北京大學-微納電子器件與集成技術全國重點實驗室

近年來，MEMS（微電子機械系統）器件的出現極大擴展了微電子學領域研究的范疇，北京大學電子學院是我國最好的微納電子及集成電路科技研究與教育基地之一，其發展歷史可以追溯到1956年由著名物理學家黃昆院士領導在北大物理系創建的我國第一個半導體專門化。

北京大學集成微納系統研究所，擁有完整的微米/納米加工工藝線，具備可同時開展MOS、硅基MEMS和集成化工藝技術研究的實驗環境，研究內容包括MEMS陀螺儀、加速度計、射頻器件、光學器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS為基礎，開發了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技術。

集成電路方面，北京大學在中國微電子產業的發展過程中有著輝煌的歷史。在20世紀七十年代研制出我國第一塊三種類型包括硅柵N溝道1K MOS DRAM，是我國微電子科學技術史上的重要里程碑之一，獲全國科學大會獎，是中國最早的大規模集成電路的發源地之一。

在相關領域，北京大學擁有王陽元院士、黃如院士、吳文剛教授、張海霞教授、金玉豐教授、于曉梅教授等一批杰出專家。

電子科技大學-電子薄膜與集成器件全國重點實驗室

電子薄膜與集成器件全國重點實驗室由原電子薄膜與集成器件國家重點實驗室改組，于2006年7月經科技部批準建設，實驗室緊密結合電子信息系統微小型化和單片集成的重大需求，重點圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開展基礎、應用基礎與工程應用的研究。現任實驗室學術委員會主任為雷清泉院士，實驗室主任為李言榮院士。

實驗室以下三個方向作為重點研究方向：⑴ 磁電薄膜與微型器件，主要解決集成器件中電磁信息的探測和傳輸。⑵ 功率半導體器件及集成技術，主要解決集成系統中信息的處理和執行。⑶ 電子聚合物與微結構傳感器，主要解決微結構中光電信息的獲取和傳感。

清華大學-精密測試技術及儀器全國重點實驗室

精密測試技術及儀器全國重點實驗室由原精密測試技術及儀器國家重點實驗室改組，由清華大學與天津大學聯合共建，是1990年經國家計委批準、利用世行貸款建設的實驗室。目前實驗室的學科領域涵蓋了“儀器科學與技術”（兩校）和“光學工程”（清華）兩個國家一級重點學科。實驗室分為清華大學實驗區和天津大學實驗區。

實驗室的主要研究領域和方向有：激光及光電測試技術、傳感及測量信息技術、微納制造與測試技術、制造質量控制技術。

復旦大學—集成芯片與系統全國重點實驗室

集成芯片與系統全國重點實驗室是科技部邂選的首批20個標桿全國重點實驗室之一，依托復日大學建設，劉明院士任實驗室主任。

實驗室設立了主攻任務“集成芯片與系統應用”及其相關支撐任務，并把握綜合性大學優勢，組織集成電路、信息、計算機、物理、材料等領域學者，設立組建了集成芯片、EDA、IP/架構、先進裝備、超高速電路與系統和未來芯片等6個創新中心。各中心根據自身特長，圍繞“存算一體3D集成芯片”技術路線，在多芯架構、通用處理器、智能處理器、互連電路、多物理場仿真器、新一代感存算器件和2.5D/3D集成布局布線EDA等方向實踐有組織科研。

西安交通大學-精密微納制造全國重點實驗室

西安交通大學擁有成立于1996年的精密工程研究所及機械制造系統工程國家重點實驗室等研究機構，開展MEMS傳感器與核心芯片及其系列器件、納米計量技術與納米器件、精密超精密加工技術及裝備、精密測量技術及裝備、生物檢測技術及分子診斷科學儀器等方面的研究，先后承擔了國家和國防各類重大重點項目及其它省部委科研項目數百項。先后獲得國家技術發明二等獎3項，國家科技進步二等獎4項，省部級獎項30余項，發表論文1300余篇，授權發明專利340余項。

西安交通大學擁有蔣莊德院士、趙玉龍教授等一批長期從事微納制造領域研究的杰出專家。

哈爾濱工程大學-水聲技術全國重點實驗室

水聲技術全國重點實驗室由原水聲技術國家重點實驗室改組，實驗室圍繞國家、國防重大科技前沿、裝備研究的重大需求和制約水聲技術性能的重大基礎問題和技術瓶頸，探索水聲技術的新原理、新方法，以創新解決水下探測和反探測的難題，帶動水聲物理、水聲目標探測與定位、水聲換能器技術、水聲通信技術的發展。

水聲工程技術是指利用聲波進行水下探測、定位、導航、識別、通信的工程技術。它是集物理學、電子技術、信息工程、計算機技術、傳感器技術等學科為一體的綜合性工程。

浙江大學-極端光學技術與儀器全國重點實驗室

極端光學技術與儀器研究院（以下簡稱研究院）成立于2022年9月，是浙江大學國際科創中心與浙江大學現代光學儀器國家重點實驗室合作共建的重大科技創新平臺。研究院聚焦高端***系統集成以及光刻過程中的極端光學檢測研究，設立皮米精度干涉檢測、跨尺度缺陷檢測、光刻系統在線檢測、檢測系統核心器件四大研究方向，致力于打造成為國家在極端光學檢測技術與儀器領域的戰略科技力量。其中，面向高精度檢測和測量領域的應用，開展激光光源和新型檢測技術的研究和應用是研究院重要研究方向。

