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CM300xi-ULN探針臺在在片噪聲測試領域中的應用

tjxinrui ? 來源:tjxinrui ? 作者:tjxinrui ? 2022-06-18 15:14 ? 次閱讀

采用PureLine 3技術的新型CM300xi-ULN可消除97%以前探針臺中的環境噪聲,并從根本上改變7納米以下前沿技術節點的實驗室閃爍噪聲測量

今天,我們正式推出一種300mm晶圓探針臺CM300xi-ULN,該系統設計用于閃爍噪聲(1/f)、隨機電報噪聲(RTN)和相位噪聲的高精度測試。

此類噪聲問題對先進模擬和數字IC技術造成的困擾日益增加,而該技術功率和性能的提高需要以降低噪聲容許量為代價。因此,目前的器件設計和驗證需使用高靈敏度設備仔細表征此類內部噪聲源。上述探針臺CM300xi-ULN通過消除97%以上的環境噪聲為超低噪聲測量建立了新的行業金標準。

使用新獲得專利的PureLine? 3技術,ULN探針臺可降低32倍(1 kHz)的噪聲,以改進5G及以上應用7/5/2nm技術節點的器件表征和建模。

當與噪聲測試設備(閃爍噪聲、RTN、相位噪聲)集成時,CM300xi-ULN使用帶有Contact Intelligence?的電動探針座可提供行業最高測試吞吐量,實現全自動DC和低頻噪聲測量,并采用多DUT布局完全實現全天候自動運行。

最后,CM300xi-ULN降低了低噪聲測試單元優化的復雜性。只需通電即可開始測試。測試單元電源管理可消除測試單元所有接地回路感應噪聲,并為整個系統、探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源

CM300xi-ULN探針臺在在片噪聲測試領域實現了四項重要的行業“第一”,包括:

  • 第一款實現-190dB頻譜噪聲*的自動化探針臺,可對新的高性能器件進行高精度噪聲測量(*典型值,dBVrms/√Hz,1kHz至1MHz,含探針臺和溫控系統)
  • 集成測試單元電源管理,可消除接地回路感應噪聲,并為探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源
  • 在30um焊盤上完全自主進行閃爍噪聲熱測試,測試速度比上一代系統快4倍
  • 客戶現場調查和“低噪聲”安裝驗證,可顯著降低安裝成本和工具部署時間

審核編輯:符乾江

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