在本系列的部分中，我們討論了質(zhì)量-彈簧-阻尼器（或質(zhì)量-阻尼器-彈簧）結(jié)構(gòu)可用于測量加速度。為了使質(zhì)量塊位移與施加的加速度成正比，應(yīng)適當(dāng)選擇質(zhì)量塊-彈簧-阻尼器系統(tǒng)的不同參數(shù)。本文將使用經(jīng)典力學(xué)的概念推導(dǎo)質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。

傳遞函數(shù)使我們能夠描述質(zhì)量塊如何響應(yīng)外部加速度而移動。在解釋加速度計的不同參數(shù)（例如傳感器線性工作范圍和帶寬規(guī)格）時，將在本系列的后續(xù)文章中使用導(dǎo)出的傳遞函數(shù)。

然而，在嘗試推導(dǎo)傳感器傳遞函數(shù)之前，讓我們簡要介紹一下微機(jī)電系統(tǒng) （MEMS） 技術(shù)，該技術(shù)使當(dāng)今的小型低成本慣性傳感器成為可能。

MEMS 加速度計：使用質(zhì)量彈簧阻尼器結(jié)構(gòu)測量加速度

用于感測加速度的質(zhì)量-彈簧-阻尼器結(jié)構(gòu)如圖 1 所示。

MEMS 技術(shù)使我們能夠在同一硅芯片上實現(xiàn)該機(jī)械系統(tǒng)的非常小版本以及所需的信號調(diào)節(jié)電子設(shè)備，從而擁有完整的傳感解決方案。

圖 1. 質(zhì)量-彈簧-阻尼器結(jié)構(gòu)。

MEMS 技術(shù)借鑒了微電子行業(yè)的基于光刻的微加工技術(shù)，并將它們與其他專門的制造技術(shù)相結(jié)合，從而能夠在硅芯片上創(chuàng)建可移動部件。

微制造技術(shù)的進(jìn)步幫助實現(xiàn)了今天的小型、低成本微機(jī)械加速度計，圖 2 顯示了一個示例。

圖 2. CMOS MEMS 加速度計的掃描電子顯微照片 （SEM）。圖片由K. Zhang提供

在上一篇文章中，我們簡要提到了阻尼器在加速度計操作中起著至關(guān)重要的作用。在嘗試推導(dǎo)質(zhì)量-彈簧-阻尼器系統(tǒng)的傳遞函數(shù)之前，現(xiàn)在是進(jìn)一步熟悉系統(tǒng)的這一重要部分的好時機(jī)。

MEMS 加速度計中的阻尼機(jī)制

阻尼器模擬耗散力，該耗散力會減少質(zhì)量-彈簧-阻尼器系統(tǒng)的機(jī)械能并減慢檢驗質(zhì)量的運動。

MEMS 加速度計中的主要阻尼機(jī)制之一是運動質(zhì)量與周圍空氣分子之間發(fā)生的內(nèi)部摩擦。事實上，可以在極低的壓力下封裝基于 MEMS 的加速度計，以減少空氣阻尼的影響。然而，一般而言，空氣阻尼是 MEMS 加速度計中能量損失的主要。

其他常見的阻尼源是結(jié)構(gòu)阻尼和熱阻尼。

結(jié)構(gòu)阻尼考慮了由 MEMS 器件中使用的組件結(jié)構(gòu)引起的能量損失。

熱阻尼對應(yīng)于 MEMS 結(jié)構(gòu)的應(yīng)力-應(yīng)變關(guān)系隨溫度變化的偏差。阻尼器施加在驗證質(zhì)量上的總減速力通常建模為與驗證質(zhì)量的速度成比例的力。

該力的作用方向與質(zhì)量運動相反，由下式給出：

［F_{阻尼器} = bv ］

其中 b 表示阻尼系數(shù)，v 表示質(zhì)量塊的速度。

請注意，當(dāng)物體非常小時，空氣阻力與物體的速度成正比，微加工結(jié)構(gòu)就是這種情況。

一般來說，空氣阻力與 物體的速度有著復(fù)雜的關(guān)系。例如，一個大物體，例如在空中移動的跳傘者，會受到與物體速度的平方成正比的阻力。

阻尼效應(yīng)：需要還是討厭？

由于阻尼源自耗散力，因此它可能看起來是一種應(yīng)該避免的麻煩。事實上，許多 MEMS 加速度計設(shè)計為只有少量阻尼（以降低系統(tǒng)的噪聲）。

但需要注意的是，沒有阻尼的理想質(zhì)量彈簧系統(tǒng)實際上是一個振蕩器，不能用作加速度計。

如果我們將“理想”彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的質(zhì)量從平衡狀態(tài)移開然后釋放它，即使沒有向系統(tǒng)施加外部加速度，質(zhì)量也會永遠(yuǎn)來回運動。這就是為什么對于加速度計，我們需要至少向彈簧質(zhì)量系統(tǒng)引入少量阻尼。

