當(dāng)前，傳統(tǒng)集成電路CMOS 工藝按照“摩爾定律”經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，已經(jīng)開始邊際收益遞減，表現(xiàn)為引入下一代技術(shù)后單個(gè)晶體管成本不降反升，性能提升、面積縮小、功耗降低（PPA）放緩。而通過三維異質(zhì)集成（3D Heterogeneous Integration，3DHI）等先進(jìn)封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)層面的小型化、多功能化，已成為集成電路技術(shù)創(chuàng)新的重要方向之一。

中國(guó)工程院院士、浙江大學(xué)微納電子學(xué)院院長(zhǎng)吳漢明曾提出了三條可以突破高算力發(fā)展瓶頸的創(chuàng)新途徑，其中就包括三維異質(zhì)集成晶圓級(jí)集成技術(shù)（另外兩個(gè)創(chuàng)新路徑為存算一體范式、可重構(gòu)計(jì)算架構(gòu)）。上海科學(xué)技術(shù)情報(bào)研究所也將三維異質(zhì)集成列為當(dāng)前全球前沿科技發(fā)展的熱點(diǎn)。

總體來看，3DHI 技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

一是將芯片封裝架構(gòu)由平面拓展至2.5D 或3D，可實(shí)現(xiàn)更小更緊湊的芯片系統(tǒng);二是可以融合不同的半導(dǎo)體材料、工藝、器件的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的功能和更優(yōu)異的性能;

三是將單芯片系統(tǒng)（SOC）分拆成若干小芯片，簡(jiǎn)化了芯片設(shè)計(jì)復(fù)雜度，單個(gè)小芯片功能可以單獨(dú)優(yōu)化，提高了芯片設(shè)計(jì)效率;

四是使用3DHI技術(shù)還可以避免芯片（Die）尺寸增大而帶來良率的下降，各個(gè)Die可以使用不同的最佳工藝，實(shí)現(xiàn)制造成本的降低。

不過，要實(shí)現(xiàn)3DHI，集成工藝方面仍需要突破幾個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，如：硅通孔（TSV）、晶圓/芯片鍵合技術(shù)、散熱等。

21 世紀(jì)以來，美國(guó)國(guó)國(guó)防部高級(jí)研究局（DARPA）、比利時(shí)微電子研究中心（IMEC）等機(jī)構(gòu)支持開展了大量3DHI 的研究項(xiàng)目。DARPA 先后設(shè)立硅上化合物半導(dǎo)體材料（COSMOS）、多樣化易用異構(gòu)集成（DAHI）、通用異構(gòu)集成及IP復(fù)用策略（CHIPS）、下一代微電子制造（NGMM）等項(xiàng)目，持續(xù)、系統(tǒng)地支持3DHI 技術(shù)研發(fā)。

產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)企業(yè)如日月光、臺(tái)積電、英特爾、三星、美光、AMD等均積極布局3DHI 技術(shù)，隨著先進(jìn)封裝工藝與前道制程結(jié)合更加緊密，臺(tái)積電、英特爾和三星等上游芯片制造企業(yè)成為3DHI 技術(shù)創(chuàng)新的最重要參與者。

英特爾嘗試通過晶體管、封裝和芯片設(shè)計(jì)協(xié)同優(yōu)化繼續(xù)摩爾定律演進(jìn)。公司提供嵌入式多芯片互連橋接（EMIB）、Foveros 3D封裝等異質(zhì)集成技術(shù)。EMIB通過一個(gè)橋接硅片，將不同芯片組合在一起，可實(shí)現(xiàn)50μm-40μm的凸點(diǎn)間距。Foveros 是英特爾開發(fā)的晶圓級(jí)3D 封裝技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)在邏輯芯片堆疊，其凸點(diǎn)間距可達(dá)50-36μm。此外，英特爾還在研發(fā)下一代Foveros Omni和FoverosDirect 技術(shù)。前者支持分拆芯片（die disaggregation）設(shè)計(jì)，為芯片到芯片的互連和模塊化設(shè)計(jì)提供更高的靈活性;后者實(shí)現(xiàn)了由傳統(tǒng)凸點(diǎn)焊接到銅對(duì)銅直接鍵合（Hybird bonding）的轉(zhuǎn)變，可以實(shí)現(xiàn)10微米以下的凸點(diǎn)間距，芯片互連密度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。兩項(xiàng)技術(shù)計(jì)劃在2023年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

