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光譜共焦位移傳感器——多層玻璃厚度檢測應用方案

jf_86210833 ? 來源:jf_86210833 ? 作者:jf_86210833 ? 2023-05-30 15:15 ? 次閱讀

隨著大量自動化智能化技術應用遍地開花,自動化設備朝著更高品質、更高效節能、更環保低成本的方向發展。

在3C消費品、半導體的制造過程中,產品通常會包含多層復合材料,需要分別檢測其厚度或有無。海伯森HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器采用同軸測量結構的傳感頭,僅一次測量即可獲得透明物體(玻璃、薄膜、UV膠等)的表面高度及厚度,獲得微米級別的測量精度,解決了普通激光位移傳感器在測量透明材質時,容易因上下高度不同而導致位置偏移。

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光譜共焦位移檢測技術是利用光的波長信息測量距離的,由光源射出一束寬光譜的復色光(呈白色),通過色散鏡頭發生光譜色散,形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長,換算獲得距離值。

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海伯森HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器,是一款精度可達100納米級的非接觸式位移傳感器,可穩定測量金屬/陶瓷/鏡面/玻璃/薄膜等各種材料,精度高,而且對被測物體表面的顏色和光潔度也沒有任何特殊要求,無論是什么顏色,無論是哪一種工作形貌(深孔/斜面/弧面等),HPS-CF4000光譜共焦位移傳感器都可以輕松測量。同時,一個控制器最多支持四個傳感頭同步測量,檢測速度快,適應于高溫高壓等嚴苛的操作環境。

光譜共焦位移傳感器搭載的傳感頭有良好的角度特性,可實現鏡面表面±62°的測量角度,漫反射表面最大測量角度可達±88°,且在量程范圍內可以測得多層玻璃的多個峰值,從而得到第一片玻璃的厚度、第二片玻璃的厚度、以及兩片玻璃之間的空隙。HPS-CF4000光譜共焦位移傳感器測量速度可達6.3k/s,為了滿足超高速測量場合的要求,海伯森還推出了業界最快速度的控制器HPS-CF1000,可實現每秒72000次的超高速測量。

審核編輯黃宇


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