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光學(xué)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)

led13535084363 ? 來(lái)源:光行天下 ? 2023-06-07 14:34 ? 次閱讀

1. 理想成像和像差從幾何光學(xué)的角度看,光學(xué)系統(tǒng)只對(duì)被成像物體進(jìn)行放大或縮小,物平面上的一點(diǎn)經(jīng)過(guò)透鏡的作用,變成像平面上的一點(diǎn),稱(chēng)為“點(diǎn)點(diǎn)成像”,或“理想成像”,像和物具有等同的清晰度,分辨率為無(wú)限高,相應(yīng)的系統(tǒng)稱(chēng)為理想光學(xué)系統(tǒng)。

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圖1. 理想成像和衍射受限

像差和彌散圓:一個(gè)物點(diǎn)經(jīng)過(guò)實(shí)際成像鏡頭形成的像不再是點(diǎn)像,具有彌散,稱(chēng)為“像差”。像差的主要原因?yàn)椋?/p>

?鏡頭有限孔徑光欄( F 數(shù))限制,稱(chēng)為“衍射受限”(diffraction-limited);

?單色光照射,由設(shè)計(jì)、材料、加工、調(diào)試不完善形成的像差(單色光像差);

?寬波段光波(多色光)照射形成的像差(色差)。

?在像差不太嚴(yán)重時(shí),彌散斑近似為圓形,稱(chēng)彌散圓。光學(xué)設(shè)計(jì)軟件ZEMAX給出彌散圓的半徑( RRMS :RMS radius)

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圖.2 實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)的彌散斑

2. 衍射受限成像(diffraction limited imaging)

?從物面上任意一點(diǎn)發(fā)出的光波,攜帶著該物點(diǎn)的信息,本來(lái)是向著所有方向發(fā)射的,但成像鏡頭都有孔徑光欄,限制了物點(diǎn)發(fā)出的光束,只接收孔徑角2u 范圍內(nèi)的光束進(jìn)入系統(tǒng)并傳遞,參與成像。超出該孔徑的光束通不過(guò)透鏡。

?從信息論的觀(guān)點(diǎn)看,有限孔徑形成信息的損失,光波在透鏡邊緣的衍射(又稱(chēng)“繞射”)使波面邊緣發(fā)生畸變。孔徑角2u越小,信息的損失越大。

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圖3. 衍射受限圖示

?一個(gè)設(shè)計(jì)、材料、加工、裝配調(diào)試都完美的鏡頭(無(wú)像差鏡頭),僅由于孔徑限制形成的像差稱(chēng)“衍射受限”像差。其彌散斑半徑為:

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其中n為折射率,F(xiàn)為F數(shù),F(xiàn)=f/D , D是入射孔徑大小, f為焦距,u為孔徑角,相關(guān)圖形稱(chēng)艾里斑(Airy disk)。該系統(tǒng)稱(chēng)為“衍射受限光學(xué)系統(tǒng)”,是實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)的極限。

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圖.4 艾里斑 ?我們注意到:即使設(shè)計(jì)加工都完美,透鏡仍然實(shí)現(xiàn)不了“點(diǎn)點(diǎn)成像”,物點(diǎn)的像是一個(gè)艾里斑(圖4)。 ?也正由于設(shè)計(jì)、材料、加工、裝配調(diào)試的誤差,實(shí)際鏡頭的彌散斑大于甚至遠(yuǎn)大于艾里斑。只有精密顯微物鏡、望遠(yuǎn)物鏡、高級(jí)光刻制版鏡頭中心視場(chǎng)(0視場(chǎng))的彌散圓接近艾里斑。3. 彌散圓和像質(zhì)評(píng)價(jià)?彌散斑表示實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)(像差光學(xué)系統(tǒng))對(duì)于衍射受限系統(tǒng)的偏離,常用彌散斑來(lái)評(píng)價(jià)實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)。 ?對(duì)彌散斑的要求是盡可能高的能量集中度,具體來(lái)講,要求: □RRMS 盡量?。?□彌散斑盡量接近圓(旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)),參見(jiàn)圖5。

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圖5. CCD鏡頭不同視場(chǎng)的彌

?RRMS 、最小分辨長(zhǎng)度、CCD/CMOS像素 □設(shè)為探測(cè)圖像的CCD/CMOS相機(jī)的像素尺寸,經(jīng)驗(yàn)表明:

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□在能量相對(duì)集中,彌散圓比較對(duì)稱(chēng)的情況下,最小分辨長(zhǎng)度(偏緊估計(jì))

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□相應(yīng)的傳遞函數(shù)為

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□例如,當(dāng)像素尺寸4cecfad4-04da-11ee-90ce-dac502259ad0.png時(shí),高性能鏡頭要求4cf473ae-04da-11ee-90ce-dac502259ad0.png。中等性能鏡頭4cfb9738-04da-11ee-90ce-dac502259ad0.png,相應(yīng)傳遞函數(shù)值為50/mm(每毫米50線(xiàn)對(duì))。?

