表面粗糙度，是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷不平度，其兩波峰或兩波谷之間的距離（波距）很小（在1mm以下），它屬于微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度越小，則表面越光滑。

表面粗糙度的評定方法

1.二維粗糙度評定

在常規(guī)工業(yè)加工領域中，Ra是常用的表面粗糙度評定參數(shù)，其定義為在取樣長度L內(nèi)，輪廓偏距的絕對值的算術平均值。

2.三維粗糙度評定

隨著工業(yè)制造越來越精密化，特別是半導體和3C電子行業(yè)，傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定，評定的時候在一條線上進行評定，不能夠完整地反映整個表面的全部信息，無法滿足行業(yè)發(fā)展需求。

表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關信息，給出表面形成機理信息和研究表面的直觀圖像，三維評定從整體上對零件表面特征進行描述，具有全局性。Sa為常用的三維表面粗糙度評定參數(shù)。

Sa為表面算術平均高度，指輪廓表面內(nèi)的點與中心面距離的算術平均或幾何平均值，在取樣區(qū)域D上，被測量的輪廓面和建立的基準面之間的z坐標距離的算術平均，即表面粗糙度曲面方程z坐標絕對值的算術平均，數(shù)學表達式如下。

表面粗糙度測量方案

中圖儀器擁有豐富多樣的粗糙度測量解決方案，可滿足各行業(yè)測量需求。

1.SJ5760-R大量程粗糙度測量儀

SJ5760-R大量程粗糙度測量儀Z0軸行程±20μm~±400μm，粗糙度測量范圍Ra0.1μm~Ra64μm，可進行R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)等多種參數(shù)評定，應用非常廣泛。

SJ5760-R用于軸承鋼球的表面粗糙度測量

2.SJ5730高精度粗糙度輪廓測量儀

SJ5730高精度粗糙度輪廓測量儀一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，具有14mm大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達到次納米級，系統(tǒng)殘余誤差極小（<2nm），非常適合測量大曲面（軸承、關節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、非球面）的超高精度表面粗糙度及微觀Pt輪廓。

SJ5730用于圓錐滾子軸承表面微觀輪廓Pt及粗糙度測量

3.SuperView W1光學3D表面輪廓儀

SuperView W1光學3D表面輪廓儀，以白光干涉技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造等領域，可測從納米到微米級別工件的粗糙度。

硅晶圓粗糙度測量