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6.1.5 高溫退火和表面粗糙化∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2021-12-31 14:25 ? 次閱讀

6.1.5 高溫退火和表面粗糙化

6.1 離子注入

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

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