靜電釋放導致的失效主要表現為
即時失效與延時失效兩種模式。
即時失效
即時失效又稱突發失效,指的是元器件受到靜電放電損傷后,突然完全或部分喪失其規定的功能。一般較容易通過功能檢測發現。
延時失效
延時失效又稱潛在失效,指靜電放電能量較低,或放電回路有限流電阻,僅造成輕微損傷,器件電參數可能仍然合格或略有變化。
一般不容易通過功能檢測發現,而且失效后很難通過技術手段確認。
典型案例
#案例1
失效圖示
試驗復現
結論
不良發生位置集中于CF表偏貼合端子部的左邊,距離離子棒約50cm。因距離過大,離子棒對此位置的除靜電能力有弱化。
#案例2
失效圖示
試驗復現
結論
經過靜電耐圧試驗發現,樣品1在兩種破壞類型中,情況分別為:
1.機器模型:使用2-3kV ESD痕跡發生;
2.人體模型:使用3-4kV ESD痕跡發生;
樣品2在兩種破壞類型中,情況分別為:
1.機器模型:使用12-14kV ESD痕跡發生;
2.人體模型:使用24-28kV ESD痕跡發生。
案例分享
EOS
過電壓,過電流,
過功率,過電燒毀
失效表現
EOS的碳化面積較大,一般過功率燒毀會出現原始損傷點且由這點有向四周輻射的裂紋,且多發于器件引腳位置。
典型案例
失效圖示
說明: 空洞異常處有因局部受熱造成的表面樹脂碳化現象,周邊樹脂出現裂紋。
試驗復現
驗證方法:使用正常樣品在兩個引腳上分別接入12V電源正負極進行復現試驗。
結論
接上12.0V電源瞬間,兩電極之間有被燒壞的聲音,電流瞬間升高,電壓下降。兩引腳之間阻抗測試顯示為OL,說明二者之間經過反接12V電壓被大電流瞬間擊穿斷開。
#案例2
TVS管失效分析
失效圖示
說明:樣品開封發現樣品晶圓位置均發現有燒傷痕跡,擊穿位置樹脂高溫碳化,為過流過壓導致。
試驗復現
TVS管擊穿FA分析圖
左右滑動查看圖集
擊穿驗證之后進行開封檢測,發現復現樣品晶圓位置均發現有燒傷痕跡,與異常品失效發生類似。
結論
晶圓表面發現有過流過壓擊穿的痕跡,即樹脂高溫碳化;
DC直流電源加壓到18V,TVS管被擊穿短路,復現品晶圓位置失效與異常品類似。
9V樣品取下濾波電容,使其輸出不穩定,TVS被擊穿,短路失效。
據此判斷,TVS管為過壓導致失效,樣品輸出不穩定時有擊穿TVS管的可能。
審核編輯:劉清
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原文標題:ESD與EOS失效案例分享
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