三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)將被測(cè)件放入測(cè)量范圍內(nèi)，可以準(zhǔn)確測(cè)出測(cè)件表面的點(diǎn)在空間的三個(gè)坐標(biāo)位置的數(shù)值，經(jīng)過三坐標(biāo)數(shù)學(xué)計(jì)算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般由主機(jī)(包括光柵尺)、電氣系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)及測(cè)頭組成。

1、主機(jī)

主機(jī)結(jié)構(gòu)分為：
(1)框架，是工作臺(tái)、立柱、橋框、殼體等機(jī)械結(jié)構(gòu)的集合體；
(2)標(biāo)尺系統(tǒng)，起決定儀器精度作用；
(3)導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部分；
(4)驅(qū)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)機(jī)動(dòng)和程序控制伺服運(yùn)動(dòng)的功能；
(5)平衡部件，主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。主要起平衡Z軸重量的作用，以使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)無偏得干擾，使檢測(cè)時(shí)Z向測(cè)力穩(wěn)定；
(6)轉(zhuǎn)臺(tái)與附件，其中轉(zhuǎn)臺(tái)能使測(cè)量機(jī)增加一個(gè)運(yùn)轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的自由度，便于某些種類零件的測(cè)量。

2、電器系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng)是測(cè)量機(jī)的電氣控制部分。它具有單軸與多軸聯(lián)動(dòng)控制、外圍設(shè)備控制、通信控制和保護(hù)與邏輯控制等；

3、軟件系統(tǒng)

(1)計(jì)算機(jī)硬件部分，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可以采用各種計(jì)算機(jī)，一般有PC機(jī)和工作站等；
(2)測(cè)量機(jī)軟件，包括控制軟件與數(shù)據(jù)處理軟件。這些軟件可進(jìn)行坐標(biāo)交換與測(cè)頭校正，生成探測(cè)模式與測(cè)量路徑，可用于基本幾何元素及其相互關(guān)系的測(cè)量，形狀與位置誤差測(cè)量等。具有統(tǒng)計(jì)分析、誤差補(bǔ)償和網(wǎng)絡(luò)通信等功能；
(3)打印與繪圖裝置，此裝置可根據(jù)測(cè)量要求，打印出數(shù)據(jù)、表格，亦可繪制圖形，為測(cè)量結(jié)果的輸出設(shè)備。

4、測(cè)頭

測(cè)頭即三維測(cè)量的傳感器，它可在三個(gè)方向上感受瞄準(zhǔn)信號(hào)和微小位移，以實(shí)現(xiàn)瞄準(zhǔn)與測(cè)微兩種功能。Mars系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)頭部分：

(1)Pantec 測(cè)座
Pantec eagle head M7.5M8全自動(dòng)旋轉(zhuǎn)測(cè)座，可實(shí)現(xiàn)測(cè)頭在A 軸和B 軸以7.5 度為增量移動(dòng)，該測(cè)座具有720個(gè)可重復(fù)定位空間位置，可配置長達(dá)300mm 加長桿，具有高重復(fù)性以及機(jī)械式自動(dòng)連接功能。
(2)Pantec測(cè)頭
Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的觸發(fā)式測(cè)頭。由測(cè)頭本體和可分離測(cè)頭吸盤組成，可以手動(dòng)或自動(dòng)改變測(cè)針的配置而不需要重新定位測(cè)針，在檢測(cè)時(shí)，可節(jié)省很多時(shí)間。