今日（3月1日）下午，2023年中國MEMS制造大會（China MEMS 2023）在蘇州舉行，這是目前中國MEMS行業最具影響力的大會，由國家級MEMS行業組織——中國半導體行業協會MEMS分會聯合中科院納米所、蘇州納米城等主辦，本次大會已是第四屆。 會上，舉行了“2021中國MEMS十強企業”頒獎儀式，宣布了最新的國產MEMS企業十強名單，該名單由中國半導體行業協會根據行業季度統計報表及各地方協會統計數據評選出。 鑒于中國半導體行業協會的廣泛影響力和權威性，本名單應是目前國內最權威的MEMS企業排行，某種程度上代表現在中國MEMS領域實力最強的10家頭部企業。

歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2017年，是我國MEMS傳感器龍頭企業歌爾股份子公司，2019年歌爾股份啟動分拆工作，將MEMS相關業務全部分拆到歌爾微電子，歌爾微成為歌爾體系內唯一從事MEMS微電子相關業務的主體，并繼承歌爾股份在MEMS領域的市場地位。

歌爾微電子（歌爾股份）常年位居“中國MEMS十強”企業名單榜首，據知名半導體市場咨詢機構Yole Development 的《MEMS產業現狀報告》顯示，從2019年開始，歌爾微（歌爾股份）連續躋身全球10大MEMS廠商之列，也是前十名中唯一一家中國企業。

在MEMS聲學傳感器（麥克風）領域，歌爾微電子于2020年超過樓氏電子成為行業第一，市場占有率居世界同行業之首，這是樓氏電子稱霸MEMS麥克風15年來首次落敗。

由多家權威機構聯合發布的《中國傳感器發展藍皮書》中，歌爾微（歌爾股份）被評為首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國微型麥克風代表性企業。

目前，歌爾微電子正在深交所創業板進行IPO上市，當前已過會，但仍未提交注冊。

▲歌爾股份/歌爾微市場占有率排名（來自歌爾微招股書） 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司

瑞聲科技成立于1993年，為智能設備提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發、仿真、算法、設計、自動化以及工藝開發等尖端技術。

《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國電聲元器件代表性企業，全球著名的電聲元器件制造商之一，2005年在香港上市。

瑞聲科技是我國MEMS領域另一龍頭企業，與歌爾微一樣主營傳感器業務都是MEMS麥克風，瑞聲科技也是我國另一家進入全球MEMS廠商 TOP 30 的傳感器企業。關于全球MEMS廠商排名可參看《2022年全球十大MEMS廠商排名出爐！5家中國公司殺入TOP 30！》

在微型聲學、觸覺、MEMS麥克風領域，瑞聲科技分別被工信部認定為我國制造業單項冠軍示范企業?，F已成為全球領先的同行、IT及消費電子市場微型元器件整體方案供貨商。

河北美泰電子科技有限公司

美泰科技是中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業協會理事長單位，專門致力于MEMS（微電子機械系統）器件與系統的研發、生產和銷售。連續多年榮獲“中國半導體MEMS十強企業”，是國內最大的MEMS核心芯片、器件和系統產品供應商，中國MEMS技術領導者。

美泰科技擁有自己的MEMS傳感器芯片產線，是一家IDM企業。2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收，用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

《中國傳感器發展藍皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國MEMS傳感器代表性企業，優勢產品包括MEMS慣性器件與系統、MEMS傳感器、汽車傳感器、壓力傳感器、射頻（RF）MEMS器件等。

美新半導體有限公司

美新半導體（MEMSIC）成立于1999年, 目前總部位于中國天津，曾于2007年在美國納斯達克上市，被譽為全球MEMS第一股。

美新半導體（MEMSIC）是全球領先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，也是中國最大的MEMS慣性傳感器企業，《中國傳感器發展藍皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國慣性傳感器代表性企業。

2020年，美新獲得mCube獨家授權其所有慣性傳感器芯片技術，全面布局電容式加速度計和陀螺儀領域，開發了基于標準CMOS流程的微機電系統和全球領先的制造工藝和測試技術，成功研發出30多種型號的加速度傳感器、磁傳感器等產品。

美新半導體是一家IDM企業，在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器封測產線。2022年12月，據紹興日報消息，總投資近4億元的美新半導體項目即將投產，將形成年產6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產能力。

上海矽?？萍脊煞萦邢薰?/p>

矽睿科技成立于2012年，專注于高質量傳感器產品的設計、制造、以及增值應用與服務，致力于成為以應用為導向的多傳感器平臺。

矽?？萍紦碛型耆灾髦R產權，產品包括多款MEMS傳感器、磁性傳感器芯片、及汽車與物聯網智能模組和系統。矽?？萍级嗄赀M入“中國MEMS10強”企業名單，是我國磁傳感器、慣性傳感器主要廠商之一，《中國傳感器發展藍皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業之一。

