電子工業是中國經濟現代化不可或缺的支撐力，以集成電路為代表的半導體芯片制造業是電子工業發展的基礎和核心。芯片性能與工藝技術和設計的嚴格性、合理性和先進性密切相關，芯片的可靠性和成品率與加工制造環境的潔凈度和材料的純度有關，特別是隨著納米加工技術的不斷發展和廣泛應用，超凈環境和超純材料已成為半導體工業進步和創新的關鍵。

潔凈廠房的標準

《潔凈廠房設計規范》GB50073-2013年制定：無塵室空氣懸浮顆粒濃度可控，減少室內滯留和產生的粉塵顆粒數量，凈化區溫濕度等相關參數可控。根據空氣中的不同工藝，需要不同的凈化等級和施工標準≥0.5μm/0.1μm潔凈室的顆粒數分為十級、百級、千級、萬級、十萬級。

國內現行標準一般有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等等，根據這些要求測量和計算特定顆粒，對潔凈室和潔凈區域的潔凈度進行分級。根據生產工藝和機械設備的實際需要，合理選擇最佳凈化水平，降低施工成本，資源能耗是凈化設計的基本目標。

凈化空調控制

半導體廠房凈化空調控制系統是潔凈車間建設的重要組成部分。工廠各種生產工藝的正常運行依賴于高質量的潔凈環境。能迪科技canlead?凈化空調控制系統是一套智能中央空調自動控制系統（PLC）、自動控制車間的溫度、濕度和壓力等，使其穩定高效地運行，從而滿足潔凈車間的設計要求。

控制凈化車間濕度和壓力

凈化車間的濕度和壓力主要取決于新風機組，采用新風機組PLC控制，整個空氣處理過程根據室外空氣溫度分為三個區域：當室外空氣濕度為9.72g/kg干空氣時，空調機組冷盤管會除濕空氣，然后根據冷卻溫度調整電動水閥的開度，確?？諝饴饵c值穩定；室外氣體含濕量小于9.72g/kg，濕球溫度大于9.53℃當空氣冷卻加濕時，通過空氣露點溫度值調整制冷盤管電動水閥的開度，控制加濕器的加濕量；當室外空氣的絕對濕度小于9.72g/kg，濕球溫度小于9.53℃加熱和加濕空氣時，通過出風露點溫度自動調節加熱盤管電動閥的開度PLC控制器根據出風空氣的含濕量值，控制加濕器的加濕量。具體控制參數應根據各實例和工藝要求進行適當調整，盡可能找到滿足各工藝要求、最節能的控制點。

新風機組壓差和加濕器控制

根據送風主管壓力信號，通過變頻器調整風機轉速，確保送風主管靜壓；通過調整相應的新風支管電動風閥，實現室內各區域所需的壓差值。

車間溫度控制

車間溫度主要由干盤管承擔，PLC控制器根據潔凈室各區域溫度傳感器的平均值，調整不同區域干盤管電動閥的開度，確保該區域溫度的恒定值。自動控制在滿足工藝需求的同時，盡可能及時調整和降低能耗。

推進中國半導體材料國產化

在國家鼓勵半導體材料國產化的政策指導下，我國半導體材料制造商不斷提高半導體產品的技術水平和研發能力，以及能迪科技canlead?凈化空調控制系統將成為半導體行業快速發展的助推器，逐步打破國外半導體制造商的壟斷格局，促進中國半導體材料國產化進程。

審核編輯黃昊宇