工序還是后道工序出現電壓不穩或者斷電,損失都是難以估量的。
有時候,在晶圓代工廠,短短幾分鐘的斷電,就會讓一批晶圓直接報廢。以2021年4月臺積電一次事故舉例,當時臺積電位于南科的FAB14 P7工廠突發停電事故,該工廠的主要工藝是40nm左右的成熟工藝,根據業界傳聞,最終事故導致該工廠近4萬片晶圓損毀,直接經濟損失約2.3億元人民幣。
由于引發業界關注,新竹科學園區內的晶圓代工廠都緊急回應了事件影響。
臺積電方面表示,竹科廠區生產營運并沒有受到影響。
聯電方面則表示,由于壓降時間非常短,產線未受影響,目前生產一切正常。
相較于臺積電和聯電,立積電和世界先進有部分產線是沒有配備不斷電系統的,因此會受到一定程度的影響。
力積電回應稱,有加裝不斷電系統的機臺立即啟動,沒有受到影響,但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響,實際的報廢晶圓數量還在評估中。
世界先進也指出,部分沒有不斷電系統的機臺出現了停工的情況,已經在陸續復工的狀態,不過由于停電僅僅持續了不到1秒的時間,因此影響比較有限。
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