BAW諧振器基礎

如何去分析BAW諧振器？？

一定要掌握 BAW 的這些參數

前幾天看到一個朋友所在的公司已經獲得了超過一億的融資，對于很多數字芯片來說，一個億可能燒不了多長時間，但是對于芯片濾波器這個門類來說，一個億可以支撐公司能夠開發更多的產品。芯片濾波器這個行業，未來依然光明。

接著學習！

在文章開始之前呢？大家一起回顧一下 BAW 諧振器

① BAW諧振器的基本結構 ：FBAR， BAW-SMR 等 ② BAW諧振器的常用分析模型：BVD/ mBVD, Mosen, FEM 等 ③ BAW 諧振器的關鍵參數：諧振頻率 fs/ fp，品質因數 Q0， 有效機電耦合系數 Keff 等。

通過之前文章的學習，相信同學們對體聲波BAW諧振器有了初步的認識。聲波諧振器不同于我們之前所設計的射頻/微波諧振器，它里面諧振著的不是電磁波，而是聲波（機械波）。電磁波是純粹的橫波，聲波卻不是，除了橫波還有縱波，剪切波。所以對聲波的分析更為復雜一些，聲波的變化會引起能量的損耗，在BAW諧振器里面，縱波是我們所需要的工作模式，所以橫波和剪切波都會引入損耗。

機械波示意圖

但是射頻電路里面，如何將電磁波和聲波聯系起來呢？這個要感謝神奇的壓電材料，我們通過壓電材料的壓電效應/逆壓電效應把電磁波和聲波聯系了起來。電磁波的電壓變化通過壓電效應引起壓電材料的機械變化，壓電材料的機械變化通過逆壓電效應轉化為電磁波的電壓變化。這樣，BAW諧振器中的聲波振蕩就和我們的電磁波聯系起來了。

編輯：黃飛