什么是壓電物鏡定位器？

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置，可帶動物鏡聚焦進行Z向運動，精度可達納米級別，能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

大負載壓電物鏡定位器的應用
大負載型壓電物鏡定位器是具有較大的承載能力，可達900g，甚至更高，可用于帶載較重型壓電物鏡定位器。

1、激光晶圓隱形切割

激光晶圓隱形切割是激光經過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

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2、用于大幅提高普通顯微鏡的聚焦精度

可通過壓電控制器對壓電物鏡定位器微調的距離進行控制，壓電控制器的可變輸出電壓對應壓電物鏡定位器的零至滿行程位移，兩者成線性關系，通過改變壓電控制器的可變輸出電壓的大小，即可控制壓電物鏡定位器的微調距離。相比普通的顯微鏡的手輪調節，聚焦精度更高可達納米級別。

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3、超分辨率顯微成像

顯微光學成像，是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術。超分辨率（SR）顯微鏡是一個描述新興光學顯微鏡的廣泛概念，盡管常規的光學顯微鏡最高可實現百納米的分辨能力，但這種超分辨率技術可實現數十納米的更高分辨率。SR顯微鏡利用特定熒光探針特性分離兩個緊密間隔的熒光源發出的光子，從而使它們可以分別成像，避免了衍射極限，從而可以觀察細胞在納米世界中的動態效果。

新的超分辨率技術，例如受激發射損耗顯微鏡，光激活定位顯微鏡和隨機光學重建顯微鏡，已將分辨率從100～200nm降至更低。納米級分辨率的壓電物鏡定位器非常適合這些應用。顯微鏡和樣品架的對準要求精確、快速的移動。基于高分辨率壓電陶瓷驅動的壓電物鏡定位器可以提供獨特的超精密技術支持。

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4、激光光刻、光盤數據存儲

光刻過程是指放置在電動平臺上的光刻膠基片隨著電動平臺的轉動和平移，由聲光調制器控制光束的強弱對光刻膠進行變劑量曝光，通常電動平臺的定位精度達到微米或亞微米量級。然而由于慣性、靜摩擦、松動等所造成的電動平臺螺距誤差與偏移，將直接影響著系統的性能和光刻元件的質量。芯明天壓電物鏡定位器以其納米級的精度、穩定的性能、便捷的操控成為***設備中掃描運動平臺的理想選擇。

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5、白光干涉、3D端面檢測

白光干涉技術以可見光為光源，光源發出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強，另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡，與原光學平面的反射光產生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器，準確性高可達納米解析度。

目前光纖端面檢測，常用的方式是光學干涉來進行測量。光學干涉就是根據相干光在空間相遇時，在某些區域始終增強，在某些區域始終減弱，形成穩定的強弱分布。3D干涉儀系統就是根據這個原理設計的。CCD攝像頭上可以觀察到干涉條紋，芯明天壓電物鏡定位器可用于移動干涉物鏡以產生位相移動，CCD攝像頭測得的圖像經圖像卡傳送到計算機進行解析處理，就可以得到需要的測量結果。每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋，根據干涉條紋的分布計算出端面形狀。

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芯明天大負載壓電物鏡定位器

審核編輯黃宇