臺(tái)積電推出3D Fabric 先進(jìn)封裝平臺(tái)，提供扇入型晶圓級(jí)封裝（Fan-in WLP）、整合扇出型封裝（InFO），2.5D片上晶圓基板（CoWoS）封裝，以及3D集成片上系統(tǒng)（SoIC）等封裝技術(shù)。臺(tái)積電CoWoS 在芯片與基板中間加入硅中介層，實(shí)現(xiàn)重新布線及高密度互聯(lián);SoIC采用無凸點(diǎn)（no Bump）直接鍵合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)CoW（Chip on Wafer）、WoW（Wafer on Wafer）直接互連。2020年，臺(tái)積電投資100 億美元在中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)竹南科學(xué)園建設(shè)全球首座全自動(dòng)化3D Fabric先進(jìn)封裝廠AP6，預(yù)計(jì)2022年下半年開始生產(chǎn)。2021年2月，臺(tái)積電投資186億日元，在日本茨城縣設(shè)立半導(dǎo)體材料研發(fā)中心，與日本企業(yè)合作開展3D IC封裝與散熱相關(guān)材料研發(fā)。三星的先進(jìn)封裝平臺(tái)包括I-Cube、X-Cube、R-Cube 和H-Cube。I-Cube 是采用硅中介層的2.5D 封裝方案，能夠?qū)⒁粋€(gè)或多個(gè)邏輯芯片（CPU、GPU 等）和多個(gè)高帶寬內(nèi)存（HBM）芯片水平集成在硅中介層上。R-Cube 則是三星的低成本2.5D 封裝方案。H-Cube 是三星電子在2021 年11 月新推出的2.5D 封裝解決方案，專用于需要高性能和大面積封裝技術(shù)的高性能計(jì)算（HPC）、人工智能等領(lǐng)域。X-Cube 是三星的3D IC 封裝方案（表1）。

表1：主要芯片企業(yè)三維異質(zhì)封裝技術(shù)發(fā)展概況

在“863計(jì)劃”“973計(jì)劃”等支持下，中國(guó)機(jī)構(gòu)在3DHI方面也取得一系列成果。中國(guó)科學(xué)院物理研究所解決了硅上異質(zhì)外延生長(zhǎng)Ⅲ-Ⅴ族材料的難題;中科院上海微系統(tǒng)所研制了多種硅基異質(zhì)材料集成襯底，如：絕緣體上碳化硅、絕緣體上鈮酸鋰、絕緣體上Ⅲ-Ⅴ族等。中芯國(guó)際、長(zhǎng)電、通富微電、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華為海思等企業(yè)也在3DHI技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用方面取得長(zhǎng)足進(jìn)步。長(zhǎng)江存儲(chǔ)開發(fā)的Xtacking 堆棧技術(shù)，將CMOS外圍電路堆疊在NAND芯片下方，構(gòu)建了高密度、高速存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)。而在上游支撐設(shè)備及工具軟件方面，也有一批企業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破。華海清科針對(duì)3D IC研制的12英寸晶圓減薄拋光一體機(jī)已進(jìn)入生產(chǎn)驗(yàn)證;中微半導(dǎo)體的深硅刻蝕機(jī)已經(jīng)應(yīng)用在歐洲客戶MEMs生產(chǎn)線;上海微電子裝備成功研制出2.5D3D先進(jìn)封裝***，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場(chǎng)等特點(diǎn)，可滿足超大尺寸芯片異構(gòu)集成的應(yīng)用需求。芯和半導(dǎo)體是英特爾UCIe聯(lián)盟中為數(shù)不多的EDA工具企業(yè)，公司與新思科技合作開發(fā)3D IC封裝設(shè)計(jì)分析平臺(tái)。

審核編輯 ：李倩