矽睿科技于2023年1月公開IPO上市輔導備案情況，擬在中國A股上市，目前尚未披露具體上市板塊，相關情況可參看《7家企業密集啟動上市輔導，中國傳感器產業迎來史上最黃金的一年！》。

華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領先的半導體和智能傳感器供應商，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產線是國內規模最大的與CMOS生產線兼容的MEMS傳感器量產生產線，具有國內領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產能擴充已經完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現批量生產，產品性能及良率水平優秀；整體提升了其MEMS工藝技術水平和競爭能力。

此外，南昌華潤微電子MEMS傳感器產業園二期，項目于2022年8月份開工，總投資4.5億元，目前已完成整體項目的50%，預計今年（2023年）10月份竣工交付使用。

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，是一家專業從事微電子機械系統傳感器研發設計的高新技術企業，主導推動了中國MEMS產業鏈構建，被贊譽為產業拓荒者，2020年8月登陸上海證券交易所科創板，為中國MEMS芯片第一股。

敏芯股份的三大產品線分別為MEMS麥克風、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器，被《中國傳感器發展藍皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業之一。

敏芯作為中國最早成立的MEMS研發公司之一，現已擁有完整的芯片設計、晶圓制造、封裝與測試等全產業鏈的自主研發設計能力，憑借完全自主設計的MEMS芯片與ASIC芯片成功打破了國外廠商長期壟斷的格局，為MEMS全產業鏈的國產化探索了一條完整的道路。

此為，敏芯股份是中國MEMS聲學傳感器芯片出貨量第一的企業，在全球排第三，也是唯一進入全球前5的中國企業。

▲來源：歌爾微招股書

杭州士蘭微電子股份有限公司

杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產品的開發，在6吋、8吋芯片生產線上實現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產線，初步走通了系列傳感器的IDM發展之路，已申請相關發明專利百余項。

目前士蘭微MEMS傳感器產品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯合測控成立于2017年，總部坐落于福建，總人數逾800人，其中科研人員占比超40%，擁有近500項專利，并以每年30%的速度快速遞增。

西人馬采用IDM經營模式，目前生產落地于福建6英寸FAB廠，擁有先進的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的設計、制造、封測能力，已經成為國內MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產量可以達到幾十萬顆。

2022年11月消息，西人馬將在上海投資36.5億元，新建一條8英寸MEMS芯片生產線和第三代化合物半導體外延及芯片生產線。

蘇州納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發設計企業，專注于圍繞各個應用場景進行產品開發，由傳感器信號調理ASIC芯片出發，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅動與采樣芯片，形成了信號感知、系統互聯與功率驅動的產品布局。

納芯微電子是一家非常年輕但成長快速的國產傳感器芯片企業，2022年4月納芯微成功在上交所科創板上市，創下中國傳感器&半導體產業史上最貴IPO首發價的股票記錄，相關情況參看《中國傳感器史上最貴IPO誕生！》。

納芯微被EET電子工程專輯（中國）評為中國傳感器公司TOP10之一。未來，納芯微將開辟磁傳感器賽道，已量產包括磁電流傳感器、磁位置傳感器等磁傳感器，并與大陸集團等合作，促進乘用車關鍵零部件輪速傳感器本土化生產。

結語

因疫情原因，第四屆中國MEMS制造大會姍姍來遲。

在本屆大會發布的2021年“中國MEMS十強企業”名單，含金量十足。與2020年MEMS十強名單相比，主要企業變化不大，歌爾微電子、瑞聲科技仍牢牢占據TOP 2 寶座，前十中只有明皜傳感落榜，取而代之的是士蘭微。

其中，MEMS芯片IDM企業占據榜單的半數，美泰科技、美新半導體、華潤微、士蘭微、西人馬均是IDM企業，擁有自己的MEMS芯片產線。

值得一提的是，多家MEMS傳感器企業都比較“年輕”，除歌爾微比較特殊外，矽睿、西人馬、納芯微分別成立于2012、2017、2013，短短幾年已成長為行業主要公司，可見中國MEMS產業的蓬勃發展勢頭。

雖然中國MEMS產業方興未艾，但各細分領域頭部企業的領導地位已經逐漸建立，留給新興MEMS企業的時間機遇并不多了，這幾年將是建立中國MEMS產業格局的關鍵時期。

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審核編輯黃宇