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天馬有源數字微流控芯片實現多類相關傳感功能集成

科技綠洲 ? 來源:天馬微電子 ? 作者:天馬微電子 ? 2022-06-20 15:58 ? 次閱讀

隨著物聯網人工智能5G等眾多新興科技接踵而至,傳感器領域迎來了迅猛的發展。但需求多元化、開發周期長、成本高、產能不足等現狀讓傳統傳感器開發模式面臨嚴峻挑戰。天馬精準把握行業發展動態,積極開拓國際化的面板級傳感器業務:依托于強勁的TFT技術研發實力與靈活多樣的制造能力,在生物醫療、智慧交通、人工智能、信息通訊等領域已完成多類前瞻技術開發,不僅為面板制造業開拓了高精度制造的新型領域,并且開辟了一條全新的傳感器產業化推進路線。

在生物醫療領域,微流控(Microfluidics)技術利用對微觀液體的精準操控,將樣品處理、反應、檢測、分析等復雜的實驗步驟集成在一個生物芯片上完成,是芯片實驗室(Lab-on-chips)的核心技術。通過集成化高通量檢測減少分析時間、試劑用量以及人力投入,從而替代傳統的生化實驗設備及人力,微流控被譽為未來生物科技的革命性技術,可廣泛應用于各類生化檢測領域,如臨床診斷、基因測序、免疫檢測、單細胞分析等。

微流控技術應用

然而,目前微流控芯片產業鏈發展還不夠成熟,傳統制造技術難以實現高通量、高精度、低成本芯片的批量生產,相關技術大多處于實驗室階段,與市場化大規模應用存在一定距離。為此,天馬結合行業領先的顯示面板成熟制造工藝,成功開發了面板級微流控(Pluidic, Panel-Level-Microfluidics)技術,可提供多種工藝路線的玻璃基微流控芯片的定制化設計和批量生產服務,極大推動了微流控技術的產業化發展。

天馬微流控部分樣品展示

微流控技術大體可分為基于微流道操縱連續流體的連續微流控技術和基于介電潤濕等原理操縱獨立微液滴的數字微流控技術。

在連續微流控方面,天馬研發出基于玻璃蝕刻流道方式制作的連續微流控芯片,實現高精度玻璃微流道芯片制造需求。天馬的連續微流控芯片具有高通量、高精度、低成本、可定制實驗等眾多優勢,在基因測序等領域已實現商業項目出貨。

天馬連續微流控芯片結構&技術優勢

在數字微流控方面,天馬探索了多種工藝及技術路線,已成功研發基于a-Si/Oxide/LTPS等多種TFT技術的有源數字微流控芯片,以及單層/多層電極無源數字微流控芯片,實現多種傳感功能集成,提供了全球最為豐富的技術路線和解決方案,可滿足各類不同應用方向的功能需求。目前相關研究成果已發表在等多家SCI/EI國內外知名期刊和會議論文上,已布局國內外核心技術專利50余篇,并且已在PCR擴增、基因建庫、免疫檢測、單細胞分析等領域與多家客戶展開商業項目,在學術界和產業界均受到廣泛認可。以a-Si方案為例,使用有源方式可靈活獨立控制成千上萬個百微米級驅動電極,批量驅動pL~uL級液滴,具有高精度、高通量、低成本、可編程和便攜性等優勢,相應產品也已實現小批量出貨。

天馬有源數字微流控芯片結構&技術優勢

后續,天馬將進一步提升面板級微流控產品的性能及量產能力,實現多類相關傳感功能集成,完成更多技術方案的微流控產品開發,為客戶提供更優質的微流控產品解決方案和生產服務。

MPG(Multi-Project-Glass)&技術優勢

對于微流控等新興技術領域,天馬還提供了獨有的MPG(Multi-Project-Glass) 多項目玻璃基板技術平臺,能為創新公司、高校和科研單位等提供成熟的a-Si、LTPS、IGZO和LTPO背板,進行相關技術產品的前期研發和成果轉化,助力相關技術落地。

作為公司“2+1+N”戰略中“N”的重要組成部分,非顯示業務近年來快速成長,天馬將持續在相關領域進行技術和產品開發,與廣大客戶共同推進相關產業量產孵化。

審核編輯:彭靜
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