2021年11月9日在投資平臺上，?？低曂嘎逗？滴⒂耙呀涀越ㄒ粭l8寸MEMS生產線及封裝線，具備年產晶圓一萬片，探測器百萬顆的生產能力。

探測器產線潔凈面積達到800平方米、凈化級別高達10級的8英寸，擁有業界—流的集成電路設計、MEMS設計、MEMS/封裝制程開發、應用成品開發及銷售服務團隊。

23、愛司凱（IDM）-8英寸

愛司凱成立于2006年，致力于工業打印核心技術研發和多技術（微機電系統MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技術企業。目前已掌握三大核心技術：即激光技術、壓電式噴墨打印技術和精密運動控制系統 ，愛司凱在廣州中新知識城建有8英寸晶圓MEMS噴墨打印頭產線。

24、西人馬（IDM）-8英寸

西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進微納米研究實驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產線和中國先進的MEMS器件加工平臺。

西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發展迅速，西人馬已經成為國內MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產量可以達到幾十萬顆。西人馬是中國MEMS十強企業之一。

25、奧松電子（IDM&代工）-6英寸

奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導體工藝技術，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術生產傳感器芯片的高新技術企業，也是廣東省MEMS領域集研發、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產業鏈（簡稱IDM）企業。

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營，成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產設備約占整個投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產線；總項目全部建成投產后，每月流片規模將達到4萬片，

2021年8月，奧松電子官網宣布對外開放MEMS芯片代工業務，包括設備共享、技術支持、企業孵化等服務。

2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術產業開發區建設8英寸先進MEMS特色半導體IDM產業基地項目。該項目建成后，將成為國內先進的MEMS芯片及智能傳感器產業集群，提高MEMS芯片的代工和量產能力。

26、罕王微電子（IDM）-8英寸

罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產為核心的高科技中美合資企業，總部位于遼寧省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。

罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業務，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規?；慨a線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產全流程，設計晶圓產能36萬片/年。生產傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。

27、美泰科技（IDM）-6英寸

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。

6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

28、多維科技（IDM&代工）-6&8英寸

成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產線。

多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發及晶圓制造服務（包括設計、制造和測試），年產10億個TMR磁傳感器。

2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現有產線進行升級，能夠進一步強化“自研、自產、技術領先”的核心競爭力。

29、啟泰傳感（IDM）

2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質膜關鍵工藝與技術，建設國內第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產線，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規?；a能力的公司之一。

2019年8月該生產線實現批量生產，年產壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產能力可達600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產值可達10億元。

據二期項目正在進行，預計完工后，傳感器芯片產能將達2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產值可達50億元。

30、高德紅外（IDM）

高德紅外創立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產型 MEMS 生產線，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產能力的非制冷紅外焦平面探測器生產線，已實現從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規格產品型號批產能力。

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產線，據2021年8月消息，年底將有新產線投產，并提高3~4倍產能。

（在建）31、銳石創芯（IDM）

銳石創芯是一家專注于高性能的4G/5G射頻前端產品的研發及銷售的公司，主要應用于智能手機、物聯網終端、平板電腦。

銳石創芯MEMS器件生產基地新建項目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，項目核心廠房由晶圓廠和動力站組成，建筑面積共2.65萬平方米，目前主體建筑已封頂，主要生產射頻前端MEMS芯片。

32、士蘭微（IDM）-6&8英寸

杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產品的開發，在6吋、8吋芯片生產線上實現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產線，初步走通了系列傳感器的IDM發展之路，已申請相關發明專利百余項。

目前士蘭微MEMS傳感器產品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

士蘭微是中國MEMS十強企業之一，據其2022上半年度報告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產品的營業收入達到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。

33、德爾森（IDM）

德爾森集團是一家中德合作的高新技術企業，集團總部與產品設計中心位于德國法蘭克福和中國南京。

德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國CIS研究院技術的MEMS壓力傳感器芯片產線。

34、力盛芯（IDM）-8英寸

力盛芯（洛陽）電子科技公司是由臺灣LED產業之父石修投資建立的企業，主要生產微機電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機電工藝集成電路代工制造三大類產品。2017年總投資9億元，約5萬平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產。

35、睿創微納（IDM）-8英寸

睿創微納總部位于山東煙臺，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業。

睿創微納的8英寸MEMS晶圓生產線由公司與代工廠共建，已量產，月產能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺開發區簽署協議，建設一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線。其中，化合物半導體芯片工藝線面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。

36、沈陽儀表科學研究院（中試線）-4英寸

沈陽儀表科學研究院傳感器國家工廠研究中心是我國唯一的國家級傳感器工程研究中心，在中國傳感器研發、生產、應用等方面有著舉足輕重的地位。是我國傳感器標準起草牽頭單位、傳感器行業協會理事長單位。

