等離子體是物質的一種特殊存在狀態，是物質在電離等外來作用下繼固態、液態、氣態后的第四種存在狀態。

等離子清洗技術是利用等離子體高能轟擊、活化反應等物理化學方法，將污染物從工件上剝離去除的一種工藝方法。

等離子清洗設備，主要由高頻電源、電極、真空室、真空泵、控制系統等幾部分組成。

等離子清洗原理

1）反應性氣體等離子清洗

在真空狀態下，高頻電源的高壓交變電場將氧氣、氫氣等反應性氣體電離成高能量和高反應性的等離子氣體。這些高活性基團被吸附在工件表面，與表面污染物發生化學反應，生成其他氣體并脫離工件表面，隨排氣系統排出。氧氣適合對助焊劑等有機類污染物進行處理，氫氣適合處理金屬氧化物。

2）物理性氣體等離子清洗

在真空狀態下，高頻電源的高壓交變電場將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體。活性粒子在偏壓作用下被加速產生動能，設備射頻系統的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團下電極高速轟擊工件表面，使污染物汽化，與工件剝離，隨排氣系統排出腔體外，產生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物，此方法適合對各類污染物進行去除。

等離子清洗的優點

等離子清洗是使用電能催化物理化學反應為手段，是一種干法清洗方式，它排除了所有濕法清洗帶來的危險，且無廢液產生。等離子高能離子的方向性不強，可以深入到物體微小孔和不規則圖形結構內部進行清洗，受工件形狀的影響較小。

影響等離子清洗效果的因素

電極設計技術

試料loading方法

真空度

Gas種類

Plamsa處理時間

Power種類及量

清洗過程的溫度

審核編輯 ：李倩