使用牛頓運動定律證明質(zhì)量位移

假設(shè)如圖 3 所示，外力作用于傳感器框架。

圖 3. 對外力作出反應(yīng)的質(zhì)量-彈簧-阻尼器結(jié)構(gòu)傳感器框架。

為了根據(jù)施加的加速度計算質(zhì)量塊位移，我們使用牛頓第二運動定律。正如您可能知道的那樣，該定律指出，合力產(chǎn)生的物體加速度與合力的大小成正比，與物體的質(zhì)量成反比。

這由以下熟悉的等式表示：

［F=馬］

公式 1

其中 F 是施加在身體上的合力，m 是身體的質(zhì)量，a 表示加速度。

要將此等式正確地應(yīng)用到我們的系統(tǒng)，這里應(yīng)該注意一個微妙的點。牛頓第二運動定律只適用于慣性坐標(biāo)系，即不加速的坐標(biāo)系。

圖 3 描繪了我們的加速度計的兩個不同坐標(biāo)系。橙色坐標(biāo)系對應(yīng)于在解決物理問題時假定為慣性的地球參考系。

然而，品紅色坐標(biāo)系表示固定到傳感器框架的參考系。

該坐標(biāo)系是非慣性的，因為當(dāng)向傳感器施加外力時它會加速。因此，要找到質(zhì)量塊的運動方程，我們應(yīng)該使用慣性參考系（橙色坐標(biāo)系）。

什么力作用于證明質(zhì)量？

假設(shè)如圖3所示，X 0和X m分別表示質(zhì)量塊的靜止位置和任意時刻質(zhì)量塊的位置。在正 X 方向的外力作用下，傳感器框架向右加速。初，質(zhì)量塊由于其慣性而傾向于“后退”。這會改變檢測質(zhì)量相對于傳感器框架的相對位置，并將彈簧壓縮 X 0 – X m。壓縮的彈簧對質(zhì)量塊施加力并將其向右推。

彈簧施加的力由下式給出：

［F_s = k （X_0 - X_m） ］

公式 2

當(dāng)質(zhì)量塊偏離平衡時，阻尼器施加一個與質(zhì)量塊相對于靜止位置的相對速度成正比的力，我們得到：

［F_d = b （dot X_0 - dot X_m） ］

公式 3

在上面的等式中，點符號用于顯示變量相對于時間的一階導(dǎo)數(shù)。請注意，位置的導(dǎo)數(shù)是速度。

應(yīng)用等式 1，我們得到：

［F_s + F_d = ma_{證明質(zhì)量} ］

代入等式 2 和 3，我們得到

［ k （X_0 - X_m） + b （dot X_0 - dot X_m） = m ddot X_m ］

方程式 4

在這個等式中，雙點符號表示 X m相對于時間的二階導(dǎo)數(shù)。請注意，？ m是驗證質(zhì)量的加速度。

求非慣性參考系中的運動方程

需要根據(jù)質(zhì)量塊從其平衡位置的位移來重寫方程式 4。這是因為我們在實踐中的傳感方法測量的是質(zhì)量塊偏離其平衡狀態(tài)的位移。

例如，如圖 4 所示，電容式感應(yīng)方法測量檢測質(zhì)量塊相對于靜止位置的位移。

圖 4.通過電容感應(yīng)測量質(zhì)量塊位移的設(shè)置 。有關(guān)更多信息，請查看本系列的上一篇文章。

為了根據(jù)質(zhì)量位移來表達(dá)方程式 4，我們需要使用圖 3 中洋紅色坐標(biāo)系所示的移動參考系。我們使用小寫字母 x 和 y 表示該坐標(biāo)系。

如您所見，驗證質(zhì)量位移由 X m – X 0 = x給出。

在這種情況下，公式 4 簡化為：

［ -kx - b dot x = m （ ddot X_0 + ddot x） ］

由于 ？ 0 是傳感器坐標(biāo)系上的一個不動點，它的二階導(dǎo)數(shù)等于傳感器坐標(biāo)系 a 的加速度。這其實就是我們要衡量的參數(shù)。

因此，上述等式導(dǎo)致：

［ m ddot x + b dot x + kx = -ma ］

尋找傳遞函數(shù)

應(yīng)用拉普拉斯變換，我們可以找到加速度計的傳遞函數(shù)為：

［ H（s） = frac{x（s）}{a（s）} = frac{-1}{s^2 + frac{b}{m}s + frac{k}{m }} ］

這是一個二階系統(tǒng)。根據(jù)系統(tǒng)參數(shù)的值，即 m、k 和 b，系統(tǒng)響應(yīng)將不同。

例如，如果傳感器幀加速度突然從零變?yōu)橛邢拗担A躍輸入），則系統(tǒng)的輸出將接近其終值，其時間響應(yīng)特性由系統(tǒng)參數(shù)確定。

圖 5 顯示了改變系統(tǒng)參數(shù)如何改變輸出的振鈴和穩(wěn)定時間。在我們的討論中，輸出是證明質(zhì)量位移。

圖 5.二階系統(tǒng)的階躍響應(yīng)會根據(jù)系統(tǒng)參數(shù)的值發(fā)生顯著變化。圖片由麻省理工學(xué)院 David L. Trumper提供