□不同視場(chǎng)的彌散圓大小一般不相同,應(yīng)分別考慮。例如圖5。

4. 影響成像質(zhì)量的因素 ?影響因素為:設(shè)計(jì)、材料、加工、裝配調(diào)試。 ?設(shè)計(jì): □光學(xué)設(shè)計(jì)人員首先必須了解客戶(hù)提出的技術(shù)指標(biāo),主要為使用波段、焦距值、孔徑、視場(chǎng)、最近物距、放大率、景深、畸變、分辨率等。 □在實(shí)際使用過(guò)程中對(duì)一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的評(píng)價(jià)是非常廣泛的,不但要求它有理想的成像質(zhì)量,還需考慮體積、重量、外形、適應(yīng)性、牢固度、工藝性能、材料選用、造價(jià)等等。 □體積、重量等要求,有時(shí)直接地影響著實(shí)際使用價(jià)值。過(guò)分追求某一指標(biāo)而忽略其它指標(biāo)都是片面的。 □在滿(mǎn)足技術(shù)指標(biāo)的前提下,要求盡可能簡(jiǎn)單、元件數(shù)要盡量少,結(jié)構(gòu)要緊湊,采用膠合鏡,盡量使用常用玻璃。 □盡量采用已有的典型設(shè)計(jì),或略作修改,例如CCD/CMOS鏡頭:雙膠合、三片式、天賽、雙高斯及其變形;顯微物鏡一般就是李斯特型、阿貝型等。一般不鼓勵(lì)創(chuàng)新。

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圖5. 典型CCD/CMOS物鏡

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圖6.典型顯微物鏡

□最好的設(shè)計(jì)指標(biāo),如果在工藝上,材料的物理、化學(xué)性能上無(wú)法保證,也無(wú)法批量生產(chǎn)。

□以上要求都不是絕對(duì)的,必要時(shí)可采用非球面、特種玻璃、大像差等特殊設(shè)計(jì)。

?加工:

□近年來(lái),機(jī)加工設(shè)備自動(dòng)化程度、加工水平普遍提高,加工達(dá)不到指標(biāo)的情況不多。

□先進(jìn)光學(xué)加工設(shè)備雖已使用,但仍有較多傳統(tǒng)老設(shè)備在使用。在一些小廠(chǎng),和一些小批加工訂單,傳統(tǒng)工藝仍在大量使用,檢驗(yàn)不嚴(yán)格。

□機(jī)加工的公差帶已提升1到2級(jí),光學(xué)加工仍在沿用原來(lái)的公差帶。

□對(duì)鏡頭成像質(zhì)量影響,依次為:鏡框跳動(dòng)、鏡片安裝傾斜、外 圓 直 徑 (外圓和鏡框的間隙)、透鏡中心偏(concentricity)、厚度、光圈、光潔度。

?裝配調(diào)試:

□裝配調(diào)試是鏡頭生產(chǎn)的最后一道工序,要求:

☆環(huán)境潔凈;

☆裝配工具工裝(旋轉(zhuǎn)臺(tái)、鏡片承載臺(tái)、小鏡片的吸盤(pán)、自動(dòng)改錐、壓圈旋緊器);

☆近代批量裝配的概念為:鏡片、鏡框公差恰當(dāng),原則上鏡頭不需調(diào)試,只需檢測(cè)

☆裝配用膠軟硬恰到好處、不產(chǎn)生應(yīng)力。

□目前的問(wèn)題為:

☆缺少合理的裝配工藝,缺乏裝配工藝工程師。

☆裝配的一致性較差;

☆鏡片松緊程度不一致,過(guò)松不能用,過(guò)緊產(chǎn)生應(yīng)力。

☆裝配用膠不一定合適;

☆潔凈度差距大。

□目前水平,基本上不能承擔(dān)偏振要求高的產(chǎn)品裝配,以及高分辨率鏡頭,例如:

☆偏振顯微鏡物鏡;

4d1099f8-04da-11ee-90ce-dac502259ad0.png的CCD/CMOS物鏡;?

半導(dǎo)體檢測(cè)鏡頭(光刻、制版鏡頭)。

?材料:折射率、阿貝數(shù)偏差

□折射率誤差引起焦距相對(duì)誤差:

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在折射率低的玻璃、鏡片數(shù)較多時(shí)這個(gè)問(wèn)題相對(duì)突出。

5. 高品質(zhì)成像:

分辨率足夠高、反差適中、層次豐富、雜光少、彩色還原正確、畸變符合要求(一般≤5%,高性能≤1%)、畫(huà)面中各處照度均勻、畫(huà)面的“調(diào)子”軟硬恰當(dāng)、景深夠用、景物質(zhì)感強(qiáng),適合批量生產(chǎn),就是高品質(zhì)的成像物鏡。

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原文標(biāo)題:光學(xué)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)

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