研究中心建有4英寸中試線，主要用于MEMS傳感器研發生產使用。

37、國家智能傳感器創新中心（中試線）-12英寸

2021年6月30日，由國家智能傳感器創新中心（簡稱“創新中心”）建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。

該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業鏈國產化，實現自主可控。

38、蘇州納米城（中試線）-6英寸

蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工業園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。

蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品

39、諾思微系統（IDM）-6英寸

諾思微系統位于天津，是一家無線設備射頻前端MEMS濾波芯片服務商，其產品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術以及硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術，同時為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

諾思微已投產一條6英寸MEMS晶圓生產線和一條4英寸工藝研發線。廠房和研發中心總占地面積2.7萬平方米。

2021年3月，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目在諾思微系統啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術要求，對實現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產能釋放，達年產20億顆濾波器芯片的產能規模。

40、武漢衍熙微器件（IDM）-8英寸

武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創新自主開發的產品生產流程。該產線主要產品有MEMS濾波器、雙工器等。

2018年，武漢衍熙微器件進行項目擴建，一期為租賃現有廠房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間，用于擴大生產。

41、蘇州固锝（IDM）-8英寸

蘇州固锝成立于1990年，是國內二極管龍頭企業，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業務。

2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術及八英寸晶圓級封裝技術及產線和產品研發。

2011年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開發、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。

42、西北工業大學寧波研究院（研發平臺）-8英寸

西北工業大學寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心依托西北工業大學微機電系統及納米技術雙一流學科、極端環境智能微系統國家重點實驗室（培育）寧波基地、空天微納系統教育部重點實驗室寧波基地等優勢平臺，建有國際先進、國內一流的硅基MEMS核心工藝加工服務平臺，團隊實力雄厚，具有MEMS器件結構設計、批量化代工、性能測試等研發加工能力。

西北工業大學寧波研究院MEMS加工平臺位于寧波市國家高新區智造港A區，擁有世界頂級SPTS深硅刻蝕機、SUSS MA/BA8 Gen4***、SUSS XB8鍵合機、全自動涂膠顯影機、原子層沉積設備、兩臺電子束蒸鍍設備（金/銀/鋁等金屬、SiO2/Al2O3等介質）、兩臺激光隱切設備（硅/玻璃）、濕法腐蝕與清洗系統、橢偏儀、臺階儀等MEMS工藝專業設備，設備兼容8/6/4/2英寸晶圓加工，面向全國提供MEMS芯片結構設計、鍍膜、光刻、刻蝕、劃片、封測、應用開發等全方位技術服務。

43、蘇州納米技術與納米仿生研究所（中試線）

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所由中國科學院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業園區于2006年共同創建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫學等重點研究領域，建設有用于MEMS器件研發使用的代工產線。

44、淄博高新區6英寸中試線

該產線由清華大學、淄博高新區MEMS研究院和國高(淄博)微系統科技有限公司共同完成。

是國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產能力可達月產傳感器十萬只，產品的測試環境也居國內先進水平。

45、兵器214所（中試線）

蚌埠兵器214所智能傳感器創新中心已建成國家級微電子機械系統(MEMS)國家地方聯合工程實驗室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產工藝線，具有設計、制造、封裝、篩選測試及應用的全產業鏈研制生產能力，擁有豐富的完全自主知識產權的MEMS技術，核心發明專利300余項，產品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國內MEMS龍頭企業和工信部傳感器“一條龍”示范企業。

46、中科院微電子所（中試線）

2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產品。

47、中科院電子學研究所（研發平臺）

中國科學院電子學研究所（以下簡稱電子所）創建于1956年，現已并入中國科學院空天信息創新研究院，是我國第一個綜合型電子與信息科學研究所，設有傳感技術聯合國家重點實驗室(北方基地)，建有用于MEMS研發使用的MEMS產線。

48、中科院上海微系統所（研發平臺）

中國科學院上海微系統所設有傳感技術聯合國家重點實驗室(北方基地)，現有的MEMS技術平臺由微系統加工平臺和微系統封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統所漕河涇園區內主樓的一層和二層凈化間內。

整個平臺擁有100多臺套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統集成等成套工藝，為微系統研究提供有力的技術保障。

49、上海微技術工研院（中試線）

2017年，上海微技術工業研究院（以下簡稱“工研院”）構建的國內首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中試線正式投入運營，月產量將達到3000件。

該產線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發中試線，SITRI的8英寸研發中試線不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率。

今年6月，上海微技術工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機時資助給上海大學，用于微電子學院教學實踐，為期5年。

50、中科院微電子所（中試線）

2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產品。

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審核編輯黃昊宇