根據要測量的壓力值,壓力傳感器具有如下所示的各種材料和方法的傳感器。
在這些壓力傳感器中,檢測大氣壓力(用于氣壓檢測)的傳感器通常被稱為氣壓傳感器。
[使用的材料 - 按方式分類的壓力傳感器]
氣壓傳感器的典型示例是使用硅(Si)半導體的壓阻式。
羅姆提供的氣壓傳感器也是壓阻式氣壓傳感器。
壓阻式氣壓傳感器
壓阻式氣壓傳感器使用Si單晶板作為隔膜(壓力接收元件),通過在其表面上擴散雜質形成電阻橋電路,將施加壓力時產生的變形作為電阻值變化,來計算壓力(氣壓)。
[壓阻式氣壓傳感器]
電阻率(電導率)因施加在該電阻上的壓力而變化的現象稱為壓阻效應。羅姆的氣壓傳感器IC將使用壓阻式壓力接收元件(隔膜結構和壓阻集成在一起※MEMS),以及溫度校正處理、控制電路等的集成電路(※ASIC)集成在一個封裝里,可以輕松獲得高精度的氣壓信息。
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