浙江大學現代光學儀器國家重點實驗室圍繞先進光電子技術及器件、微納光子技術及器件、精密光學傳感與檢測儀器三個方向開展研究工作，堅持引領國家現代光學儀器領域和光學傳感器行業發展，努力解決西方陣營在現代光學儀器領域針對我國的“卡脖子技術”問題。

東南大學-毫米波全國重點實驗室

東南大學毫米波全國重點實驗室依托現有的東南大學毫米波國家重點實驗室重組，是二十世紀90年代初國家計委批準建設的國家重點實驗室之一。實驗室以“電磁場與微波技術”國家重點學科為依托。圍繞國家重大戰略需求和行業重大需求，開展微波、毫米波與太赫茲領域前沿基礎理論和關鍵技術的研究，在重點研究方向上取得突破，并持續強化科技成果轉化工作，涵蓋“基礎研究、應用基礎研究、前沿技術研究和成果轉化”全鏈條布局。近年來主要研究定位在“人工電磁材料與計算電磁學”、“毫米波器件、電路與系統”、“毫米波亞毫米波理論與技術”三大方向上，開展了深入且卓有成效的研究工作，基本確立了在微波毫米波與亞毫米波領域的引領地位，并在國際上產生了較大的影響。

毫米波與太赫茲已成為雷達、導航、安檢成像、射電天文、通信等應用領域的核心技術之一，其中毫米波與太赫茲芯片將成為未來十年國內外爭奪的戰略高地，實驗室是我國最早開始毫米波與太赫茲芯片研究與設計的單位之一。2010年，實驗室洪偉教授團隊牽頭承擔了我國第一個硅基毫米波亞毫米波集成電路的973項目，之后又得到國家重大科研儀器研發項目、國家重點研發計劃等項目的支持，在毫米波太赫茲芯片領域獲得了豐富的研究成果。

除以上已宣布改組/新建的全國重點實驗室外，目前傳感器領域國家重點實驗室主要還有以下一些：

傳感技術聯合國家重點實驗室

傳感技術聯合國家重點實驗室經國家計委批準于1987年成立，1989年通過國家驗收，是我國傳感技術領域最早建立的國家重點實驗室，也是目前中國傳感器技術研發領域最強實驗室。

實驗室由南北兩個基地及四個專業點組成，實驗室管理辦公室設在中科院上海微系統與信息技術研究所。南方基地依托單位為中科院上海微系統與信息技術研究所，北方基地依托單位為中科院電子學研究所（現中國科學院空天信息創新研究院），四個專業點分別是光傳感器專業點(設在中科院上海技術物理研究所)、厚膜傳感器專業點(設在中科院合肥智能機械研究所)、氣敏傳感器專業點(設在中科院半導體研究所)、生物傳感器專業點(設在中科院微生物研究所)。

實驗室的主要研究領域是以微電子技術和微納加工技術為基礎的微納傳感器及微系統。

智能傳感功能材料國家重點實驗室

智能傳感功能材料國家重點實驗室是國家科技部于2015年9月批復建設的第三批企業國家重點實驗室。實驗室依托有研科技集團（原北京有色金屬研究總院），快速推進新一代智能傳感器核心技術的研、學、產、用，建設我國智能傳感領域關鍵材料與器件共性技術基礎創新和成果轉化的重要國家級平臺。

實驗室面向人工智能、物聯網、5G通訊等領域對微納傳感器的巨大需求和傳感功能材料國產化應用薄弱的現狀，聚焦科學儀器、工業裝備及汽車產業高端智能傳感器的“卡脖子”難題，突破多種傳感器用敏感材料、封裝材料等系列功能材料核心共性技術，為我國新型傳感功能材料、智能傳感器件行業的技術進步、實現可持續發展戰略奠定堅實的技術理論基礎。

湖南大學-化學生物傳感與計量學國家重點實驗室

化學生物傳感與計量學國家重點實驗室（湖南大學）由國家科技部于2001年7月正式下文批準依托湖南大學邊建設邊開放，2002年11月通過國家科技部專家組的建設項目驗收， 2004年、2009年、2014年已三次順利通過國家科技部評估。現任學術委員會主任為中國科學院院士江桂斌院士（中國科學院生態環境研究中心），實驗室主任為中國科學院院士譚蔚泓教授。

在依托單位湖南大學的大力支持下，本實驗室定位于探索和發展化學生物傳感的新原理，推動分析化學原始創新，為解決國家重大需求和科學前沿問題提供技術支撐 ；探索發展分子識別與探針、納米生物學、化學生物傳感、生化分析儀器、化學計量學等方向的新方法 ；解決復雜生命體系化學信息獲取與重大疾病診治的關鍵科學與共性技術問題 。

傳感器國家工程研究中心

傳感器國家工程研究中心是目前中國傳感器領域最高研究機構，是中國唯一的傳感器工程中心。

傳感器國家工程研究中心依托沈陽儀表科學研究院于1995年正式啟動建設，2002年國家計委正式批復掛牌。以提高自主創新能力、增強傳感器產業核心競爭能力和發展為目標的研究開發實體，是國家傳感器產業創新體系的重要組成部分，重點研究力、熱、光、磁及聲學、生物與生命科學、電化學、圖像等傳感器技術。

附：各高校全國重點實驗室統計