激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀不僅廣泛用于高端裝備如數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)、光刻機(jī)等，在計(jì)量檢定領(lǐng)域也能大展身手。

1、測(cè)長機(jī)檢定

傳統(tǒng)的測(cè)長機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求高，且量程大于1m的測(cè)長機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低，而使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補(bǔ)償單元對(duì)空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補(bǔ)償，提高校準(zhǔn)精度。

2、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)示值誤差測(cè)量

隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)要求，激光干涉儀測(cè)量準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍大，測(cè)量數(shù)據(jù)豐富，適合測(cè)量三坐標(biāo)各項(xiàng)幾何誤差。

3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì),其特點(diǎn)是測(cè)量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測(cè)量。在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè),從而形成對(duì)比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對(duì)定長位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比,得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

4、影像儀定位精度測(cè)量

影像儀傳統(tǒng)檢測(cè)方法采用線紋尺比對(duì)法進(jìn)行，存在著檢測(cè)精度低、測(cè)量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準(zhǔn)、 檢測(cè)效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對(duì)影像儀的定位誤差進(jìn)行快速檢測(cè)，對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算分析，利用軟件生產(chǎn)補(bǔ)償文件快速實(shí)施二維平面多點(diǎn)位補(bǔ)償，可大大降低設(shè)備制造過程中的精度檢測(cè)難度、提升檢測(cè)效率及補(bǔ)償效率。

審核編輯：湯梓紅