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基于MEMS技術的流量傳感器,越早了解越好!

煒盛科技 ? 2022-03-11 09:30 ? 次閱讀

溫度、壓力、流量是工業中3大檢測參數,其中,流量測量有很長的歷史。早在古代,由于水利和農業灌溉的需要,人們就開始關注流量測量。

近年來,隨著對微電子機械系統(MEMS)的深入研究和取得的進展,傳統的工業和流體力學研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發展,微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

煒盛科技自主研發的微流量傳感器于2012年即研發成功并取得相關專利,產品質量穩定可靠,符合我司參與起草的《JB/T 13111-2017 熱式質量流量傳感器》行業標準。

產品特點

新一代MEMS傳感器芯片技術

精度高,響應速度快,重復性好

可精確測量極小流量

經過完全校準和溫度補償

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產品應用領域

微流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測,具有很好的精度與重復性。在工業生產、科學實驗、產品質量把控、生產效率提高、能源節約等方面發揮著重要作用。

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流量傳感器在醫療領域,如:醫院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機中有廣泛的應用。

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儀器儀表領域,原子分光光度計、氣相色譜、氣密檢漏儀、風速計等設備中,也會用到流量傳感器。

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